[实用新型]一种可变光及低成本视窗有效
| 申请号： | 202121650307.8 | 申请日： | 2021-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN215404497U | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 薛蒙晓 | 申请（专利权）人： | 苏州佑伦真空设备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/52 | 分类号： | C23C14/52 |
| 代理公司： | 苏州彰尚知识产权代理事务所(普通合伙) 32336 | 代理人： | 曹恒涛 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供一种可变光及低成本视窗，观察窗结构从外向内包括：外层玻璃、安装架和延伸件，延伸件位于主腔体内并与安装架连接，安装架具有第一通孔，两个延伸件上下设置在第一通孔的上下两边，延伸件中的一个或者两个具有反射功能，真空蒸镀机的主腔室内的光线通过延伸件反射后穿过第一通孔到达外层玻璃进入人眼，延伸件阻挡坩埚内蒸发的蒸镀材料穿过第一通孔；可变光及低成本视窗还包括支架和偏振镜，支架设置在外层玻璃的外侧，支架从里到外包括圆环部和圆弧部，圆环部与腔体门固定，圆环部的外表面上固定有圆弧部，圆弧部设置在圆环部的中下部，圆弧部的内侧具有圆弧状的凹陷部，偏振镜放置在支架的凹陷部内。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可变 低成本 视窗 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州佑伦真空设备科技有限公司，未经苏州佑伦真空设备科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202121650307.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 一种应用于工业量产的半导体薄膜沉积原位实时监测系统-202310763052.3
- 申学礼;靳振岗;张彩琴 - 江苏中芯沃达半导体科技有限公司
- 2023-06-27 - 2023-09-19 - C23C14/52
- 本发明涉及一种应用于工业量产的半导体薄膜沉积原位实时监测系统，属于半导体制造技术领域。包括：真空腔体，其侧面壳体上设置有三个监测孔以及蒸发源；样品台，设置于真空腔体内，其侧表面上通过卡扣放置有生长基片，其垂直于上下底面的中心轴上设置有旋转轴；电动马达，设置于真空腔体外部，与旋转轴的一端相连，用于控制样品台的转速；原位高分辨形貌监测模块，拉曼监测模块和X射线监测模块分别正对真空腔体侧面壳体的三个监测孔，用于监测薄膜的表面形貌和结构、晶体状态和晶体结构，其中，蒸发源的喷口正对生长基片。本发明提供的系统能够容纳多组生长基片，且通过样品台旋转使得蒸发源的喷口能够正对每个生长基片，保证了薄膜的均匀性。
- 一种无死角的视窗-202210156833.1
- 薛蒙晓 - 苏州佑伦真空设备科技有限公司
- 2022-02-21 - 2023-09-15 - C23C14/52
