[发明专利]静电卡盘装置在审
| 申请号： | 201980086522.9 | 申请日： | 2019-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN113228495A | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 山崎允义;清水勇气;萩原知哉;高村正;四方良二 | 申请（专利权）人： | 株式会社巴川制纸所 |
| 主分类号： | H02N13/00 | 分类号： | H02N13/00;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 赵曦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明的静电卡盘装置(1)具备：多个内部电极(20)；绝缘性有机膜(40)，设置于内部电极(20)的厚度方向上的两面侧；以及陶瓷层(60)，隔着中间层(50)层叠于至少包括内部电极(20)和绝缘性有机膜(40)的层叠体(2)的厚度方向上的上表面(2a)。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 卡盘 装置 | ||
【主权项】：
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- 专利分类
