[发明专利]界面合金共化物刻蚀液、刻蚀方法和制样方法在审

专利信息
申请号: 202310616261.5 申请日: 2023-05-29
公开(公告)号: CN116623182A 公开(公告)日: 2023-08-22
发明(设计)人: 周阳磊;陈泽坚;刘凯;洪瑛旭;柯自攀;吕海强;关良伟;方贵练;肖慧 申请(专利权)人: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
主分类号: C23F1/34 分类号: C23F1/34;C23F1/32;C23F1/40;C09K13/00;H05K3/06;G01N1/32
代理公司: 华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 李美
地址: 511370 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及一种界面合金共化物刻蚀液、刻蚀方法和制样方法。界面合金共化物刻蚀液包括以下体积分数的原料:氨水45%~55%和双氧水45%~55%;其中,所述氨水的质量分数为25%~28%,所述双氧水的质量分数为30%~50%。该刻蚀溶液仅通过一次刻蚀就能同时刻蚀界面合金共化物中的锡、铜、银、铅、金、镍等多种金属,并使各金属界面暴露出清晰分明的内部纹理,有利于后续进行电路板的可靠性分析。该界面合金共化物刻蚀液的原料简单、成本低廉、配制方便、刻蚀时间短,适用于界面合金共化物的大批量快速实验。
搜索关键词: 界面 合金 共化物 刻蚀 方法
【主权项】:
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