[发明专利]用于电沉积纳米孪晶铜的组合物和方法在审
| 申请号： | 202180050528.8 | 申请日： | 2021-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN115956060A | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | 凯尔·M·惠滕;S·I·布雷;韩建文;叶萍萍;T·B·理查德森;埃利·H·纳贾尔 | 申请（专利权）人： | 麦克德米德乐思公司 |
| 主分类号： | B82Y40/00 | 分类号： | B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 张芳;黄健 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铜电镀溶液，该铜电镀溶液包含铜盐、卤离子源以及线性或支化的多羟基化合物。该铜电镀溶液用于在基板上沉积具有高密度纳米孪晶柱状铜晶粒的铜。该线性或支化的多羟基化合物可包括2,3‑环氧‑1‑丙醇与胺类醇或铵醇之间的反应产物。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 沉积 纳米 孪晶铜 组合 方法 | ||
【主权项】：
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