[发明专利]阻尼可调型硅微音叉谐振式加速度计结构有效
| 申请号： | 202110049185.5 | 申请日： | 2021-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN112881753B | 公开（公告）日： | 2023-02-24 |
| 发明（设计）人： | 裘安萍;施芹;夏国明;赵阳 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01P15/097 | 分类号： | G01P15/097 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 汪清 |
| 地址： | 210094 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种阻尼可调型硅微音叉谐振式加速度计结构，加速度结构设置在三层单晶硅的中层单晶硅片上，该结构包括质量块、两个谐振器、四个微杠杆放大机构、应力释放机构、多个支撑梁、多个阻尼调节机构和多个固定基座；阻尼调节机构均匀布在质量块上；两个谐振器关于x轴对称布置在质量块中间，微杠杆放大机构位于两个谐振器之间；两个谐振器内侧的一端分别与两个微杠杆的输出端相连，与同一个谐振器相连的两个微杠杆的支点端连接到同一个应力释放机构，再与固定基座相连；微杠杆机构的输入端与质量块相连，质量块通过支撑梁与固定基座相连，固定基座与上层单晶硅和下层单晶硅的固定基座相连。本发明减小了频率的温度系数，阻尼可调。 | ||
| 搜索关键词： | 阻尼 可调 型硅微 音叉 谐振 加速度计 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京理工大学，未经南京理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110049185.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 一种基于多级差分输出的高精度硅基MEMS谐振加速度计-202310734210.2
- 高乃坤;刘福民;高适萱;张乐民;吴浩越;张树伟;杨静 - 北京航天控制仪器研究所
- 2023-06-20 - 2023-10-27 - G01P15/097
- 本发明公开了一种基于多级差分输出的高精度硅基MEMS谐振加速度计，包括上层盖帽层、中层敏感模块、下层衬底层。中层敏感模块包括左右对称分布、相互隔离的两个相同敏感结构，敏感结构包括质量块、杠杆放大结构、热应力释放结构、谐振器，谐振器包括谐振梁与连接在谐振梁上的滑膜梳齿结构，滑膜梳齿结构连接外部驱动电路产生静电力驱动谐振梁振动，并输出检测信号。本发明通过多级差分检测设计，有效降低电路噪声、温度漂移等误差对硅基MEMS谐振加速度计的精度干扰，实现硅基谐振MEMS加速度计在全温环境下可保持较高的加速度测量精度。
- 一种石英振梁加速度计两通道频率测试电路-202320702083.3
- 刘文俊;顾晓程;杨军;刘大俊 - 上海极锐星瀚传感技术有限公司
- 2023-04-03 - 2023-10-27 - G01P15/097
- 本实用新型涉及石英振梁加速度计技术领域，具体涉及一种石英振梁加速度计两通道频率测试电路，包括石英振梁加速度计、FPGA模块、MCU芯片和时钟模块，FPGA模块包括方波整形模块一、方波整形模块二、PLL倍频模块、基于Verilog HDL的测频模块、UART通信模块和片上存储；本实用新型提出的石英振梁加速度计两通道频率测试电路，可以实现石英振梁加速度计两路频率输出的同步、高精度、实时测量，具有小体积、低功耗、低成本和高精度的特点。
