[发明专利]具有分别驱动的源极区以改善性能的存储器块

摘要

本发明描述了用于在存储器单元块下方的基板中提供分离的源极区的装置和技术。该源极区可由相应的电压驱动器分别驱动，以提供诸如更均匀的编程和擦除速度以及更窄的阈值电压分布的益处。在一种方法中，提供单个源极区并且通过蚀刻沟槽以及用绝缘材料填充该沟槽来将该源极区分成多个源极区。到该源极区的触点可包括柱形触点，该柱形触点对于每个源极区延伸穿过该块。在另一种方法中，一个或多个平面触点对于每个源极区延伸穿过该块。在另一方面，编程操作在编程操作的验证测试期间向相应源极区施加不同电压。