[发明专利]一种制作双面透明导电氧化物薄膜的镀镆设备

权利要求书

1.一种制作双面透明导电氧化物薄膜的镀镆设备，其特征在于：包括底座（1），所述底座（1）的顶部固定有真空室（2），所述真空室（2）的一侧安装有真空泵（3），所述真空室（2）内部的两侧皆固定有隔板（4），所述隔板（4）上皆对称开设有通槽（5），所述真空室（2）内顶部安装有镀镆源（6），所述真空室（2）一侧的顶部设置有放膜卷（8），所述真空室（2）靠近放膜卷（8）一侧的底部设置有收膜卷（9），所述真空室（2）内部靠近放膜卷（8）的一侧设置有驱动机构（7），所述真空室（2）内顶部靠近放膜卷（8）的位置处设置有吸尘机构（12），所述真空室（2）内部靠近收膜卷（9）的一侧设置有导向辊（10），所述导向辊（10）安装在隔板（4）上，所述真空室（2）内部远离放膜卷（8）的一侧设置有薄膜翻转机构（13），所述真空室（2）内部靠近薄膜翻转机构（13）的一侧设置有张紧机构（14）；

两组所述隔板（4）之间固定有挡板（15），所述挡板（15）位于薄膜的外侧；

所述驱动机构（7）包括第一转杆（16）、第二转杆（17）和主动齿轮（18），所述第一转杆（16）转动安装在真空室（2）上，所述第二转杆（17）位于第一转杆（16）的底部，且第二转杆（17）与真空室（2）的内壁之间转动连接，所述放膜卷（8）位于第一转杆（16）上，所述收膜卷（9）位于第二转杆（17）上，所述第一转杆（16）的一端固定有主动齿轮（18），所述第二转杆（17）靠近主动齿轮（18）的一端固定有从动齿轮（20），所述主动齿轮（18）与从动齿轮（20）啮合，所述真空室（2）的外侧安装有电机（19），所述电机（19）的输出端与第一转杆（16）连接；

所述吸尘机构（12）包括U型管（23）、罩板（24）和吸尘仓（25），所述U型管（23）位于真空室（2）的内部，所述U型管（23）内侧的顶部与底部皆设置有罩板（24），所述放膜卷（8）与收膜卷（9）之间的薄膜通过U型管（23）的内部，所述吸尘仓（25）安装在真空室（2）的外侧，所述吸尘仓（25）与U型管（23）的内部导通，所述吸尘仓（25）的内部的一端安装有负压风机（26），所述吸尘仓（25）内部的另一端安装有滤网（27）；

所述真空室（2）的内部设置有静电消除机构（11），所述静电消除机构（11）位于放膜卷（8）与吸尘机构（12）之间；

所述薄膜翻转机构（13）包括第一横向压辊（28）、第二横向压辊（29）、第一纵向压辊（30）和第二纵向压辊（31），所述第一横向压辊（28）设置有两组，且第一横向压辊（28）转动安装在真空室（2）内部的一端，所述第二横向压辊（29）设置有两组，所述第二横向压辊（29）与第一横向压辊（28）位于同一水平面上，所述第二横向压辊（29）转动安装在远离第一横向压辊（28）的一端，所述真空室（2）内部靠近第一横向压辊（28）的一侧转动安装有第一纵向压辊（30），所述第一纵向压辊（30）设置有两组，所述真空室（2）内部靠近第二横向压辊（29）的一侧转动安装有第二纵向压辊（31），所述第二纵向压辊（31）设置有两组。

2.根据权利要求1所述的一种制作双面透明导电氧化物薄膜的镀镆设备，其特征在于：所述静电消除机构（11）包括U型板（21）和除静电毛刷（22），所述U型板（21）的内顶部与内底部皆固定有除静电毛刷（22），所述放膜卷（8）与收膜卷（9）之间的薄膜通过U型板（21）的内部。

3.根据权利要求2所述的一种制作双面透明导电氧化物薄膜的镀镆设备，其特征在于：所述张紧机构（14）包括套管（34）、滑杆（35）和输送辊（36），所述套管（34）固定在真空室（2）内部靠近薄膜翻转机构（13）的一侧，所述套管（34）的内部滑动安装有滑杆（35），所述滑杆（35）远离套管（34）的一端转动安装有输送辊（36），所述输送辊（36）与第一纵向压辊（30）、第二纵向压辊（31）之间水平，所述输送辊（36）远离输送辊（36）的一端固定有限位块（37），所述滑杆（35）的外侧套设有弹簧（38），所述弹簧（38）位于限位块（37）以及套管（34）的内端部之间。

4.根据权利要求3所述的一种制作双面透明导电氧化物薄膜的镀镆设备，其特征在于：所述真空室（2）的外端部开设有检修门（32），所述检修门（32）设置有三组，且相邻检修门（32）之间的距离相同。

5.根据权利要求4所述的一种制作双面透明导电氧化物薄膜的镀镆设备，其特征在于：所述真空室（2）端部的中间位置处设置有透明窗（33）。