- 一种GaN光机械微盘加速度传感器及其制备方法-202310563061.8
- 朱刚毅;马迪;秦飞飞;冀宝剑;田沐霏;梁金星 - 南京邮电大学
- 2023-05-18 - 2023-08-18 - G01P15/097
- 本发明公开了一种GaN光机械微盘加速度传感器及其制备方法，传感器包括硅衬底层，硅衬底层的底部支撑层上形成一体连接的第一支撑部、第二支撑部和第三支撑部，第一支撑部、第二支撑部和第三支撑部上端分别设置有第一氮化物圆盘、第二氮化物圆盘和第三氮化物圆盘，第一氮化物圆盘与第二氮化物圆盘之间设置有一体连接的悬空连接梁，第三氮化物圆盘位于第一氮化物圆盘与第二氮化物圆盘之间，悬空连接梁、第一氮化物圆盘、第二氮化物圆盘和第三氮化物圆盘均由上下设置的氮化铝层和氮化镓层构成。本发明提供的一种GaN光机械微盘加速度传感器及其制备方法，能够避免电学噪声的干扰，加速度传感器的灵敏度和分辨率更高，量程更大。
- 一种零频微震加速度传感采集系统-202310563477.X
- 郭宇亮;张琰 - 深圳前海龙滨科技有限公司
- 2023-05-18 - 2023-08-15 - G01P15/097
- 本发明公开了一种零频微震加速度传感采集系统，涉及了数据处理技术领域，包括处理终端，所述处理终端通信连接有权限申请模块，数据采集模块、数据处理模块、故障定位模块和修复执行模块；通过数据采集模块采集风力发电设备中的内置信息并转换为数据信息流；数据处理模块对数据信息流进行流量控制、异常值筛选、数据流跟踪、频率放大和信号转换；故障定位模块的故障检测单元用于检测风力发电设备的故障问题，故障初步定位单元和故障二次定位单元用于生成定位区域；通过修复执行模块进行修复措施配置并解决故障，从而实现了对风力发电设备的实时检测管理。
- 一种振动信号的调理电路-202223592297.4
- 张晓睿;高志强;张洪平;陈功帅;朱国煜 - 中航光电华亿（沈阳）电子科技有限公司
- 2022-12-30 - 2023-07-18 - G01P15/097
- 本申请提供了一种振动信号的调理电路，其特征在于，所述调理电路包括：供电模块、转换芯片、稳压模块、加速度计和放大模块；所述供电模块的第一端与所述转换芯片的第一端连接，所述转换芯片的第二端与所述稳压模块的第一端连接，所述稳压模块的第二端与所述加速度计的第一端连接，所述供电模块的第一端与所述放大模块的第一端连接，所述供电模块用于通过转换芯片和稳压模块为加速度计供电，从而驱动加速度计接收振动信号，所述供电模块还用于为所述放大模块供电；所述加速度计的第二端与所述放大模块的第二端连接，所述放大模块的第三端与所述转换芯片的第三端连接。通过所述振动信号的调理电路，能够提高调理后的振动信号的信噪比。
- 一种弱耦合谐振式加速度传感器-202110963378.1
- 熊兴崟;王坤锋;邹旭东;汪政 - 中国科学院空天信息创新研究院
- 2021-08-20 - 2023-07-11 - G01P15/097
- 本发明提供一种弱耦合谐振式加速度传感器，包括：敏感质量块及其支撑结构；谐振器系统，包括第一谐振器单元、第二谐振器单元和耦合结构；第一谐振器单元包括：多模态谐振器，第二谐振器单元包括：标准谐振器，多模态谐振器通过耦合结构与标准谐振器连接；差分微杠杆结构，差分微杠杆结构的输入端与敏感质量块连接，差分微杠杆结构的输出端与标准谐振器连接。本发明提供的弱耦合谐振式加速度传感器，通过设计弱耦合谐振式加速度传感器，在不改变MEMS弱耦合谐振式加速度传感器高灵敏度特性的情况下，有效补偿温度效应对其灵敏度带来的影响，增强MEMS弱耦合谐振式加速度传感器的环境适应性和鲁棒性，同时提高该类传感器的性能。
