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[发明专利]流体控制阀-CN201911148057.5有效
发明人：林繁之;安田忠弘 -专利权人：株式会社堀场STEC
申请日： 2019-11-21 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： F16K31/00 文献下载
摘要：本发明提供一种压电致动器(100)和流体控制阀(200)，例如与以往相比能够效率良好地使液体材料气化，为此压电致动器(100)包括：压电堆(1)，交替层叠有压电陶瓷层和电极层；直流电压施加电路(2)，向所述压电堆(1)的至少一部分施加直流电压而使其位移；以及振动电压施加电路(3)，向所述压电堆(1)的至少一部分施加规定频率以上的电压而使其振动。
流体控制

[发明专利]流量控制装置、流量控制方法和程序存储介质-CN201810762767.6有效
发明人： 安田忠弘;比尔·怀特;帕特里克·洛厄里;麦斯米兰·冈德拉赫;瑞安·欧文斯 -专利权人：株式会社堀场STEC
申请日： 2018-07-12 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明提供流量控制装置、流量控制方法和程序存储介质，能够以比以往小的时间延迟得到作为控制点的阀中的实际流量，可以通过使测定点与控制点一致而大幅度提高响应速度。为此，流量控制装置包括：流体阻力件，设置于流路；下游侧阀，设置在流体阻力件的下游侧；下游侧压力传感器，测定所述流体阻力件与所述下游侧阀之间的所述流路的容积部中的压力；第一流量算出部，计算出流过所述流体阻力件的第一流量；第二流量算出部，基于第一流量和由所述下游侧压力传感器测定的下游侧压力的时间变化量，计算出从所述下游侧阀流出的第二流量；以及流量控制部，基于设定流量和第二流量来控制所述下游侧阀。
流量控制装置方法程序存储介质

[发明专利]静电夹头装置、压力计算方法以及程序-CN202180057634.9在审
发明人：马雷;安德鲁·普莱斯;安田忠弘 -专利权人：株式会社堀场STEC
申请日： 2021-06-22 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： H02N13/00 文献下载
摘要：本发明提供一种静电夹头装置，通过静电力吸附对象物，其具备：具有吸附所述对象物的吸附面的吸附板、向所述吸附面与所述对象物的被吸附面之间的间隙供给热传导性气体的供气管道、以及计算所述间隙中的所述热传导性气体的压力的压力计算部，在所述供气管道设置有流阻元件，该流阻元件成为所述热传导性气体流动时的阻力，所述压力计算部基于所述流阻元件的一次侧压力、在所述流阻元件经过的所述热传导性气体的流量、所述流阻元件的流量特性，计算所述间隙中的所述热传导性气体的压力。
静电夹头装置压力计算方法以及程序

[发明专利]流体阻抗组件及流体控制装置-CN202080074025.X在审
发明人： 安田忠弘;安德鲁·普莱斯;马雷 -专利权人：株式会社堀场STEC
申请日： 2020-10-23 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明提供一种流体阻抗组件，使得享有使用陶瓷形成阻抗流路带来的优点的同时，能够将该流体阻抗组件合理地组装至流体所流动的流路，流体阻抗组件(R)包括：陶瓷制的流路形成构件(10)，具有一个或多个阻抗流路(10a)；以及金属制的被覆构件(20)，覆盖流路形成构件(10)的外周面。
流体阻抗组件控制装置

[发明专利]流体控制装置、控制系统、控制方法和程序存储介质-CN201810744359.8有效
发明人： 安田忠弘;托马斯·霍克 -专利权人：株式会社堀场STEC
申请日： 2018-07-09 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： F16K31/04 文献下载
摘要：本发明提供流体控制装置、控制系统、控制方法和程序存储介质，即使不提高随着时间的控制性能，也能够使例如由脉冲控制实现的流体流量每次都稳定，并且通过由一个流路构成，能够在供给流体时消除流体的浪费。为此，控制机构包括第一压力反馈控制部，第一压力反馈控制部基于由第一压力传感器测定的第一压力来控制所述第一阀，在第二阀关闭的状态下，第一压力反馈控制部以使由第一压力传感器测定的第一压力成为目标突发压力的方式控制第一阀，在第一压力成为目标突发压力且第二阀打开之后，所述控制机构以使流路内流动的流体的流量成为目标恒定流量的方式控制所述第一阀。
流体控制装置控制系统方法程序存储介质

