[发明专利]半导体装置在审

专利信息
申请号: 202080018234.2 申请日: 2020-02-17
公开(公告)号: CN113508468A 公开(公告)日: 2021-10-15
发明(设计)人: 山崎舜平;生内俊光;肥塚纯一;冈崎健一 申请(专利权)人: 株式会社半导体能源研究所
主分类号: H01L29/786 分类号: H01L29/786;H01L21/336;G02F1/1368;H01L51/50;H05B33/14
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 张桂霞;梅黎
地址: 日本神奈*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供一种电特性良好的半导体装置。提供一种电特性稳定的半导体装置提供。提供一种可靠性高的显示装置。半导体装置包括第一导电层、第一绝缘层、半导体层以及一对第二导电层。第一绝缘层与第一导电层的顶面接触,半导体层与第一绝缘层的顶面接触,一对第二导电层与半导体层的顶面接触,一对第二导电层在与第一导电层重叠的区域分开。半导体层包含铟及氧,在表示铟、元素M及锌的原子个数比的三角图中具有以直线分别依次连接第一坐标(1:0:0)、第二坐标(2:1:0)、第三坐标(14:7:1)、第四坐标(7:2:2)、第五坐标(14:4:21)、第六坐标(2:0:3)、第一坐标的范围内的组成。此外,元素M为镓、铝、钇和锡中的任一个以上。
搜索关键词: 半导体 装置
【主权项】:
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