[发明专利]电容器结构的制作方法有效
| 申请号： | 202010080565.0 | 申请日： | 2020-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN113224237B | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 张维峻;黄汉民;张幼弟;谈文毅 | 申请（专利权）人： | 联芯集成电路制造(厦门)有限公司 |
| 主分类号： | H01L49/02 | 分类号： | H01L49/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 361100 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开一种电容器结构的制作方法，包括下列步骤，在基底上形成第一电容器。第一电容器包括第一导电层的第一导电图案与第二导电图案以及第一介电层于水平方向上设置于第一导电图案与第二导电图案之间。在形成第一电容器之前，在基底上形成第二电容器。第二电容器包括第二导电层的第三导电图案与第四导电图案以及第二介电层于水平方向上设置于第三导电图案与第四导电图案之间。对第二导电层的厚度进行监测。依据第二导电层的厚度监测结果控制第一导电层的厚度目标值。 | ||
| 搜索关键词： | 电容器 结构 制作方法 | ||
【主权项】：
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