[发明专利]发光二极管芯片及其制作方法有效

专利信息
申请号: 202011024565.5 申请日: 2020-09-25
公开(公告)号: CN112366264B 公开(公告)日: 2022-01-14
发明(设计)人: 张奕;董彬忠;王江波 申请(专利权)人: 华灿光电(浙江)有限公司
主分类号: H01L33/38 分类号: H01L33/38;H01L33/42;H01L33/44;H01L33/00
代理公司: 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 代理人: 吕耀萍
地址: 322000 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 本公开提供了一种发光二极管芯片及其制作方法,属于半导体技术领域。发光二极管芯片包括衬底、位于衬底上的外延层和位于外延层上的透明导电层,发光二极管芯片还包括N电极和P电极,透明导电层上设有延伸至N型层的通孔,N电极设置在通孔内与N型层欧姆接触,P电极设置在透明导电层的对应P型层的区域上,与P型层欧姆接触,发光二极管芯片还包括设置在透明导电层上的钝化层,钝化层在透明导电层上的正投影位于N电极和P电极在透明导电层上的正投影之外;透明导电层的与钝化层接触的一面上还设有多个凹槽,钝化层位于多个凹槽内,钝化层为SiO2层。该芯片可以减少透明导电层的吸光,提高芯片的出光效率。
搜索关键词: 发光二极管 芯片 及其 制作方法
【主权项】:
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