[发明专利]一种制作双面透明导电氧化物薄膜的镀镆设备有效
| 申请号： | 202110368849.4 | 申请日： | 2021-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN113201721B | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 李刚 | 申请（专利权）人： | 扬州万润光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/08;C23C16/54;C23C16/44;C23C16/40;B08B5/04 |
| 代理公司： | 北京哌智科创知识产权代理事务所(普通合伙) 11745 | 代理人： | 孙东 |
| 地址： | 225000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种制作双面透明导电氧化物薄膜的镀镆设备，属于薄膜制备技术领域，包括底座，所述底座的顶部固定有真空室，所述真空室的一侧安装有真空泵，所述真空室内部的两侧皆固定有隔板，所述隔板上皆对称开设有通槽。本发明通过U型管、罩板、吸尘仓、负压风机、滤网组成的吸尘机构能够在装置镀镆之前进行除尘，避免灰尘影响镀镆的效果，且通过吸尘机构配合U型板以及除静电毛刷组成的静电消除机构，能够降低灰尘与薄膜之间的粘连效果，提高了除尘的效果，真空室内部第一横向压辊、第二横向压辊、第一纵向压辊、第二纵向压辊组成的薄膜翻转机构的设置，能够使得薄膜的正反面同时进行镀镆，确保了镀镆的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制作 双面 透明 导电 氧化物 薄膜 设备 | ||
【主权项】：
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