[发明专利]流量比率控制装置、存储有流量比率控制装置用程序的程序存储介质及流量比率控制方法-CN201780055407.6有效
发明人： 安田忠弘;帕特里克·艾伦·洛厄里;威廉·怀利·怀特;布莱恩·詹姆斯·埃伯特;麦斯米兰·马丁·冈德拉赫;约翰·托马斯·迪克 -专利权人：株式会社堀场STEC
申请日： 2017-08-25 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：为了提供一种不仅能达成目标流量比率而且能对到达成该目标流量比率为止所耗费的时间进行控制的流量比率控制装置，本流量比率控制装置包括：主流道；多个分支流道，从所述主流道的末端分支；多个流体控制装置，设于各个分支流道上，分别包括阀以及配置于所述阀的下游侧的压力式流量传感器；以及动作设定部，基于目标流量比率进行设定，以使多个流体控制装置中的任意一个流体控制装置以流速控制模式进行动作，并且使除此以外的流体控制装置以流量控制模式进行动作，所述流速控制模式是用于对比各个阀更靠上游侧的流体的流速进行控制的模式，所述流量控制模式是基于所述目标流量来控制流量的模式。
流量比率控制装置存储程序介质方法

[发明专利]压力式流量计和流体控制装置-CN202111014611.8在审
发明人：堀口博史;安田忠弘;长井健太郎 -专利权人：株式会社堀场STEC
申请日： 2021-08-31 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： G01F1/34 文献下载
摘要：本发明提供压力式流量计和流体控制装置，压力式流量计具备：流体阻力元件(FR)，设在流体流动的流道(L)上，形成有与流道(L)连通的阻力流道(RL)；上游侧压力传感器(PS1)，检测流体阻力元件(FR)的上游侧压力；以及下游侧压力传感器(PS2)，检测流体阻力元件(FR)的下游侧压力，流体阻力元件(FR)被一对的夹持部件(41、42)夹持固定，在流体阻力元件(FR)与夹持部件(41、42)之间设有片状的密封部件(51、52)，在流体阻力元件(FR)和夹持部件(41、42)的至少一方形成有局部地按压密封部件(51、52)的突起部(61、62)。
压力流量计流体控制装置

[发明专利]流体控制装置、存储介质和控制方法-CN201810563061.7有效
发明人： 安田忠弘;托马斯·霍克;瑞安·欧文斯;麦斯米兰·冈德拉赫;帕特里克·洛厄里;约翰·迪克;吉田友洸 -专利权人：株式会社堀场STEC
申请日： 2018-06-04 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： F16K31/02 文献下载
摘要：本发明提供流体控制装置、存储介质和控制方法，所述流体控制装置在完全关闭时实现高密封性，并且即使与现状相比不提高机械精度，也能够抑制阀体或阀座面的损伤，所述流体控制装置包括：设置在流体流动的流道上的流体控制阀；以及控制所述流体控制阀的控制机构，所述流体控制阀包括：阀座面；相对于所述阀座面离合的阀体；以及驱动所述阀体的致动器，所述控制机构包括速度调节部，当使所述阀体接近所述阀座面而使所述流体控制阀完全关闭时，在所述阀座面与所述阀体之间成为规定距离之后，所述速度调节部使所述阀体的移动速度比所述阀座面与所述阀体之间成为所述规定距离之前下降。
流体控制装置存储介质方法

[发明专利]流体控制装置-CN201911180542.0在审
发明人：堀口博史;安田忠弘;今井和也 -专利权人：株式会社堀场STEC
申请日： 2019-11-27 - 公布日： 2020-07-07 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明提供流体控制装置，能够高精度地控制流道中流通的流体。流体控制装置包括：块件，内部具有供流体流通的流道；阻力件，设置在所述流道内，且所述流体流过所述阻力件；第一压力传感器，检测所述阻力件的上游侧的压力；第二压力传感器，检测所述阻力件的下游侧的压力；以及流体控制阀，根据所述第一压力传感器和所述第二压力传感器的检测值控制所述流体。所述块件在内部还具有构成所述流道的一部分并收容所述阻力件的收容部，构成所述流道的比所述收容部更靠下游侧的下游侧流道的基端连接于所述收容部中的供流过所述阻力件之后的流体流通的下游侧区域，所述第二压力传感器连接于所述收容部的下游侧区域或所述下游侧流道的基端附近。
流体控制装置

[发明专利]校准数据制作装置、校准数据制作方法和流量控制装置-CN201811599444.6在审
发明人：托马斯·霍克;帕特里克·洛厄里;比尔·怀特;约翰·迪克;安田忠弘;吉田友洸 -专利权人：株式会社堀场STEC
申请日： 2018-12-26 - 公布日： 2019-07-23 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：为了提供不需要重新组装流体控制阀就能够以无级方式制作校准数据的校准数据制作装置、校准数据制作方法和流量控制装置，校准数据制作装置制作位置传感器的校准数据，位置传感器设于控制流体的流体控制阀，输出与相对于阀座在接触分离方向上移动的阀体的位置对应的输出值，所述校准数据制作装置包括：流量传感器；压差控制机构；温度控制机构；以及控制部，所述控制部包括：输出值取得部；阀开度控制部；以及校准数据制作部。
校准数据制作装置流量控制装置流体控制阀制作输出温度控制机构压差控制机构流量传感器位置传感器分离方向控制流体制作位置重新组装传感器阀开度上移动阀体阀座无级