- 本申请提供一种无死角的视窗，包括设置在真空蒸镀机的腔体门上的观察窗和设置在主腔体内并与主腔体后面板固定的反射件，所述观察窗的结构从外向内包括：外层玻璃、安装架和延伸件，外层玻璃和安装架固定在腔体门上，延伸件设置在主腔体内并且与安装架连接，延伸件与腔体门内壁的垂直线之间具有倾斜角a，安装架具有第一通孔，第一通孔与外层玻璃的位置相对应，延伸件有两个，两个延伸件上下设置在第一通孔的上下两边，延伸件中的一个或者两个具有反射功能，反射件相对于腔体门的一面具有反射功能；主腔室内的光线通过延伸件和/或反射件的反射后穿过第一通孔到达外层玻璃而进入人眼，延伸件阻挡蒸发的蒸镀材料防止蒸镀材料穿过第一通孔。
- 一种观察角度广的视窗-202210156828.0
- 薛蒙晓 - 苏州佑伦真空设备科技有限公司
- 2022-02-21 - 2023-09-05 - C23C14/52
- 本申请提供一种观察角度广的视窗，所述视窗设置在真空蒸镀机的腔体门上，所述视窗的结构从外向内包括：外层玻璃、安装架和延伸件，所述外层玻璃和安装架固定在腔体门上，延伸件位于真空蒸镀机的主腔体内，延伸件有两个，两个延伸件上下设置在第一通孔的上下两边，延伸件中的一个或者两个具有反射功能；延伸件3反射光线和阻挡蒸发的蒸镀材料穿过第一通孔；镀膜时坩埚内的蒸镀材料的表面与主腔体底板之间的距离为H，坩埚内的蒸镀材料的表面中心点与腔体门之间的距离为L，以坩埚内蒸镀材料表面最中心点和坩埚上沿最右侧点之间连线，该连接线与腔体门内壁的垂直线之间的夹角为b,视窗的上方延伸件31的最低点与主腔体底板之间的距离大于H+L×cotb。
- 一种观察窗防沉积装置及蒸镀设备-202321267317.2
- 臧世伟;刘文卿 - 重庆金美新材料科技有限公司
- 2023-05-23 - 2023-09-01 - C23C14/52
- 本实用新型公开了一种观察窗防沉积装置及蒸镀设备，所述观察窗防沉积装置包括设在蒸镀机本体上的观察窗，观察窗在其内侧设置有固定在蒸镀机本体内部一侧的防沉积组件，所述防沉积组件包括遮挡槽，所述遮挡槽前端具有位置适配所述观察窗的开口，所述遮挡槽两侧分别设置有固定在蒸镀机本体上的放卷组件及收卷组件，所述放卷组件用于放出透明薄膜，所述透明薄膜将所述开口覆盖。所述蒸镀设备包括所述观察窗防沉积装置。该种观察窗防沉积装置及蒸镀设备可在保证观察窗正常观察的情况下壁面金属薄膜覆盖在观察窗上，不会影响正常的观察行为，也不需要耗费大量人力物力去清洗观察窗上的金属薄膜，节省人力物力。
- 一种观察窗防沉积机构及蒸镀设备-202321269242.1
- 臧世伟;刘文卿 - 重庆金美新材料科技有限公司
- 2023-05-23 - 2023-09-01 - C23C14/52
- 本实用新型公开了一种观察窗防沉积机构及蒸镀设备，所述观察窗防沉积机构包括设在蒸镀机本体上的观察窗，所述观察窗在其内侧设置有固定在蒸镀机本体内部一侧的防沉积组件，所述防沉积组件包括遮挡箱及设置在所述遮挡箱上的观察槽，所述遮挡箱内部设置有闪动轴及用于驱动所述闪动轴转动的驱动组件，所述闪动轴可转动地遮挡在所述观察槽处，闪动轴上周向分布有若干径向贯穿的狭缝，所述蒸镀设备包括所述观察窗防沉积机构。该种观察窗防沉积机构及蒸镀设备可在保证观察窗正常观察的情况下壁面金属薄膜覆盖在观察窗上，不会影响正常的观察行为，也不需要耗费大量人力物力去清洗观察窗上的金属薄膜，节省人力物力。
- 一种真空射频镀膜设备的观察窗的制造方法及观察窗-202210711263.8
- 吴国发;罗骞;刘自然;何嵩;王慧勇;孔倩茵 - 季华实验室
