[发明专利]一种热阴极用热子及其制备方法和应用在审

专利信息
申请号: 202210974942.4 申请日: 2022-08-15
公开(公告)号: CN115424910A 公开(公告)日: 2022-12-02
发明(设计)人: 何仕丽;李昊岳;何凡;徐康;彭攀;杨才炜;霍亮;郭洪玮 申请(专利权)人: 四川杰诺创科技有限公司
主分类号: H01J9/04 分类号: H01J9/04;H01J1/14;H01J1/13;H01J1/15;C23C16/40;C23C16/455;C23C16/56
代理公司: 北京正华智诚专利代理事务所(普通合伙) 11870 代理人: 韦海英
地址: 610041 四川省成都*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开了一种热阴极用热子及其制备方法和应用,其制备方法包括以下步骤:将热丝绕于热丝模具上并固定,然后烧制定型,冷却至室温,脱模并整形;在脱模后的热丝表面,采用原子层沉积法沉积氧化铝薄膜,制得热阴极用热子。本发明通过原子层沉积的方法在热丝表面镀一层结合力强的高致密度氧化铝薄膜后,能够对热丝原子蒸散起到较好的阻隔作用,同时,提高氧化铝薄膜的致密度也能减少阴极区的氧气含量,从而降低阴极短路率,提高了阴极工作的稳定性与可靠性。
搜索关键词: 一种 热阴极 用热子 及其 制备 方法 应用
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