- 一种用于实时控制高层建筑风振加速度的主动扰流板系统-202310296481.4
- 陈波;张路 - 重庆大学
- 2023-03-23 - 2023-07-04 - G01P15/097
- 本发明涉及一种用于实时控制高层建筑风振加速度的主动扰流板系统，监测模块包括风速风向观测仪，用来监测目标建筑所在位置实时风速风向数据；计算模块包括数据处理系统与主动控制算法，用来处理监测模块获取的实时风速风向数据以确定风向区间，基于实时风速风向数据、风荷载系数及高层建筑结构模型计算高层建筑实时风振加速度，将高层建筑风振加速度取得最小值作为优化目标，开展扰流板转角优化设计；控制模块包括作动器与扰流板系统，以接收控制算法输出的数据并使扰流板系统做出响应；解决被动扰流板系统无法根据实际风速风向参数对转角实时修正以及被动扰流板系统优化设计方法仅能对特定风向的风振加速度进行控制，达不到风振加速度实时控制。
- 传感器系统和用于保护传感器系统的方法-202211649728.8
- A·察普科连科;H·鲁夫;M·霍夫曼;R·舍本 - 罗伯特·博世有限公司
- 2022-12-21 - 2023-06-27 - G01P15/097
- 提出了一种传感器系统，其具有转速传感器和控制单元，其中，所述转速传感器包括振动质量并且配置成，借助驱动力来驱动所述振动质量的运动，其中，所述控制单元配置成，探测所述传感器系统的自由落体并且在探测到所述自由落体的情况下停用所述驱动力。还提出了一种用于保护传感器系统的方法，其中，在探测步骤中，通过控制单元探测所述传感器系统的自由落体，并且在保护步骤中，通过所述控制单元停用驱动力。
- 一种谐振式硅微加速度计-202310114299.2
- 陈余;孙鹏;杨天宇;李小石;王曦;张开盛 - 中国工程物理研究院电子工程研究所
- 2023-02-13 - 2023-06-23 - G01P15/097
- 本发明公开了一种谐振式硅微加速度计，涉及微机电系统技术领域，包括下层的衬底硅和上层的机械结构，所述衬底硅上带有左锚点和右锚点，上层的所述机械结构锚定于所述左锚点和右锚点上；所述机械结构包括两个沿X轴对称的左音叉梁谐振器和右音叉梁谐振器，所述左音叉梁谐振器通过左锚点固定于衬底硅上，所述右音叉梁谐振器通过右锚点固定于衬底硅上；所述左锚点和右锚点均位于左音叉梁谐振器和右音叉梁谐振器之间，且沿X轴对称设置，所述左锚点、右锚点、左音叉梁谐振器和右音叉梁谐振器均在同一直线上；所述X轴为敏感轴方向。采用本方案，通过将固定锚点数量减少为2个，并尽量居中靠近，从而进一步减小了温度应力对敏感结构的影响。
- 一种石英谐振加速度传感器的双面对准贴装方法-202310285185.4
- 陈立国;王阳俊;刘欢;薛立伟;赵悦;孙承峰 - 苏州大学
- 2023-03-22 - 2023-06-23 - G01P15/097
- 本发明公开了一种石英谐振加速度传感器的双面对准贴装方法，属于微观领域的超精密操作，应用于石英谐振式加速度传感器中跨尺度零件装配，具体涉及双显微视觉系统相机标定、零部件特征识别以及低应力双面对准贴装方法。区别于过去实验过程中采用的手动按压装配，本发明通过标定工业面阵相机与世界坐标系间的映射关系、双相机坐标系映射关系，对显微视觉采集到的特征信息进行坐标转换，利用零部件表面的对准标识，实现加速度传感器零部件的对准与装配。该方法避免了手动装配误差较大而导致的石英谐振频率失调加速度传感器的测量精度的影响。
