[发明专利]金属导电薄膜及其制备方法、薄膜晶体管以及显示装置在审
| 申请号： | 202110232247.6 | 申请日： | 2021-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN113066859A | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 鲜济遥;周佑联;许哲豪;袁海江 | 申请（专利权）人： | 北海惠科光电技术有限公司;惠科股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/417 | 分类号： | H01L29/417;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49;H01L21/28;H01L29/786;G02F1/1362 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 张志江 |
| 地址： | 536000 广西壮族自治区北海市工业园区北海大*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明公开一种金属导电薄膜及其制备方法、薄膜晶体管以及显示装置，所述金属导电薄膜包括金属层和氮化物层，所述金属层的材质为第一金属；所述氮化物层叠设于所述金属层的一侧，所述氮化物层的材质为所述第一金属的氮化物。本发明提供的金属导电薄膜，通过在金属层的一侧设置附着性佳的氮化物层，改善了金属导电薄膜的附着性；同时，氮化物层的材质为第一金属的氮化物，这种氮化物能够通过在氮气环境下镀膜得到，相较传统的合金或者多层金属结构的制备工艺，氮化物层的制备能够一次成膜得到，步骤少，效率高；此外，氮化物层只需一种蚀刻液就能实现蚀刻，成本低、效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 导电 薄膜 及其 制备 方法 薄膜晶体管 以及 显示装置 | ||
【主权项】：
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