- 2022-06-22 - 2023-08-15 - C23C14/52
- 本申请涉及真空镀膜技术领域，具体提供了一种真空射频镀膜设备的观察窗的制造方法及观察窗，其包括：准备并清洗基板玻璃；对所述基板玻璃进行真空镀膜处理，以使所述基板玻璃至少一侧具有至少一层透明导电氧化膜；根据至少一种刻划图案对所述透明导电氧化膜进行刻划处理，以使所述透明导电氧化膜的透光率大于等于预设透光率；在刻划后的所述透明导电氧化膜上设置引出电极；利用封装胶膜及盖板玻璃封装所有所述透明导电氧化膜，以制成所述观察窗；该方法制造的观察窗能同时满足高电磁屏蔽效果和大观察范围的要求。
- 一种真空镀膜设备观察窗辅助机构-202320666166.1
- 蒲春;徐伟;蒋碧含;温建仁;韩仁龙;侯立杰;王红江;贾范 - 北京北方华创真空技术有限公司
- 2023-03-29 - 2023-08-01 - C23C14/52
- 本申请涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种真空镀膜设备观察窗辅助机构，一种真空镀膜设备观察窗辅助机构，包括离化装置和吸附装置，离化装置包括高压正极和高压负极，高压正极和高压负极相对设置；吸附装置用于吸附离化出来的离子和电子。本申请具有减少颗粒附着在观察窗上的效果。
- 一种镀膜机观察装置-202320185850.8
- 胡必春 - 武汉特光科技有限公司
- 2023-01-31 - 2023-08-01 - C23C14/52
- 本实用新型涉及一种镀膜机观察装置，包括观察框架，观察框架内部且靠近正面的中央位置处设置有观察玻璃，观察框架内且靠近背面的位置处设置有玻璃清洁装置，玻璃清洁装置包括驱动部件和清洁部件，驱动部件带动清部件沿垂直方向移动对观察玻璃内侧灰尘进行清理，驱动部件包括设置于观察框架顶部两侧的步进电机，步进电机输出端穿过观察框架顶部并安装有滚珠丝杆，滚珠丝杆的表面安装有丝杆螺母，清洁部件包括两个滑块，两个滑块之间的中央固定连接有固定板，固定板靠近观察玻璃的一侧设置有清洁刷；本实用新型使得清洁刷在随滑块移动的时候能够降观察玻璃内侧的污染物清扫掉，进而提高观察玻璃的清晰度。
- 一种转轮式自清洁的可视窗-202320874876.3
- 邱雨祺 - 福建富兰光学股份有限公司
- 2023-04-19 - 2023-07-21 - C23C14/52
- 本实用新型涉及可视窗清洁技术领域，特别是一种转轮式自清洁的可视窗，包括真空镀膜机，所述真空镀膜机上设置有可视窗，所述可视窗上具有可视玻璃和用于对可视玻璃进行清洁的清洁组件；本实用新型结构简洁，性能可靠，有效解决了现有的真空镀膜机可视窗保护玻璃频繁更换、清洗，使生产过程繁琐；以及数量单一，无法提供长时间观察条件，影响相关人员对镀膜系统工作及生产产品的稳定性、可靠性判断的客观问题。
- 开合遮挡装置-202320440644.7
- 刘书雷;许焕峰;柳亚敏 - 上海实路真空技术工程有限公司
- 2023-03-07 - 2023-06-20 - C23C14/52
- 本公开实施例中提供开合遮挡装置，包括：载件、立杆、多组挡片和横轴、及操作手柄。载件为开孔的环形本体，外壁凸伸形成管腔部，管腔部内具有通孔。立杆可伸缩运动地结合通孔，其一端穿设通孔并伸入开孔至结合于对侧的环形本体内壁；立杆在开孔中轴段上延伸间隔设有多个限位组件；每个挡片设有导向槽供立杆穿设，每个挡片结合于一个限位组件以被限制在对应限位空间中；每个横轴两端分别跨设在开孔的相对内壁，分别抵靠于每个挡片；操作手柄设于管腔部外，同立杆之间磁力耦合以驱动立杆；立杆的伸缩运动令各限位组件移位，且沿各挡片的导向槽运动，带动每个挡片绕横轴发生转动。通过多挡片转动的结构实现开合遮挡，占用空间小，且能在真空外操作。