- 基于静电平衡的量程自适应谐振式加速度计及系统和方法-202210215362.7
- 韦学勇;张益秋 - 西安交通大学
- 2022-03-04 - 2023-06-06 - G01P15/097
- 本发明公开了一种基于静电平衡的量程自适应谐振式加速度计及系统和方法，通过增设多组梳齿可动极板与梳齿固定极板并进行可编程控制，基于静电刚度软化机理及静电平衡闭环反馈机理，调节梳齿固定极板处施加偏置电压大小，利用静电力补偿质量块所受加速度影响产生的惯性力，最终使振荡器频率始终稳定在一定范围内，巧妙扩大了加速度计能够有效测量的范围，实际应用时具有量程自适应性，解决了量程和分辨率相互制约的技术难题，开拓了谐振式加速度计在高精尖领域的更好应用。
- 一种基于短接贴片天线的结构加速度检测装置-202110557395.5
- 谢丽宇;易卓然;薛松涛 - 同济大学
- 2021-05-21 - 2023-06-02 - G01P15/097
- 本发明涉及一种基于短接贴片天线的结构加速度检测装置，用于检测待测结构的结构加速度，包括加速度传感器、阅读器、发射天线和数据终端，所述的加速度传感器包括封装板、弹性组件和辐射单元，所述的辐射单元包括辐射贴片、芯片和短接贴片，所述的辐射贴片通过基板固定在封装板上，所述的芯片固定在辐射贴片上，所述的短接贴片一侧与弹性组件连接，另一侧紧贴辐射贴片，检测时加速度传感器固定在待测结构上，所述的阅读器通过发射天线收发信号，提取辐射单元的谐振频率，所述的数据终端根据谐振频率计算得到待测结构的结构加速度。与现有技术相比，本发明具有布设简单、成本低、适用性强、可靠性高和使用寿命长等优点。
- 一种硅微谐振式加速度计温度误差抑制电极及其抑制方法-202211225242.1
- 黄丽斌;汪鹏;尹靖靖;赵立业;丁徐锴 - 东南大学
- 2022-10-09 - 2023-05-30 - G01P15/097
- 本发明公开了一种硅微谐振式加速度计温度误差抑制电极及其抑制方法，具体步骤包括：首先在无加速度载荷下进行全温测试，记录谐振频率和温度的数据并建立谐振器输出频率随温度变化的模型；然后根据谐振器输出频率随温度变化的模型，通过谐振器力频函数计算得出谐振器所受轴向力随温度变化的模型；再根据谐振器所受轴向力随温度变化的模型，结合温度误差抑制电极参数，得出温度误差抑制电极的固定梳齿上所需施加的电压随温度变化的模型；通过温度传感器实时测量的敏感结构温度，控制电路根据此温度值输出相应的电压，利用机电结合的办法，实时且精准地进行温度误差抑制。
- 谐振加速度计、用于其的检测结构以及电子装置-202222429774.9
- V·泽加;G·加特瑞;A·弗兰吉;A·奥普雷尼;M·里亚尼 - 意法半导体股份有限公司
- 2022-09-14 - 2023-05-23 - G01P15/097
- 本公开的实施例涉及谐振加速度计、用于其的检测结构以及电子装置。检测结构包括惯性质量块，惯性质量块悬置在衬底上方，并且具有提供在惯性质量块并且在惯性质量块的整个厚度上穿过它的窗口。惯性质量块通过扭转类型的第一锚定弹性元件和第二锚定弹性元件耦合到主锚定件，主锚定件布置在窗口中，并且与衬底一体。检测结构还包括具有纵向延伸的至少第一谐振元件，第一谐振元件耦合在第一弹性元件和布置在窗口中的第一约束元件之间。第一约束元件悬置在衬底上方，通过第一辅助锚定元件固定地耦合到衬底，第一辅助锚定元件在具有纵向延伸的第一谐振元件下方延伸，并且一体地耦合在第一约束元件和主锚定件之间。
