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[发明专利]一种隧穿钝化接触电池及其制备方法-CN202311028179.7在审
发明人：李兵;赵增超;李明;成秋云;蔡先武 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2023-08-15 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L31/0216 文献下载
摘要：本发明公开了一种隧穿钝化接触电池及其制备方法，该电池包括硅基体以及硅基体由正面隧穿氧化硅层、硼/磷掺杂碳化硅层和正面硼/磷掺杂多晶硅层构成的正面隧穿接触结构，其制备方法包括在硅基体正面制备正面隧穿接触结构。本发明中，通过在硅基体正面构建由正面隧穿氧化硅层、硼/磷掺杂碳化硅层和正面硼/磷掺杂多晶硅层复合而成的隧穿接触结构，可以提升正面钝化结构的钝化效果，能够显著提升电池的转化效率，其中转换效率高达26.33％，是一种电性能优异的新型太阳能电池。本发明制备方法还具有工艺简单、工艺窗口宽、易于操作、能耗低、易量产等优点，可降低制备成本和制备难度，有利于隧穿钝化接触电池的批量化生产，以及推广应用。
一种钝化接触电池及其制备方法

[发明专利]一种立式石墨舟清洗设备及清洗方法-CN202310618373.4在审
发明人：黄嘉斌;杨彬;赵增超;王随心;李明;邓新新;成秋云 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2023-05-29 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种立式石墨舟清洗设备及清洗方法，设备包括：清洗腔室、放电单元、真空单元、进气单元、旋转运动单元和升降运动单元，立式石墨舟放置在清洗腔室内部进行清洗；清洗腔室顶部与真空单元连接，以实现清洗腔室内部抽真空；清洗腔室侧部均布有多组放电单元，用于实现工艺气体在清洗腔室内部电离，以清洗立式石墨舟；清洗腔室底部设有进气单元、旋转运动单元和升降运动单元，进气单元用于输送工艺气体至清洗腔室内部，旋转运动单元用于实现立式石墨舟固定在清洗腔室内部，并带动立式石墨舟在清洗腔室内部旋转；升降运动单元用于辅助立式石墨舟进出清洗腔室。本发明具有结构紧凑、操作便捷、清洗效率高且能够实现石墨舟均匀清洗等优点。
一种立式石墨清洗设备方法

[发明专利]太阳能电池及其制备方法-CN202310706970.2在审
发明人：李兵;赵增超;成秋云;李明 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2023-06-14 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： H01L31/0352 文献下载
摘要：本发明公开了一种太阳能电池及其制备方法，该电池包括硅基体，在硅基体的背面设有交替排布且成台阶分布的N型隧穿钝化接触结构和P型隧穿钝化接触结构。其制备方法包括采用激光开窗和酸洗的方式在硅片背面形成凹槽并在凹槽的顶部和底部分别制备类型不同且不导通的钝化结构。本发明太阳能电池，通过优化背面的叉指结构，使得不同类型的钝化结构交替排布且成台阶分布，可以显著降低漏电风险，有利于提高电池的转化效率，且高达26.25％，对于实现太阳能电池的大规模推广和应用具有重要意义。本发明制备方法具有工艺简单、易于操作、可精确分离n/p区、易量产等优点，可实现太阳能电池的批量化生产，以及推广应用。
太阳能电池及其制备方法

[发明专利]一种基于视觉的石墨舟倒片检测方法、装置及系统-CN202010598314.1有效
发明人：刘帅;谢成;成秋云;朱辉;张春城;吴德轶 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2020-06-28 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于视觉的石墨舟倒片检测方法、装置及系统，属于管式PECVD设备技术领域，用于解决目前倒片检测结构复杂、检测精度低的技术问题，此方法包括步骤：获取在石墨舟的不同位置采集的石墨舟图像；2)对各石墨舟图像进行图像处理，得到石墨舟图像中硅片边缘与较近的石墨舟槽边缘距离的较大距离值；3)基于较大距离值判断对应的石墨舟槽内的硅片是否存在倒片。本发明具有检测精度高、检测可靠性高等优点。
一种基于视觉石墨舟倒片检测方法装置系统