- 一种镀膜的在线检测系统及方法-202310083132.4
- 陆建嘉;屈仁杰 - 厦门海辰储能科技股份有限公司
- 2023-01-31 - 2023-05-30 - C23C14/52
- 本申请公开了一种镀膜的在线检测系统及方法，用于在基底两侧镀覆形成镀膜层并对基底单侧的镀膜层进行检测，所述基底上划分有检测区，所述系统包括：贴胶装置，用于对所述基底的检测区的一侧进行胶带贴附；镀膜装置，所述镀膜装置设置在所述贴胶装置的下游，用于在所述基底两侧均镀覆形成镀膜层；去胶装置，所述去胶装置设置在所述镀膜装置的下游，用于去除所述检测区一侧的所述胶带及其上的镀膜层；检测装置，设置在所述去胶装置的下游，用于对所述检测区另一侧的镀膜层进行检测。
- 一种光学镀膜机-202222069738.6
- 程颖 - 佛山市锦城镀膜有限公司
- 2022-08-08 - 2023-05-09 - C23C14/52
- 本实用新型公开了一种光学镀膜机，涉及镀膜机技术领域，包括镀膜机本体，所述镀膜机本体外部前侧设置有机门，所述机门中心设置有观察窗筒，所述观察窗筒内部设置有内窥筒，所述内窥筒内端分别安装有若干弯折通道。本实用新型设置的光学镀膜机观察窗筒结构，通过在观察筒窗的内端设置有若干弯折通道结构，弯折通道内折射镜二与内窥筒内部转动的折射镜一形成潜望镜结构，实现对镀膜机内部大范围全面的观察视角，且切换视角方便，只需通过外转对应观察侧的拨动转块，即可实现对应角度的观察工作，进而较好的观察镀膜机内部情况，方便镀膜工作的进行，同时本观察同窗结构对于机门开口较少，降低了加工成本和空气泄露的可能性。
- 一种虹膜机构观察窗及真空镀膜设备-202222987634.3
- 王小兵;李沛宏 - 福建建壹真空科技有限公司
- 2022-11-09 - 2023-04-28 - C23C14/52
- 本申请涉及一种虹膜机构观察窗及真空镀膜设备，虹膜机构观察窗，观察窗安装在真空镀膜设备上，观察窗包括依次设置的焊接法兰、圆形观察玻璃及锁紧法兰，焊接法兰与锁紧法兰沿同轴线相对设置有第一观察口及第二观察口；观察玻璃位于第一观察口及第二观察口之间，并通过焊接法兰与锁紧法兰锁付固定；焊接法兰在远离观察玻璃的一端设置有虹膜机构，虹膜机构位于第一观察口处，其可沿观察玻璃中心点收缩或扩张，用于关闭或开启第一观察口；锁紧法兰上设置有旋钮，旋钮的一端贯穿焊接法兰与锁紧法兰与虹膜机构固定连接，用于控制虹膜机构的收缩或扩张，实现观察窗内侧窗口启闭，保护观察窗透明玻璃内侧不受污染。
- 观察窗挡板结构和真空镀膜设备-202222920671.2
- 罗捷;项舰;周帅;刘鹏;徐军军 - 中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室））
- 2022-11-03 - 2023-04-14 - C23C14/52