- 基于高阶同步的MEMS谐振式加速度计-202223263013.7
- 宦荣华;肖尊浩;刘志强;施展;王雪峰 - 浙江大学
- 2022-12-06 - 2023-05-16 - G01P15/097
- 本实用新型公开了一种基于高阶同步的MEMS谐振式加速度计，属于MEMS技术领域。包括低频传感模块，其用于将外界加速度信息转化为低频谐振梁的振动信号；同步模块，其包含低频同步电路和高频检测电路，所述的低频同步电路用于将低频传感模块中低频谐振梁的振动信号转化为激励信号施加给高频耦合模块中的高频谐振盘，使高频谐振盘与低频谐振梁的振动频率耦合同步；所述的高频检测电路用于检测高频谐振盘的振动信号，根据高频谐振盘的振动频率变化计算外界加速度大小；高频耦合模块，其用于通过高频谐振盘放大低频传感模块中的振动信号。本实用新型提高了加速度计的灵敏度和稳定性。
- 石英振梁加速度计-202211539064.X
- 吴黎明;廖兴才;韩学飞;汤一;张琳琳;裴志强;要彦清;张梦婷;舒俊峰;沈欣 - 北京晨晶电子有限公司
- 2022-12-01 - 2023-05-12 - G01P15/097
- 本发明涉及加速度计技术领域，提供一种石英振梁加速度计。该石英振梁加速度计，包括：摆组件机构；摆组件机构包括依次连接的刚性框、挠性梁和质量摆；振梁机构，刚性框和质量摆分别固定在振梁机构上；减振机构，减振机构包括依次连接的多级减振结构，刚性框的一端与多级减振结构连接。本发明提供的一种石英振梁加速度计，通过减振机构与刚性框连接，通过应力隔离的方式，对外界输入冲击进行机械隔离，将外界的瞬时冲击力逐级衰减，将外界振动或冲击对摆组件机构的影响降至最小，降低石英振梁加速度计的测量误差，提高测量精准度。
- 检测模式可切换的高精度、大量程加速度传感器及其控制方法-202110233189.9
- 吴天豪;张晶;苏岩 - 南京理工大学
- 2021-03-03 - 2023-04-07 - G01P15/097
- 本发明提供了一种检测模式可切换的高精度、大量程加速度传感器及其控制方法，该加速度计工作平面层包括一个敏感质量块、三个谐振器，其中两侧的谐振器包括一个惯性力放大杠杆结构和一组差分梳齿驱动检测结构，相邻谐振器之间由等间距平板电容提供静电力构成静电耦合。当加速度较小时，由电路控制三个谐振器处于不同电位，使得三个谐振器间产生静电耦合构成模态局部化检测模式，通过振幅比检测加速度，当加速度超过预设临界值时，由电路控制取消中间谐振器的电位，使得各谐振器之间不再相互耦合，处于单独谐振状态，即由模态局部化模式切换成振梁式，通过差分谐振频率检测加速度。本发明能实现大量程、高灵敏度、大动态测量范围的高精度加速度计。
- 敏感组件应力消除结构及具有其的振梁加速度计-202110913158.8
- 刘晓智;孙刚;丁凯;苏翼;杨亚杰;李陈征 - 北京自动化控制设备研究所
- 2021-08-10 - 2023-04-07 - G01P15/097
- 本发明提供了一种敏感组件应力消除结构及具有其的振梁加速度计，该结构包括应力消除主体单元、第一和第二应力释放外环，应力消除主体单元具有振梁阻尼腔和摆挠性支撑阻尼腔，振梁阻尼腔与摆挠性支撑阻尼腔呈夹角设置，振梁阻尼腔用于容纳设置振梁叉指组件，摆挠性支撑阻尼腔用于容纳设置摆挠性支撑组件，第一和第二应力释放外环均设置在应力消除主体单元的周缘，第一和第二应力释放外环之间形成应力释放腔。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中振梁加速度计的力学环境适应性差、热学环境适应性差以及输出对称性差的技术问题。
