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[发明专利]升降销的接触位置调整方法及检测方法和基片载置机构-CN202111196924.X在审
发明人： 川和敬裕 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2021-10-14 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供能够自动且高精度地调整升降销相对于载置于基片载置台的基片的接触位置的升降销的接触位置调整方法、升降销的接触位置检测方法和基片载置机构。接触位置调整方法包括下述步骤：在基片载置台上配置基片，在对静电吸盘的电极施加电压而吸附基片的状态下，对多个电压分别生成表示使升降销的前端从比载置面靠下方的下端位置向比载置面靠上方的上端位置移动时的电机的转矩的时间变化的转矩波形；根据多个转矩波形，求取作为升降销接触到基片的时刻的接触时间点，根据接触时间点和电机的速度计算接触位置；判断接触位置是否处于适当的范围；以及在判断为接触位置偏离适当的范围的情况下，自动调整接触位置。
升降接触位置调整方法检测基片载置机构

[发明专利]静电吸附装置以及除电方法-CN202080021044.6在审
发明人： 川和敬裕;保坂英臣 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-03-13 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： H02N13/00 文献下载
摘要：一种具有静电吸盘的静电吸附装置，在所述静电吸盘的电介质内内置有电极和加热器，所述静电吸附装置具有：直流电源部，其具有向所述电极供给直流电力的直流电源；第一除电电路，其连接于所述直流电源与所述电极之间的电力供给线路；以及第二除电电路，其连接于所述第一除电电路与所述电极之间的所述电力供给线路，其中，所述第一除电电路具有第一接地继电器，该第一接地继电器能够经由电压下降用电阻构件将所述电极与接地侧连接断开，所述第二除电电路具有隔离继电器和第二接地继电器，所述隔离继电器能够将所述第一除电电路与所述第二除电电路之间连接断开，所述第二接地继电器连接于所述隔离继电器与所述电极之间的所述电力供给线路，能够不经由电阻构件地将所述电极与接地侧连接断开。
静电吸附装置以及方法