- 本实用新型涉及一种观察窗挡板结构和真空镀膜设备。观察窗挡板结构包括挡板、轴套、连接杆、磁力驱动组件和锁止件；挡板与观察窗相对设置，且位于真空镀膜设备的炉腔内；轴套设于真空镀膜设备上；连接杆的第一端与挡板连接，连接杆的第二端活动插设于轴套；磁力驱动组件与轴套活动连接，用于通过磁力驱动连接杆绕其轴线转动，使得挡板相对于观察窗转动；锁止件用于限制磁力驱动组件相对于轴套的转动。由于观察窗挡板结构采用磁力驱动连接杆转动，磁力驱动组件只需要通过轴套与连接杆间隔连接，就能带动连接杆转动，因此可以保证炉腔内的真空度。同时锁止件能够防止非人为的外力带动挡板转动，进一步保证了挡板遮挡观察窗的有效性。
- 薄膜沉积系统和薄膜处理系统-202223294549.5
- 尹艳超;谭华强;谈太德 - 拓荆科技股份有限公司
- 2022-12-08 - 2023-03-14 - C23C14/52
- 本实用新型提供了一种薄膜沉积系统和薄膜处理系统。薄膜沉积系统包括：控制器和薄膜沉积设备，薄膜沉积设备包括：腔室、光窗和膜厚仪；腔室的穹顶表面设置有至少一个光窗，每个光窗的外侧设置有膜厚仪；膜厚仪通过对应的光窗发出光线，光线的第一部分经过膜厚仪内部的反射面反射，光线的第二部分经过腔室内的晶圆表面正在生成的薄膜的表面反射；膜厚仪接收反射后的第一部分的光线和反射后的第二部分的光线；控制器基于反射后的第一部分的光线和反射后的第二部分的光线对应的干涉光的光强度分布，确定晶圆表面正在生成的薄膜的厚度。可以在薄膜生长的过程中实时检测晶圆的表面生成薄膜的厚度，具有较高的实时性，可以提高检测速度、减少测量时间。
- 一种视窗架固定装置以及蒸镀设备-202222210362.6
- 黄琪兵;陈旋宇 - 重庆康佳光电技术研究院有限公司
- 2022-08-22 - 2023-03-14 - C23C14/52
- 本申请涉及蒸镀设备技术领域，公开了一种视窗架固定装置以及蒸镀设备，包括用于设置在腔门的内侧且连接到腔门上的架体，架体上设有用于将视窗架限制在腔门的腔门观察通道内的限位部。使视窗架在腔门观察通道内进行限位而不会在腔门开关过程中移出腔门观察通道，避免导致晶圆的蒸镀过程受到影响。
- 一种用于真空镀膜机的观察窗-202121145486.X
- 李成林;杜雪峰;郝明 - 泊肃叶科技（沈阳）有限公司
- 2021-05-26 - 2023-02-28 - C23C14/52
- 本实用新型公开了一种用于真空镀膜机的观察窗，主要包括座体、窗玻璃、压盖和保护装置；座体设置在真空镀膜机的真空室壁上或镀膜机门上，座体内腔与真空室相通；窗玻璃安装在座体内腔的一端，并通过压盖压紧；保护装置包括旋转体和手柄转动机构。座体内腔为圆柱形或圆台形；保护装置的旋转体设置在座体内腔中。旋转体为球状，旋转体的外缘与座体内腔相切；旋转体可在手柄转动机构的驱动下在座体内腔内旋转，旋转体的旋转角度在0°至90°；旋转体内设置有喇叭状的观察通道，观察通道贯穿旋转体。保护装置可保护观察窗免受膜材附着造成的污染。通过调节旋转体的旋转角度，还可以调节变换真空室内的观察区域。
- 一种用于半导体溅射台的真空腔门-202222449820.1
- 曹宇;马丹;王健 - 芯材芯（苏州）半导体科技有限公司
- 2022-09-16 - 2023-01-31 - C23C14/52
- 本实用新型公开了一种用于半导体溅射台的真空腔门，所述真空腔门包括门本体，所述门本体具有相对的第一面和第二面，所述第一面与真空腔体相对，在所述门本体上呈环形排布有多个通孔；多个所述通孔的中部及相邻所述通孔间形成支撑部；在所述第一面设有圆形状的第一透明板，所述第一透明板同时将多个所述通孔覆盖，所述第一透明板与所述门本体的第一面通过密封胶连接；在所述第二面与所述通孔相对处设有第二透明板，所述第二透明板与所述门本体通过密封件形成密封连接；在所述第二面的中心还连接有驱动装置，用于驱动所述门本体开启或闭合所述真空腔体。该真空腔门可用于观察真空腔体内半导体的加工，且保证密封。