- 支持多通道运输三轴冲击加速度实时在线监测智能终端-202211593349.1
- 张驰;沈祝园;邱帅;姚曦娴;王玮;周宇;张勇;杨店飞;袁伟伟 - 国网江苏省电力有限公司物资分公司
- 2022-12-13 - 2023-03-24 - G01P15/097
- 本发明公开了一种支持多通道运输三轴冲击加速度实时在线监测智能终端，包括三轴冲击加速度传感器、连接电缆和监测主机，设置在待测设备本体上的一组三轴冲击加速度传感器均通过连接电缆和监测主机连接；所述监测主机包括对多路冲击加速度传感器的信号进行同步采集的同步采集通信模块、GPS定位模块和4G加密通信模块；监测主机紧固安装在设备本体或运输车辆上。本发明采用电子式冲击加速度监测技术，并具备多通道三轴冲击加速度同时采集，实现了大件设备运输在线监测，装置采用小型化设计，便于安装。
- 一种具有二级温控系统的微振监测无线加速度传感器-202222935293.5
- 尹训强;黄华 - 大连大学
- 2022-11-04 - 2023-03-24 - G01P15/097
- 本实用新型涉及传感器技术领域，具体公开了一种具有二级温控系统的微振监测无线加速度传感器。包括外壳体、加速度计、铜管、电热片、一级控温器和二级控温器；所述加速度计固定于外壳体内，所述电热片和所述铜管布置于加速度计的外侧，电热片位于铜管和加速度计之间；铜管与所述一级控温器控制连接，一级控温器用于控制铜管的温度，电热片与所述二级控温器连接，二级温控器用于控制电热片的温度，通过让电热片和铜管之间产生一定的温度差，使得加速度传感器在各种温度环境下保持恒定温度并进行实时采样，大大提高了所得到数据的精度。
- 具有改进的性能的检测结构的Z轴线谐振加速度计-202211115999.5
- V·泽加;G·加特瑞;A·弗兰吉;A·奥普雷尼;M·里亚尼 - 意法半导体股份有限公司
- 2022-09-14 - 2023-03-17 - G01P15/097
- 本公开的实施例涉及具有改进的性能的检测结构的Z轴线谐振加速度计。检测结构包括惯性质量块，惯性质量块悬置在衬底上方，并且具有提供在惯性质量块并且在惯性质量块的整个厚度上穿过它的窗口。惯性质量块通过扭转类型的第一锚定弹性元件和第二锚定弹性元件耦合到主锚定件，主锚定件布置在窗口中，并且与衬底一体。检测结构还包括具有纵向延伸的至少第一谐振元件，第一谐振元件耦合在第一弹性元件和布置在窗口中的第一约束元件之间。第一约束元件悬置在衬底上方，通过第一辅助锚定元件固定地耦合到衬底，第一辅助锚定元件在具有纵向延伸的第一谐振元件下方延伸，并且一体地耦合在第一约束元件和主锚定件之间。
- 一种非对称梁谐振式微机械加速度传感器、加速度测量方法-202011130045.2
- 刘猛;唐彬;王超;赵剑 - 中国工程物理研究院电子工程研究所
- 2020-10-21 - 2023-03-10 - G01P15/097
- 本发明涉及微机械传感器技术领域，一个方面，提供了一种非对称梁谐振式微机械加速度传感器，包括多件谐振敏感芯片；所述谐振敏感芯片的惯性不同；所述第一盖板和第二盖板与对应的谐振敏感芯片之间均形成检测电容，相邻两件谐振敏感芯片之间形成静电弱耦合电容。另一个方面，提供了一种电子装置，包括上述的非对称梁谐振式微机械加速度传感器，及控制单元；所述控制单元分为驱动谐振敏感芯片振动的驱动单元，和检测谐振敏感芯片振动参数的检测单元。应用本发明的技术方案，可提高基于弱耦合谐振原理以检测加速度的灵敏度；在工作中，可控制谐振敏感芯片的耦合强度，方便根据实际需求调节灵敏度参数，同时提高温度适应性。