[发明专利]一种等离子体增强原子层沉积镀膜装置-CN201910749095.X有效
发明人：朱辉;成秋云;吴得轶;郑达敏;郭艳 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2019-08-14 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体增强原子层沉积镀膜装置，包括反应炉、第一进气支路和第二进气支路，所述反应炉一端设有用于进气的进气端盖，所述第一进气支路和第二进气支路均与所述进气端盖相连、且交替进气。本发明具有有利于使气体反应更加充分、膜层更加均匀、膜厚可以更加精准控制、减少环境污染等优点。
一种等离子体增强原子沉积镀膜装置

[实用新型]一种立式石墨舟-CN202222963384.X有效
发明人：周佑丞;张春成;成秋云;吴得轶 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2022-11-07 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种立式石墨舟，包括若干舟片，舟片上至少设有两竖排用于承载硅片的承载槽，舟片上开设有多个通孔，若干舟片的通孔通过杆状结构串接，相邻两块舟片的上下两端均设有舟块，多个舟块形成舟块组，舟块组的两端设有定位块。本实用新型具有产能提升空间更高、强度更高、热膨胀变形小，硅片贴合更可靠等优点。
一种立式石墨

[实用新型]一种用于管式反应室安装的装置-CN202220535175.2有效
发明人：杨彬;李明;成秋云 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2022-03-10 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： B25B27/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种用于管式反应室安装的装置，包括：翻转安装平台和升降机；所述翻转安装平台用于实现反应室沿水平方向安装至反应模块框架中组成反应模块，并实现反应模块沿水平方向移动至预设位置后转移至升降机上；所述升降机用于实现反应模块沿竖直方向升高至预设位置，并实现反应模块安装至设备基础框架中。本实用新型具有结构紧凑、操作简单、占地面积小、节省人力劳动强度等优点，实现了反应室平稳、高效安装。
一种用于反应安装装置

[发明专利]一种用于石英舟进出炉体的小车及石英舟进出炉体的方法-CN202210873819.3在审
发明人：王随心;谢国杨;成秋云;杨彬 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2022-07-21 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： F27D3/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于石英舟进出炉体的小车及石英舟进出炉体的方法，小车包括：车架，以安装在车架上的传动托盘、传动组件和脚轮，所述传动托盘用于承载石英舟，并带动石英舟进出炉体；所述传动组件用于承载传动托盘，并提供传动托盘进出炉体所需的驱动力，以实现传动托盘带动石英舟自动进出炉体；所述脚轮用于实现小车移动。本发明具有结构紧凑、操作简单、传动可靠且定位精准等优点，降低了管式炉体设备生产成本及维护费用，实现了石英舟平稳可靠地进出管式炉体，提高了电池片的生产效率。
一种用于石英进出小车方法

[发明专利]一种PECVD设备石墨舟清洗系统-CN202210783572.6在审
发明人：唐电;张威;杨彬;许烁烁;陈臻阳;李健志;黄嘉斌;成秋云 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2022-07-05 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明公开了一种PECVD设备石墨舟清洗系统，包括真空腔室、放电单元和气体导入单元，所述气体导入单元与真空腔室相连通，用于向所述真空腔室内充入工艺气体，所述放电单元安装于所述真空腔室上，用于对工艺气体进行电离来产生等离子体。本发明具有成本低、占地面积小、环保且能提高石墨舟使用寿命等优点。
一种 pecvd 设备石墨清洗系统

[发明专利]一种旋转阴极及靶基距在线调节方法-CN202210840044.X在审
发明人：王随心;刘刚;成秋云;雷睿 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2022-07-15 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种旋转阴极及靶基距在线调节方法，旋转阴极包括：阴极腔底板、靶材、传动模组、第一端头和第二端头；所述传动模组安装在阴极腔底板上，且穿过阴极腔底板伸入真空腔体内；所述靶材位于在真空腔体内，靶材的两端分别通过第一端头和第二端头与传动模组连接；在传动模组的带动下，靶材在真空腔体内沿竖直方向进行往复升降运动。本发明在上述旋转阴极的基础上实现了靶基距的在线调节。本发明具有结构紧凑、操作简单、调节精准且密封性好等优点，靶基距的调节过程无需将镀膜设备由真空状态恢复至常压状态，且对操作人员的专业技能要求较低。
一种旋转阴极靶基距在线调节方法

