[发明专利]一种叠层金属和金属氧化物蚀刻液组合物及其使用方法有效
| 申请号： | 202110239107.1 | 申请日： | 2021-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN113046747B | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 徐帅;张红伟;李闯;胡天齐;钱铁民 | 申请（专利权）人： | 四川和晟达电子科技有限公司;江苏和达电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18;C23F1/26;C23F1/44;C09K13/08 |
| 代理公司： | 上海微策知识产权代理事务所(普通合伙) 31333 | 代理人： | 汤俊明 |
| 地址： | 620010 四川省眉*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种叠层金属和金属氧化物蚀刻液组合物及其使用方法，原料包括：按质量百分数计，过氧化氢5‑20％，无机酸1‑10％，氟离子源0.01‑1％，络合剂1‑10％，碱类化合物1‑10％，金属缓蚀剂0.01‑1％，溶剂补充余量。本发明提供一种叠层金属和金属氧化物蚀刻液组合物及其使用方法不仅能有效蚀刻叠层金属和金属氧化物，而且蚀刻形貌好，蚀刻精度高，能有效满足客户的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 氧化物 蚀刻 组合 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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