- 传感器和电子装置-202210176109.5
- 增西桂;富泽泰;小川悦治;丸藤龙之介;加治志织;平贺广贵;宫崎史登;小野大骑;内田健悟 - 株式会社东芝
- 2022-02-25 - 2023-03-07 - G01P15/097
- 本发明提供能够提高特性的传感器和电子装置。根据实施方式，传感器包括基体、第1支承部和第1可动部。第1支承部固定于基体。第1可动部支承于第1支承部并与基体分离。第1可动部包括第1可动基部、第2可动基部、连接基部、第1可动梁、第2可动梁、第1可动导电部和第2可动导电部。第1可动导电部包括第1延伸导电部和第1另一延伸导电部。第2可动导电部包括第2延伸导电部和第2另一延伸导电部。
- 阻尼可调型硅微音叉谐振式加速度计结构-202110049185.5
- 裘安萍;施芹;夏国明;赵阳 - 南京理工大学
- 2021-01-14 - 2023-02-24 - G01P15/097
- 本发明公开了一种阻尼可调型硅微音叉谐振式加速度计结构，加速度结构设置在三层单晶硅的中层单晶硅片上，该结构包括质量块、两个谐振器、四个微杠杆放大机构、应力释放机构、多个支撑梁、多个阻尼调节机构和多个固定基座；阻尼调节机构均匀布在质量块上；两个谐振器关于x轴对称布置在质量块中间，微杠杆放大机构位于两个谐振器之间；两个谐振器内侧的一端分别与两个微杠杆的输出端相连，与同一个谐振器相连的两个微杠杆的支点端连接到同一个应力释放机构，再与固定基座相连；微杠杆机构的输入端与质量块相连，质量块通过支撑梁与固定基座相连，固定基座与上层单晶硅和下层单晶硅的固定基座相连。本发明减小了频率的温度系数，阻尼可调。
- 一种MEMS谐振式加速度传感器-202111017558.7
- 邹旭东;王佳伟;熊兴崟;李志天;杨伍昊;汪政 - 中国科学院空天信息创新研究院
- 2021-08-31 - 2023-02-21 - G01P15/097
- 本发明提供一种MEMS谐振式加速度计，MEMS谐振式加速计包括MEMS谐振式加速度传感器以及闭环驱动电路；MEMS谐振式加速度传感器包括衬底结构、加速度感受单元以及温度补偿单元，加速度感受单元包括第一MEMS谐振器以及感力结构，温度补偿单元包括第二MEMS谐振器以及频率调制结构；闭环驱动电路包括第一锁相环系统，第一锁相环系统电性连接至第一MEMS谐振器上，第一锁相环系统包括MEMS压控振荡器，MEMS压控振荡器电性连接至第二MEMS谐振器上。由于第一MEMS谐振器与第二MEMS谐振器产生的温漂相同，将第一MEMS谐振器与第二MEMS谐振器的输出信号进行相应差分运算，即可消除温漂的影响。
- 一种基于原子钟锁频的压控再平衡石英谐振加速度计-202211389473.6
- 李村;卜凯;赵玉龙;李波;薛闳 - 西安交通大学
- 2022-11-08 - 2023-01-03 - G01P15/097
- 一种基于原子钟锁频的压控再平衡石英谐振加速度计，包括原子钟、分频器、鉴频鉴相器、环路控制器、模数转换器、压控变容器、自动幅度控制器、带有加速度敏感结构的石英谐振器；石英谐振器、压控变容器、自动幅度控制器依次相连组成振荡环路，鉴频鉴相器、环路控制器、振荡环路依次连接成锁相环路，原子钟信号通过分频器与鉴频鉴相器参考输入端相连，石英谐振器输入端口与鉴频鉴相器反馈输入端口相连，模数转换器量化锁相环路的环路控制器输出电压控制信号作为敏感加速度的数字表征；本发明实现较高的加速度分辨率，并实现数字输出，降低系统集成成本与精度损失。
- 振动梁式加速度计-201811571811.1
