[发明专利]有机器件及其制造装置、蒸镀室的评价及维护方法、标准掩模装置及其制造方法、标准基板在审
| 申请号： | 202110267508.8 | 申请日： | 2021-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN113388813A | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 冈本英介;池永知加雄;马场良洋;青木大吾 | 申请（专利权）人： | 大日本印刷株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王博;庞东成 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及有机器件及其制造装置、蒸镀室的评价及维护方法、标准掩模装置及其制造方法、标准基板。有机器件的制造装置的蒸镀室的评价方法具备：蒸镀工序，在蒸镀室中，经由标准掩模装置的标准掩模的贯通孔使材料蒸镀于包含标准标记的标准基板，在标准基板上形成蒸镀层；搬出工序，将形成有蒸镀层的标准基板从制造装置搬出；以及观察工序，观察从制造装置搬出的标准基板中的标准标记与蒸镀层的位置关系。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 器件 及其 制造 装置 蒸镀室 评价 维护 方法 标准 | ||
【主权项】：
暂无信息
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