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- [发明专利]改善退火硅片体铁的方法-CN202310938914.1在审
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张友海;李媛;高洪涛
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杭州中欣晶圆半导体股份有限公司
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2023-07-28
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2023-09-29
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H01L21/304
- 本发明涉及一种改善退火硅片体铁的方法,所属硅片加工技术领域,包括如下操作步骤:第一步:晶棒拉制完成后,沿着一定的晶向进行切片,切片采用砂轮切片或者金刚线切片。第二步:通过磨片机进行加入研磨液进行研磨,磨片将切片的损伤层磨掉。第三步:切片进行倒角,形成圆形、梯形对称或者不对称的倒角轮廓。第四步:切片进行腐蚀,腐蚀方式为酸或碱或者两者结合。第五步;切片边抛和抛光,利用边缘抛光机,使用边抛研磨剂EP4000C,在抛光布的作用下,进行边缘精抛,抛光液PH值在10.5~12之间。第六步;对硅片进行洗净。实现绝佳的去除金属效果,硅片的体金属水平从2E11降低到2E10,并且体金属铁的边缘圈状污染得到改善。
- 改善退火硅片方法
- [实用新型]一种无接触式传输线的凸轮推动装置-CN202320313568.3有效
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高洪涛;朱明亮;黄晨
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上海昶火微电子科技有限公司
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2023-02-25
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2023-09-22
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H01L21/677
- 本实用新型公开了一种无接触式传输线的凸轮推动装置,位于第一产线与第二产线之间,包括安装于第一产线上的气浮块,所述气浮块数量为两组且位于第一产线两侧,将硅片吹起;安装于第一产线输送带上的定位块组,所述定位块组数量为至少两组,硅片位于相邻定位块组之间,定位块组推出硅片;凸轮结构,所述凸轮结构包括驱动电机与位于所述驱动电机转轴端的凸轮块,所述凸轮块与悬浮后的硅片处于同一高度的水平面上。本实用新型当硅片被传送至第一产线与第二产线的交接处时,对两侧凸轮结构的驱动电机通电,带动凸轮块将硅片拨动至第二产线运动的传送位置后,硅片可被第二产线的皮带定位块继续传送,完成硅片在第一产线与第二产线之间的有效交接。
- 一种接触传输线凸轮推动装置
- [实用新型]一种大型环形平面的吊装吊具-CN202320668469.7有效
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高洪涛;黄晨;韩广龙
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上海昶火微电子科技有限公司
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2023-03-30
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2023-08-11
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B66C1/22
- 本实用新型公开了一种大型环形平面的吊装吊具,属于吊装吊具技术领域,包括主横梁、副横梁以及吊具本体;所述主横梁为十字型结构体,所述副横梁固定于所述主横梁端部;所述吊具本体包括可旋转卡爪与支撑垫片,所述可旋转卡爪包括旋转轴与固定块,所述旋转轴位于所述副横梁端部且贯穿所述副横梁,所述固定块位于所述旋转轴端部,所述固定块与所述副横梁端部之间的间距可调,所述支撑垫片位于所述固定块上。本实用新型采用吊具本体代替吊带进行吊装,避免吊装过程中环形平面由于自身重量影响发生形变,能够使环形平面与其他部件表面有效配合,避免平行度出现较大误差,保证了吊装的精度。
- 一种大型环形平面吊装
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