- J.斯特雷洛;M.诺瓦克 - 霍尼韦尔国际公司
- 2018-12-21 - 2023-01-03 - G01P15/097
- 本发明涉及一种振动梁式加速度计。具体公开了：一种检验质量块组件，包括：第一谐振器和第二谐振器，每个谐振器包括第一结合垫和第二结合垫、以及一对长形齿部，其中，第一结合垫和第二结合垫定位在长形齿部的相对端处；检验质量块，其包括第一主要表面和第二主要表面，检验质量块的第一主要表面包括结合区域，该结合区域包括至少一个通道，所述至少一个通道在基本上平行于第一谐振器的长形齿部的纵向轴线的方向上延伸；检验支撑件，其包括第一主要表面和第二主要表面；至少一个屈曲件，其将检验质量块连接到检验支撑件；以及粘合剂，其将第一谐振器的第一结合垫结合到结合区域以及将第一谐振器的第二结合垫结合到检验支撑件的第一主要表面。
- 带相位补偿低压驱动的石英振梁加速度计激振电路-202211136210.4
- 马高印;张菁华;孙刚;刘晓智;苏翼;丁凯;梁文华 - 北京自动化控制设备研究所
- 2022-09-19 - 2022-12-30 - G01P15/097
- 本发明提供一种带相位补偿的低压驱动石英振梁加速度计激振电路，该激振电路包括：前置放大和移相限幅模块，用于实现输入信号的直流偏置和反相放大，并输出至移相限幅和低压驱动模块，移相限幅和低压驱动模块将信号经移相限幅处理后输出至波形整形模块，同时还将信号经移相限幅处理和低压驱动处理后分为两路，一路施加至石英振梁的驱动电极，另一路进入相位补偿，波形整形模块用于对输入信号的波形上升及下降沿的陡直度进行调整，并将输出信号至并联反相模块；并联反相模块对输入信号的波形再一次反相处理。该方案有效减小激振电路的相位误差，降低温度变化对振梁谐振特性的影响，有利于提高加速度计的长期稳定性。
- 一种集成摆式石英谐振加速度计结构及其装配方法-202110522309.7
- 张宇航;王建青;党建军;王文一 - 西安航天精密机电研究所
- 2021-05-13 - 2022-12-20 - G01P15/097
- 本发明公开了一种集成摆式石英谐振加速度计结构，包括安装基座、外壳、挠性质量块、上隔离限位板、下隔离限位板、谐振电路、谐振梁以及接线柱；安装基座和外壳相互配合，构成一个安装腔室；上隔离限位板、挠性质量块、下隔离限位板均位于所述安装腔室内，且自上而下设置；下隔离限位板的与安装基座之间安装谐振电路；挠性质量块的上下表面均开设有安装谐振梁的谐振梁安装槽；接线柱自下而上穿过安装基座，并与谐振电路接触之后再穿过下隔离限位板后分别与两个谐振梁的金丝连接。本发明的加速度计具有结构紧凑、精度高、可靠性高、密封性好等优点。
- 物理量传感器、物理量传感器装置以及倾斜仪-201910173618.0
- 佐藤健太 - 精工爱普生株式会社
- 2019-03-07 - 2022-10-28 - G01P15/097
- 本申请提供物理量传感器、物理量传感器装置以及倾斜仪，其能够降低或防止在制造时或者因不同材料的热膨胀系数差而产生的应力应变对物理量检测信号产生不良影响。一种物理量传感器，具有基部、至少两个臂部、可动部、缩窄部以及物理量检测元件，在俯视观察下，固定区域配置于由第一直线划分而成的第一区域和第二区域，第一直线沿着横跨缩窄部的方向通过物理量检测元件的中心，并且，在俯视观察下，在由第一直线和第二直线划分而成的四个区域中，位于比第二直线更靠基部侧的第一区域的第三区域以及位于比第二直线更靠基部侧的第二区域的第四区域中的至少一方中没有配置固定区域，第二直线在缩窄部上通过且与第一直线正交。
- 专利分类