[发明专利]流体控制阀-CN201480023273.6有效
发明人： 安田忠弘;林繁之 -专利权人：株式会社堀场STEC
申请日： 2014-10-15 - 公布日： 2019-03-08 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明提供一种流体控制阀，不损害压力和流量等流体控制的精度，能够减小内部容积并提高例如下降响应性能。所述流体控制阀包括：阀座部(61)；阀体(4)，以能相对于所述阀座部(61)接触分离的方式设置；流阻(5)；以及一对夹持构件(H)，夹持所述流阻(5)，所述流阻(5)和所述一对夹持构件(H)形成阀内空间(S2)，所述阀内空间(S2)收容所述阀体(4)或使所述阀体(4)移动的驱动构件的至少一部分，流体从所述阀内空间(S2)通过所述流阻(5)后向外部流出。
流体控制

[发明专利]流体控制阀-CN201410085507.1有效
发明人： 安田忠弘;林繁之;河南宣之 -专利权人：株式会社堀场STEC
申请日： 2014-03-10 - 公布日： 2018-09-11 - 主分类号： F16K17/20 文献下载
摘要：本发明提供一种流体控制阀，流体控制阀具备的隔膜结构具有弱反弹性且即使不从致动器施加大的力也能够大幅变形从而增大行程，并且即使隔膜结构较薄形成也很难发生缺陷和不良，从而能够实现流体控制阀的大口径和大输出化。流体控制阀(V)具有隔膜结构(4)和按压所述隔膜结构(4)的致动器(3)，所述隔膜结构(4)包括：形成为筒状且被所述致动器(3)按压的突出部(42)、从所述突出部(42)的基端相对于该突出部(42)向外侧扩展的凸缘部(41)、以及形成于所述凸缘部(41)的外周并被安装于其他构件的支承部(FI)，所述凸缘部(41)形成为膜状。
流体控制

[发明专利]阀部件和流体控制阀-CN201310353899.0有效
发明人：林繁之;安田忠弘;太佐和也 -专利权人：株式会社堀场STEC
申请日： 2013-08-14 - 公布日： 2018-09-11 - 主分类号： F16K1/00 文献下载
摘要：本发明提供阀部件和流体控制阀，能够提高流体控制阀封闭时的密封性，并且能够长时间保持耐久性并提高稳定性，该阀部件构成阀座面（4a）或接合面（6a）的一方，其包括：凹部（61），形成在与阀座面（4a）相对的对置面上；以及树脂涂层（62），形成在凹部（61）内，与阀座面（4a）接触。
部件流体控制

[发明专利]流体机构、支承部件及流体控制系统-CN201210377845.3有效
发明人： 安田忠弘 -专利权人：株式会社堀场STEC
申请日： 2012-10-08 - 公布日： 2017-06-09 - 主分类号： G05D11/02 文献下载
摘要：本发明提供流体机构、支承部件及流体控制系统。流体机构（100）能使多个流体设备单元（10）和与其成套安装的外部流体设备（V1、V2）有效地配置成很紧凑，将各流体设备单元（10）的长边方向的侧面之间贴紧配置，并且把外部流体设备（V1、V2）排列配置在流体设备单元（10）的宽度方向的外侧。此外，在连接外部流体设备（V1、V2）和流体设备单元（10）的流入流路（9c）和流出流路（9d）中，使短的流入流路（9c）与长的流出流路（9d）连接。
流体机构支承部件控制系统

[发明专利]流量传感器的检查方法和检查系统-CN201510245823.5在审
发明人： 安田忠弘;白井隆 -专利权人：株式会社堀场STEC
申请日： 2015-05-14 - 公布日： 2015-12-16 - 主分类号： G01F25/00 文献下载
摘要：本发明提供一种流量传感器的检查系统，其能够对应检查对象的流量传感器向流道内充以适当的压力，并且大幅缩短至检查开始为止的等待时间。所述流量传感器的检查系统包括：针对在设置有所述检查对象的流量传感器的、上游侧流道的下游中分路的多个分路流道分别设置的流阻；针对所述各分路流道分别设置的阀门；流体传感器，至少一部分与所述各流阻相比设置在靠上游侧，测定流体的压力或流量；以及阀门开闭控制部，在检查所述检查对象的流量传感器时，将所述各阀门设为多个敞开的状态。
流量传感器检查方法系统

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