- 视窗模组和真空镀膜设备-202222813010.X
- 李王俊;张斌;孙健;徐文涛;刘亚南;李鑫 - 苏州迈为科技股份有限公司;苏州迈正科技有限公司
- 2022-10-25 - 2023-01-20 - C23C14/52
- 本实用新型公开了视窗模组和真空镀膜设备，视窗模组安装于真空镀膜设备的腔体上，视窗模组包括中空固定件，所述中空固定件上设有外层玻璃，所述外层玻璃的远离所述中空固定件的一侧设有至少一个内层玻璃，所述外层玻璃的面积大于所述内层玻璃的面积；所述视窗模组还包括与所述外层玻璃和所述内层玻璃相配合的密封圈。视窗模组具有多层玻璃，当任一层玻璃破裂，其余玻璃与腔体之间仍存在密封，则腔室仍处于真空密封状态，而多层玻璃同时破裂的概率极低，因此，本申请可以很大程度上改善视窗玻璃破裂的问题，使得设备可以长时间稳定生产，也很大程度上保障了设备安全及人员安全。
- 一种真空镀膜设备用观察窗装置-202222884911.8
- 张俊峰;赵子东;张志阳;魏庆瑄 - 上海子创镀膜技术有限公司
- 2022-10-31 - 2023-01-13 - C23C14/52
- 本实用新型涉及大型卧式连续真空镀膜设备、真空观察系统设计、镀膜技术领域，公开了一种真空镀膜设备用观察窗装置，包括真空腔体，所述真空腔体的一侧设置有连接法兰一，所述连接法兰一靠近真空侧的一侧内部设置有卡环，所述卡环的内侧设置有玻璃二，所述连接法兰一远离真空侧的内侧靠近边缘处设置有O型圈。本实用新型中，通过采用双层高透玻璃一和玻璃二的设计，玻璃一为固定式观察玻璃，玻璃二为可更换式的玻璃，如果在真空设备工作时玻璃二被镀膜溅射物污染，使用者可以通过拆卸卡环对被镀膜溅射物污染的玻璃二进行更换，更换起来比较方便，便于使用者通过观察窗对内部真空设备运行的情况进行查看。
- 观察窗挡板结构和真空镀膜设备-202211367527.9
- 罗捷;项舰;周帅;刘鹏;徐军军 - 中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室））
- 2022-11-03 - 2022-12-30 - C23C14/52
- 本发明涉及一种观察窗挡板结构和真空镀膜设备。观察窗挡板结构包括挡板、轴套、连接杆、磁力驱动组件和锁止件；挡板与观察窗相对设置，且位于真空镀膜设备的炉腔内；轴套设于真空镀膜设备上；连接杆的第一端与挡板连接，连接杆的第二端活动插设于轴套；磁力驱动组件与轴套活动连接，用于通过磁力驱动连接杆绕其轴线转动，使得挡板相对于观察窗转动；锁止件用于限制磁力驱动组件相对于轴套的转动。由于观察窗挡板结构采用磁力驱动连接杆转动，磁力驱动组件只需要通过轴套与连接杆间隔连接，就能带动连接杆转动，因此可以保证炉腔内的真空度。同时锁止件能够防止非人为的外力带动挡板转动，进一步保证了挡板遮挡观察窗的有效性。
- 一种真空镀膜设备用离子扫描装置-202221716694.5
- 吴宜生 - 广东腾通镀膜科技有限公司
- 2022-07-04 - 2022-11-18 - C23C14/52