[发明专利]一种PERC电池的制备方法-CN202210764248.X在审
发明人：李兵;赵增超;成秋云;李明 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2022-06-30 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： H01L31/0216 文献下载
摘要：本发明公开了一种PERC电池的制备方法，包括以下步骤：对P型硅片正面进行制绒、生长磷掺杂氧化层、对金属化区域进行开窗处理、对激光开窗区域进行制绒和化学氧化处理、在P型硅片正面生长磷掺杂非晶硅薄膜、退火处理、对非金属化区域进行开窗处理、去除非金属化区域的掩膜。本发明PERC电池的制备方法具有工艺简单、易于操作、图形尺寸精确可控、对底层发射极损伤小等优点，且由此制得的PERC电池具有更好的效率，同时本发明制备方法与常规PERC电池制备路线高度重合，只需要增加CVD的设备用来制备poly‑finger结构，因而可以有效利用现有产线完成生产，有利于进一步降低制备成本，更适合于推广应用。
一种 perc 电池制备方法

[发明专利]一种太阳能电池的制备方法-CN202210764251.1在审
发明人：李兵;赵增超;李明;成秋云 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2022-06-30 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： H01L21/268 文献下载
摘要：本发明公开了一种太阳能电池的制备方法，包括以下步骤：对P型硅片正面进行制绒、在正面生长隧穿氧化层、依次沉积磷掺杂非晶硅薄膜和掩膜、对非金属化区域进行开窗处理、对开窗区域进行制绒、磷扩散和退火处理、背面刻蚀和正面清洗。本发明太阳能电池的制备方法具有工艺简单、易于操作、图形尺寸精确可控、对底层发射极损伤小等优点，由此制得的太阳能电池具有更好的效率，与常规PERC电池制备路线高度重合，只需要增加CVD的设备用来制备poly‑finger结构，即可以有效利用现有产线完成生产，有利于进一步降低制备成本，更适合于推广应用。
一种太阳能电池制备方法

[实用新型]一种集群式立式炉结构-CN202220040957.9有效
发明人： 成秋云;张春成;郭艳 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2022-01-07 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： F27B1/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种集群式立式炉结构，沿着竖直方向分成上层区域和下层区域布置，所述上层区域包括管路系统、变压器柜、控制柜以及依次排列的若干个炉体柜、气源柜，所述下层区域包括第二炉门系统、装载机构及载具装置；所述炉体柜及炉体固定不动，通过第二炉门系统及装载机构、载具装置沿炉体轴向区域竖直移动以实现炉门开启与关闭及载具的装载与卸载。本实用新型具有结构简单、布局合理、功能集成度高、占地面积小等优点。
一种集群立式结构

[发明专利]一种提升钝化接触结构性能的低温氢等离子体辅助退火方法和TOPCon太阳能电池-CN202210297222.9在审
发明人：黄嘉斌;赵增超;李明;周小荣;陈俊;刘湘祁;谢湘洲;申凯林;成秋云 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2022-03-24 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种提升钝化接触结构性能的低温氢等离子体辅助退火方法和TOPCon太阳能电池，该退火方法是以氢气或含氢气的混合气体为工艺气体，对制备有钝化接触结构的硅片进行退火处理。本发明中，在高温烧结之后，通过在氢等离子体下进行退火处理，既可以通过低温退火修复晶界缺陷和杂质，还可以通过引入H等离子体使得薄膜界面和晶体内部晶界处的悬挂键饱和，减少界面和晶界处的载流子复合，从而达到很好的钝化效果，进而有利于提升太阳能电池的光电转换效率。本发明低温氢等离子体辅助退火方法，具有易于批量处理、运营成本低等优点，可广泛用于提升钝化接触结构的钝化性能，对于提升TOPCon太阳能电池的产能具有十分重要的意义。
一种提升钝化接触结构性能低温等离子体辅助退火方法 topcon 太阳能电池

[实用新型]一种可适用于多管反应室的进出舟装置-CN202123394173.0有效
发明人：曾昭贤;成秋云;李晔纯;田湘龙 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： F27D3/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了可适用于多管反应室的进出舟装置，包括用于装载载料舟的装载机构、竖直运动模组及用于驱动装载机构进出反应室的水平运动模组，所述水平运动模组通过第一调节机构与竖直运动模组连接，所述第一调节机构用于调整水平运动模组靠近或远离竖直运动模组。本实用新型具有结构简单、制造成本较低、能在多管反应室之间进出舟的优点。
一种适用于反应进出装置

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