[发明专利]一种大功率肖特基二极管有效
| 申请号： | 202110326192.5 | 申请日： | 2021-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN113130626B | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 周勇 | 申请（专利权）人： | 先之科半导体科技（东莞）有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/47;H01L29/872 |
| 代理公司： | 东莞市永桥知识产权代理事务所(普通合伙) 44400 | 代理人： | 姜华 |
| 地址： | 523430 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明系提供一种大功率肖特基二极管，包括N型衬底，N型衬底下设有阴极金属层，阴极金属层围绕有第一绝缘保护环；N型衬底上设有N型外延层，N型外延层的顶部设有P型保护环，N型外延层的顶部中间设有若干等间隔设置的凹陷槽，相邻两个凹陷槽之间的距离为1.2～1.8μm，P型保护环所围绕的N型外延层上覆盖有肖特基势垒层，肖特基势垒层的顶部覆盖有阳极金属层；P型保护环的顶部设有钝化保护环，P型保护环上还覆盖有环形的功函数金属层，阳极金属层还覆盖于功函数金属层上；第一绝缘保护环外固定有散热陶瓷套。本发明能够有效增大可通过的电流，能够提高它们运作的针对性效果，能够显著提高反向击穿电压，结构紧凑牢固。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 大功率 肖特基 二极管 | ||
【主权项】：
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