[发明专利]一种制作双面透明导电氧化物薄膜的镀镆设备

说明书

本发明公开一种制作双面透明导电氧化物薄膜的镀镆设备，属于薄膜制备技术领域，包括底座，所述底座的顶部固定有真空室，所述真空室的一侧安装有真空泵，所述真空室内部的两侧皆固定有隔板，所述隔板上皆对称开设有通槽。本发明通过U型管、罩板、吸尘仓、负压风机、滤网组成的吸尘机构能够在装置镀镆之前进行除尘，避免灰尘影响镀镆的效果，且通过吸尘机构配合U型板以及除静电毛刷组成的静电消除机构，能够降低灰尘与薄膜之间的粘连效果，提高了除尘的效果，真空室内部第一横向压辊、第二横向压辊、第一纵向压辊、第二纵向压辊组成的薄膜翻转机构的设置，能够使得薄膜的正反面同时进行镀镆，确保了镀镆的效果。

技术领域

本发明涉及一种镀镆设备，特别是涉及一种制作双面透明导电氧化物薄膜的镀镆设备，属于薄膜制备技术领域。

背景技术

透明导电氧化物薄膜是一种在可见光光谱范围(380nm＜λ＜780nm)透过率很高且电阻率较低的薄膜材料，透明导电氧化物薄膜材料主要有CdO、In2O3、SnO2和ZnO等氧化物及其相应的复合多元化合物半导体材料，透明导电氧化物薄膜材料的应用范围很广，主要用于液晶显示器透明电极、触摸屏、柔性LED屏幕、广播到元器件自己薄膜太阳能电池等领域，而在透明导电氧化物薄膜的制作过程中需要通过镀镆设备进行生产加工；

但现有的装置在使用的过程中，无法对透明薄膜的表面进行清洁，容易在镀镆完成之后导致离子镀镆的掉落，且传统的装置多采用两组离子镀镆源采用上下同时加工的方式进行镀镆，不仅增加了设备的制造成本，且镀镆过程中无法确保薄膜的上下表面同时均匀的镀镆，镀镆效果较差，另外传统的装置在对于薄膜输送的容易发生褶皱，影响镀镆效果，因此，本发明提出一种制作双面透明导电氧化物薄膜的镀镆设备以解决现有技术中存在的问题。

发明内容

本发明的主要目的是为了提供一种制作双面透明导电氧化物薄膜的镀镆设备，以解决现有技术中镀镆效果差的问题。

本发明的目的可以通过采用如下技术技术方案达到：

一种制作双面透明导电氧化物薄膜的镀镆设备，包括底座，所述底座的顶部固定有真空室，所述真空室的一侧安装有真空泵，所述真空室内部的两侧皆固定有隔板，所述隔板上皆对称开设有通槽，所述真空室内顶部安装有镀镆源，所述真空室一侧的顶部设置有放膜卷，所述真空室靠近放膜卷一侧的底部设置有收膜卷，所述真空室内部靠近放膜卷的一侧设置有驱动机构，所述真空室内顶部靠近放膜卷的位置处设置有吸尘机构，所述真空室内部靠近收膜卷的一侧设置有导向辊，所述导向辊安装在隔板上，所述真空室内部远离放膜卷的一侧设置有薄膜翻转机构，所述真空室内部靠近薄膜翻转机构的一侧设置有张紧机构。

优选的：两组所述隔板之间固定有挡板，所述挡板位于薄膜的外侧。

优选的：所述驱动机构包括第一转杆、第二转杆和主动齿轮，所述第一转杆转动安装在真空室上，所述第二转杆位于第一转杆的底部，且第二转杆与真空室的内壁之间转动连接，所述放膜卷位于第一转杆上，所述收膜卷位于第二转杆上，所述第一转杆的一端固定有主动齿轮，所述第二转杆靠近主动齿轮的一端固定有从动齿轮，所述主动齿轮与从动齿轮啮合，所述真空室的外侧安装有电机，所述电机的输出端与第一转杆连接。

优选的：所述吸尘机构包括U型管、罩板和吸尘仓，所述U型管位于真空室的内部，所述U型管内侧的顶部与底部皆设置有罩板，所述放膜卷与收膜卷之间的薄膜通过U型管的内部，所述吸尘仓安装在真空室的外侧，所述吸尘仓与U型管的内部导通，所述吸尘仓的内部的一端安装有负压风机，所述吸尘仓内部的另一端安装有滤网。

优选的：所述真空室的内部设置有静电消除机构，所述静电消除机构位于放膜卷与吸尘机构之间。

优选的：所述静电消除机构包括U型板和除静电毛刷，所述U型板的内顶部与内底部皆固定有除静电毛刷，所述放膜卷与收膜卷之间的薄膜通过U型板的内部。