- 本实用新型公开了一种真空镀膜设备用离子扫描装置，包括本体，所述本体为等边直角三角形板型结构，所述本体设有与斜边垂直的拱形圆弧及切平面开口，所述本体三角边处设有用于安装线圈支架的九个螺纹孔，所述本体设有三个沉孔，所述本体设有三个通孔，所述本体设有用于安装L型固定座的三个螺纹孔。本实用新型的优点是：扫射范围大，可实现大面积无死角镀膜，设备利用率高，工作性能稳定；结构简单、轻便、灵活可调，安装拆缷方便，工作安全可靠，涂层均匀、光亮，镀膜效果好，保证了镀膜质量，同时极大地提高了生产效率和降低了生产成本。
- 一种多功能真空设备观察窗-202122633912.0
- 李鹏 - 北京中科科美科技股份有限公司
- 2021-11-01 - 2022-11-15 - C23C14/52
- 本实用新型公开了一种多功能真空设备观察窗,包括观察窗盖，其特征在于，所述观察窗盖连接有观察窗座，所述观察窗座内安装有防电磁辐射玻璃和密封玻璃，所述观察窗盖内设有防污玻璃,所述观察窗盖和观察窗座底部均设有安装孔，旋转轴一端安装在所述安装孔中,所述旋转轴另一端通过螺母与手动挡板连接。本实用新型通过在观察窗座前后方分别安装挡板、防电磁辐射玻璃、密封玻璃、防污玻璃进而达到观察真空镀膜时防止污染、X射线对人体造成伤害的效果。
- 一种电子束蒸发镀膜设备可视化系统-202221540359.4
- 杜鸿基;陈亮 - 北京维开科技有限公司
- 2022-06-20 - 2022-11-15 - C23C14/52
- 本实用新型公开一种电子束蒸发镀膜设备可视化系统，包括影像单元、控制单元、显示单元和存储单元，所述影像单元至少包括第一摄像头和第二摄像头，所述第一摄像头位于电子束蒸发镀膜设备的工件装载舱体外面，所述第二摄像头位于电子束蒸发镀膜设备的镀膜材料蒸发舱体外面，所述第一摄像头和第二摄像头连接控制单元，第一摄像头和第二摄像头分别将上腔室和下腔室的实时影像传送给控制单元，控制单元连接显示单元和存储单元，本系统能够在主工作台上实时观察，实时查询并可回放历史可视化影像的工艺文件，为产品的工艺数据分析和过程质量追溯提供更有效的过程支持，并减少过程操作员的动作浪费，节省操作的时间效率。
- 一种多功能电子束蒸发台用观察窗-202210596546.2
- 马溢华;赵志强 - 无锡芯谱半导体科技有限公司
- 2022-05-30 - 2022-10-14 - C23C14/52
- 本发明公开了一种多功能电子束蒸发台用观察窗，包括板体和转动调整机构，所述转动调整机构设置于板体的内部，所述转动调整机构中的连接盒分别安装于板体背面的两侧，所述转动调整机构还包括有第一电机、主动齿轮、齿圈、连接板、从动齿轮、限位槽和滑球；本发明中通过转动调整机构的设置，可使其具备旋转调整的功能，不仅可以提高观察效果，而且还可提高其多向功能性，经角度位置调整机构的设置，可用于具备角度以及上下位置调整的功能，可二次提高其观察的效果以及多向性，利用除雾机构的设置，可使其具备除雾以及刮除附着的杂物，以便于保证镜片的洁净度和清晰度，同时达到了辅助人们清晰观察的作用。
- 一种真空镀膜机的内观察窗-202221463571.5
- 刘景峰 - 北京奇峰蓝达光学科技发展有限公司
- 2022-06-13 - 2022-09-20 - C23C14/52
- 本实用新型公开了一种真空镀膜机的内观察窗，包括：安装到真空镀膜机内观察口处的安装板，玻璃片；所述安装板上开设内观察口和固定孔，所述玻璃片覆盖安装到所述内观察口处，所述安装板通过所述固定孔固定到所述镀膜机上。本实用新型内观察窗的玻璃片安装到安装板上，透过该玻璃板的视野区域能够满足对光学元件的观察，镀膜机工作一段时间后，可将安装板取下后再更换玻璃片，便于玻璃片的更换，同时，由于玻璃片尺寸的减小，减少了玻璃的消耗，更加经济、实用。
