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- [发明专利]曝光装置及涂胶显影设备-CN202210936640.8在审
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张明
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无锡易晟半导体有限公司
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2022-08-04
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2022-11-08
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G03F7/20
- 本发明公开曝光装置及涂胶显影设备，曝光装置包括壳体和光强调节组件，壳体内形成有光线传播路径，光强调节组件包括设于光线传播路径的半透半反射镜，且可转动地安装于壳体内，在半透半反射镜的活动行程中，半透半反射镜具有运动至其反射面与光线传播路径呈夹角设置的反射位置和其反射面与光路呈平行设置的避让位置，实现光强较大时，转动半透半反射镜，使其处于反射位置，通过半透半反射镜将光线传播路径上的光部分反射，减小光强，当光强较小时，转动半透半反射镜，使其处于避让位置，通过半透半反射镜避让光线传播路径上的光，使得位于光线传播路径上的光可以全部照射至涂有光刻胶的晶片表面
- 曝光装置涂胶显影设备
- [发明专利]能量传播模化装置-CN99813861.4无效
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M·斯拉特
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伦敦大学学院
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1999-09-29
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2004-02-18
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G06T15/50
- 一种模拟装置(2，70)可用于模拟场景中的光传播。该装置定义了一个包含在多个方向上的多个离散路径(72)的环境，其中能量沿所述多个方向在该环境中传播。该装置确定场景中的物体和光源的位置，并记录路径上的点，在每一点上，场景中的物体或光源与路径(72)有一个交叉。该装置根据交叉识别光源沿路径从光源到其他路径的传播。还提供了一种相应的方法。另外，或者作为光传播模拟的替换，可以模拟其他能量、例如声音或热量的传播的分布。
- 能量传播化装
- [发明专利]光学麦克风-CN201280003195.4无效
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岩本卓也;桥本雅彦;寒川潮;金子由利子
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松下电器产业株式会社
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2012-03-12
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2013-06-12
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G01H9/00
- 光学麦克风具有：传播声波的传播介质部；光源，射出横穿在传播介质部中传播的声波并透过传播介质部的光波；反射部，使透过传播介质部的光波进行回复反射；以及光电变换部，接收由反射部反射且透过传播介质部的光波，并输出电信号在由光源射出的光波透过传播介质部的入射路径中，根据伴随着声波的传播而产生的传播介质部的折射率分布，分别生成0次衍射光波、+1次衍射光波以及-1次衍射光波，在入射路径中所生成的0次衍射光波通过反射部的反射而透过传播介质部的反射路径中，根据伴随着声波的传播而产生的传播介质部的折射率分布，生成0次衍射光波、+1次衍射光波以及-1次衍射光波。光电变换部检测在入射路径生成的+1次衍射光波与在反射路径生成的-1次衍射光波的干涉光、以及在入射路径生成的-1次衍射光波与在反射路径生成的+1次衍射光波的干涉光当中的至少一方。
- 光学麦克风
- [实用新型]一种紧凑型白光激光光源-CN202220241456.7有效
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袁泉珂;成华
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青岛中科芯成照明技术有限公司
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2022-01-29
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2022-08-09
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F21S2/00
- 本实用新型公开了一种紧凑型白光激光光源，属于荧光激光技术领域，其包括激光模组以及沿激光光束传播路径依次布置的反射单元、白光合光单元和白光出光单元，所述白光合光单元包括沿激光光束传播路径依次布置的散射片、白光透镜和荧光轮，所述反射单元包括沿激光光束传播路径依次布置的大反射棱镜和小反射棱镜，所述小反射棱镜位于所述白光出光单元的中心位置。本实用新型中采用在白光出光单元的中心位置设置小反射棱镜，并沿激光光束传播路径依次布置的散射片、白光透镜和荧光轮的方式，优化了光路，去掉了原方案中二相色镜，调整了部分透镜，缩短了整体光路行程，使整个光源系统体积更小
- 一种紧凑型白光激光光源
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