[发明专利]非晶硅/铁电陶瓷复合薄膜及其应用无效

专利信息
申请号: 94112118.6 申请日: 1994-04-12
公开(公告)号: CN1110432A 公开(公告)日: 1995-10-18
发明(设计)人: 吴道怀;俞大畏;陈慧婷;周章;王永令 申请(专利权)人: 中国科学院上海硅酸盐研究所
主分类号: H01L31/02 分类号: H01L31/02;H01L31/04;H01L31/20;C04B35/00;G02B1/00
代理公司: 中国科学院上海专利事务所 代理人: 潘振苏
地址: 200050*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及的是具有光电转换功能的非晶硅/铁电陶瓷复合薄膜、制备及其应用,属于微电子学和光电子学领域。本发明提供的复合薄膜是由衬底i,掺杂PZT铁电陶瓷薄膜或BaSrTiO3陶瓷薄膜2、非晶硅薄膜3以及电极4、5、6组成.其独特之处在于利用非晶硅良好的光电导性,在光照后电阻下降4个数量级,给铁电薄膜提供光控偏置电场,从而实现光电转换。用本发明提供的复合薄膜可制成多种光电集成器件,如光电开关、光存储器、光电传感器,并可与硅集成电路组合成多功能光电集成电路。
搜索关键词: 非晶硅 陶瓷 复合 薄膜 及其 应用
【主权项】:
1、一种具有光电转换功能的非晶硅/铁电陶瓷复合薄膜,其特征在于(1)结构上复合薄膜是由衬底1、掺杂PZT或BaSrTiO3铁电陶瓷薄膜2、非晶硅薄膜3以及电极4、5、6组成;(2)掺杂PZT铁电薄膜2为Pb(ZrxTi1-x)O3,X可由0.4-0.6范围内变化,厚度为0.2-1μm,或BaSrTiO3;(3)非晶硅薄膜3为a-Si∶H,其厚度控制在其电阻与PZT或BaSrTiO3匹配范围内;(4)电极4、5、是金属电极,如Pt,Au,Al,Ni,Cr,Ni-Cr合金;(5)电极6由透明导电玻璃ITO;(6)衬底1是由Si/SiO2组成。
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  • 柴嘉磊;余丁;赵世杰;张晓雯;李文琪;杨洁;张昕宇;金浩 - 上海晶科绿能企业管理有限公司;浙江晶科能源有限公司
  • 2021-09-06 - 2023-10-27 - H01L31/0216
  • 本申请实施例提供一种太阳能电池及其制作方法、光伏组件,太阳能电池包括:具有相对前表面和后表面的基底;位于前表面上的钝化叠层包括依次设置的含氧电介质层、第一钝化层和以及第二钝化层,含氧电介质层包含金属氧化物材料,第一钝化层包含氮化硅材料,第二钝化层包括氮氧化硅材料;其中,第一钝化层具有靠近含氧电介质层的第一界面和靠近第二钝化层的第二界面,第二钝化层具有远离第二界面的第三界面,氮元素和硅元素在第二界面处的含量分别大于在第一界面处和第三界面处的含量,氧元素在第二界面处的含量小于在第一界面处和第三界面处的含量;位于后表面上的隧穿氧化层和掺杂导电层。本申请实施例至少有利于提升太阳电池的光吸收效率。
  • 具有绒面结构的硅片和太阳能电池-202221917177.4
  • 童洪波;丁超;李华;靳玉鹏 - 泰州隆基乐叶光伏科技有限公司
  • 2022-07-21 - 2023-10-27 - H01L31/0236
  • 本申请涉及太阳能电池技术领域,公开了一种具有绒面结构的硅片和太阳能电池,所述硅片的绒面结构包括复数个类金字塔结构,所述类金字塔结构为棱台形或棱锥形;所述类金字塔结构的塔高和所述类金字塔结构的塔底边长之间的高宽比0.6~0.85:1;或者,所述类金字塔结构的斜面与所述类金字塔结构的塔底之间夹角为55~60°;所述类金字塔结构的斜面为类金字塔结构的塔尖与所述类金字塔结构的塔底底边构成的平面。本实用新型的硅片的类金字塔结构绒面结构具有较大的高宽比,或者具有较大的斜面与塔底夹角,使得硅片具有更为陡峭的绒面结构,可以降低硅片表面的反射率,从而增大太阳能电池的短路电流,提升太阳能电池的光转换效率。
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