- 一种光学镀膜机的观察窗-202123270008.4
- 熊凯;王威 - 武汉锐晶激光芯片技术有限公司
- 2021-12-23 - 2022-08-23 - C23C14/52
- 本实用新型公开一种光学镀膜机的观察窗，涉及光学镀膜机技术领域，解决了相关技术中光学镀膜机处于真空状态时难以观察真空腔内在观察窗直接视角外的部件的技术问题。窗玻璃本体设于光学镀膜机的腔室门上，安装框固定于光学镀膜机的真空腔室内，第一反射镜活动安装于安装框，第二反射镜活动安装于安装框，且第一反射镜的镜面与第二反射镜的镜面相对设置，传动机构调控第一反射镜和/或第二反射镜的分布角度，以使光学镀膜机的真空腔室内多个区域图像光线可经第一反射镜和第二反射镜从窗玻璃本体输出。通过本观察窗，能够在窗玻璃本体外直接观察到原先难以获取的部件图像，有利于对光学镀膜机的内部进行监控，保障生产进行。
- 测量装置、直列型蒸镀装置以及调整方法-202210090639.8
- 中村谕;古木聪;须藤孝司;石川明;樽茶友昭 - 佳能特机株式会社
- 2022-01-26 - 2022-08-16 - C23C14/52
- 本发明提供一种提高调整搬送装置相对于水平面的高度时的便利性的测量装置、直列型蒸镀装置以及调整方法。通过配置在真空腔室的内部的多个搬送装置在真空中进行搬送的测量装置具备：第1检测部件，检测测量装置相对于水平面的斜度；以及第2检测部件，检测测量装置相对于多个搬送装置的位置。
- 一种真空蒸镀机的观察窗结构-202121471024.7
- 薛蒙晓 - 苏州佑伦真空设备科技有限公司
- 2021-06-30 - 2022-08-09 - C23C14/52
- 本申请提供一种真空蒸镀机的观察窗结构，所述观察窗结构设置在真空蒸镀机的腔体门上，所述观察窗结构从外向内包括：外层玻璃、安装架和延伸件，外层玻璃和安装架固定在腔体门上，延伸件与安装架连接并位于真空蒸镀机的主腔体内，延伸件与腔体门内壁的垂直线之间具有倾斜角a，倾斜角a为0°‑180°，安装架具有第一通孔；延伸件有两个，两个延伸件上下设置在安装架上且倾斜角a相同或者不相同，延伸件中的一个或者两个具有反射功能；真空蒸镀机的主腔室内的光线通过延伸件反射后穿过第一通孔到达外层玻璃，设置在主腔体底板上的坩埚内的蒸镀材料在镀膜时以散射角b呈圆锥体形状向上蒸发，延伸件阻挡蒸发的蒸镀材料防止蒸镀材料穿过第一通孔。
- 一种用于光学镜片的真空镀膜机-202220414649.8
- 刘治兴 - 中山市新裕光电科技有限公司
- 2022-02-28 - 2022-07-29 - C23C14/52
- 本实用新型属于真空镀膜机技术领域，公开了一种用于光学镜片的真空镀膜机，包括机体，所述机体的一侧安装有真空泵组，所述机体的内部安装有真空炉体，所述真空炉体的输入端安装有炉门，且炉门的表壁安装有视窗，所述视窗的外部设置有防护盖，且防护盖的底壁安装有固定块，所述固定块远离防护盖的一端安装有清洁件，本实用新型在视窗的外部安装了防护盖，防护盖的底壁设置了固定块，且固定块远离防护盖的一端安装了清洁件，清洁件采用柔性材料，在工作人员透过视窗观察后，将防护盖扣入，安装的同时清洁件进入透窗的内部并通过拔出和扣入时的摩擦清理透窗的内壁，避免透窗不清晰的情况。
- 专利分类
