[发明专利]一种叠层金属和金属氧化物蚀刻液组合物及其使用方法有效
| 申请号： | 202110239107.1 | 申请日： | 2021-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN113046747B | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 徐帅;张红伟;李闯;胡天齐;钱铁民 | 申请（专利权）人： | 四川和晟达电子科技有限公司;江苏和达电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18;C23F1/26;C23F1/44;C09K13/08 |
| 代理公司： | 上海微策知识产权代理事务所(普通合伙) 31333 | 代理人： | 汤俊明 |
| 地址： | 620010 四川省眉*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 金属 氧化物 蚀刻 组合 及其 使用方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种叠层金属和金属氧化物蚀刻液组合物，其特征在于，原料包括：按质量百分数计，过氧化氢6-10％，无机酸1.98％，氟离子源0.03％，多元醇类络合剂2-5％，碱类化合物3.63％，金属缓蚀剂0.05-0.8％，溶剂补充余量，多元醇类络合剂为乙二醇和三甘醇。
2.根据权利要求1所述一种叠层金属和金属氧化物蚀刻液组合物，其特征在于，所述无机酸包括硫酸、硝酸的一种或几种。
3.根据权利要求1所述一种叠层金属和金属氧化物蚀刻液组合物，其特征在于，所述氟离子源包括HF、氟化盐的一种或几种。
4.根据权利要求1所述一种叠层金属和金属氧化物蚀刻液组合物，其特征在于，所述碱类化合物包括氨水、有机碱的一种或几种。
5.根据权利要求4所述一种叠层金属和金属氧化物蚀刻液组合物，其特征在于，所述有机碱包括胺类、醇胺类化合物的一种或几种。
6.根据权利要求1所述一种叠层金属和金属氧化物蚀刻液组合物，其特征在于，所述金属缓蚀剂选自氨基氮唑类化合物。
7.一种根据权利要求1-6任一项所述一种叠层金属和金属氧化物蚀刻液组合物的使用方法，其特征在于，在一定蚀刻温度下，加入蚀刻液于药液箱中，以喷淋的形式均匀喷洒玻璃基板的金属表面。
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