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[发明专利]静电卡盘装置-CN201880060099.0有效
发明人：小坂井守;尾崎雅树;前田佳祐 -专利权人： 住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2018-09-26 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明的静电卡盘装置具备：静电卡盘部，具有载置试样的试样载置面且具有静电吸附用第1电极；冷却基部，相对于静电卡盘部载置于与试样载置面相反的一侧且冷却静电卡盘部；及粘接层，将静电卡盘部和所述冷却基部粘接在一起，静电卡盘部在粘接层侧具有凹凸，第1电极的表面电阻值高于1.0Ω/□且低于1.0×1010Ω/□。
静电卡盘装置

[发明专利]光波导元件及使用了该光波导元件的光调制器件、以及光发送装置-CN202280016877.2在审
发明人：冈桥宏佑;本谷将之 -专利权人： 住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2022-01-31 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： G02F1/01 文献下载
摘要：本发明的目的在于，除去在基板中传播的无用光，也抑制漂移特性的劣化。此外，在于提供一种也能够抑制高频信号的传播损失的光波导元件。本发明的光波导元件具有光波导(10)和电极(SE1、GE1)，该光波导(10)形成于基板(1)，该电极(SE1、GE1)配置在该基板上，该光波导元件的特征在于，在形成有该电极的该基板上的区域的至少一部分配置第一基底层(21)和第二基底层(20)，该第一基底层(21)形成于该基板(1)的上表面且由第一材料构成，该第二基底层(20)形成于第一基底层的上表面且由与第一材料不同的第二材料构成，该电极形成于该第二基底层的上侧。
波导元件使用调制器件以及发送装置

[发明专利]光器件和使用该光器件的光发送装置-CN202310268173.0在审
发明人：加藤圭;一明秀树 -专利权人： 住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2023-03-17 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： G02B6/42 文献下载
摘要：本发明提供一种光器件和使用该光器件的光发送装置，该光器件抑制配置于壳体侧面的引脚与盖构件的电短路并能够小型化。光器件具备至少收容光波导元件的壳体，其特征在于，该壳体的主体部(1)在一面具备开口部(OP)，在与该一面相邻的侧面固定有引脚(PN1)，所述光器件具备：金属构件(2)，以包围该开口部的方式配置；及盖构件(11)，堵塞该开口部并与该金属构件接合，该金属构件及该盖构件的沿着主体部的配置该引脚的侧面的端部位于比该主体部的侧面靠该主体部的内侧处。
器件使用发送装置

[发明专利]透镜单元、光波导器件及光发送装置-CN202180094739.1在审
发明人：加藤圭;一明秀树 -专利权人： 住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G02B6/32 文献下载
摘要：在将设置于基板的光波导与光纤进行光学耦合的透镜中，提高其机械强度。将设置于基板的光波导与光纤进行光学耦合的透镜单元具有透镜部和保持该透镜部的保持部，保持部沿着不是光轴通过的面的一个侧面具有厚壁部，该厚壁部的沿着光轴的方向测量而得到的厚度比保持部的其他部分大。
透镜单元波导器件发送装置

[发明专利]光波导元件、使用光波导元件的光调制器件及光发送装置-CN202180094740.4在审
发明人：村田祐美;钉本有纪 -专利权人： 住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G02B6/30 文献下载
摘要：本发明提供一种光波导元件，即使在光波导基板上形成有肋型光波导或模斑转换部等凸状部分的情况下，也能从光波导等的附近除去将加强构件接合的粘接层内的气泡，减少光损失。光波导元件具备光波导基板(1、2)和加强构件(3)，光波导基板(1、2)具备光波导(10、12)，加强构件(3)配置在该光波导(10、12)的端部附近且该光波导(10、12)的上侧，该光波导基板(1、2)与该加强构件(3)经由粘接层(4)接合，所述光波导元件的特征在于，在位于该加强构件(3)的下侧的该光波导(10、12)设置覆盖该光波导(10、12)的保护层(13)，该粘接层(4)配置在该保护层(13)的外侧。
波导元件使用调制器件发送装置

[发明专利]光波导元件、使用光波导元件的光调制器件及光发送装置-CN202180093609.6在审
发明人：冈桥宏佑;片冈优 -专利权人： 住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2021-08-31 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G02B6/122 文献下载
摘要：本发明提供一种光波导元件，该光波导元件具备光波导和与该光波导连接的模斑转换部，在该光波导元件中，即使在配置有覆盖光波导的绝缘层的情况下，也进一步抑制了传播损失。光波导元件具备光波导(2)和模斑转换部(SSC)，该光波导(2)形成于基板(1)，该模斑转换部(SSC)在该光波导(2)的至少一端使在该光波导中传播的光波的模场直径变化，该光波导元件的特征在于，所述光波导元件具备绝缘层(1L)，该绝缘层(1L)将该光波导的至少上表面覆盖，该绝缘层(1L)沿着该光波导连续地配置至该模斑转换部(SSC)。
波导元件使用调制器件发送装置

[发明专利]光波导元件、使用光波导元件的光调制器件及光发送装置-CN202280015267.0在审
发明人：坂井猛;片冈利夫;片冈优 -专利权人： 住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2022-03-30 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： G02F1/035 文献下载
摘要：本发明提供一种能够容易地确定传播损失、耦合损失等光损失产生的部位的光波导元件。在具备形成有光波导(2)的基板(1)的光波导元件中，其特征在于，具备在该光波导(2)的一部分形成的光栅(6)或与监视用光波导(5)连接的光栅(6)，该监视用光波导(5)合流到该光波导(2)的一部分或从该光波导(2)的一部分分支，经由该光栅(6)，向该光波导输入光波，或将在该光波导中传播的光波的至少一部分输出。
波导元件使用调制器件发送装置

[发明专利]光波导元件、使用光波导元件的光调制器件及光发送装置-CN202280015272.1在审
发明人：新井淳司;村田祐美;钉本有纪 -专利权人： 住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2022-03-30 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： G02F1/035 文献下载
摘要：本发明提供一种光波导元件，防止在包含形成有光波导的基板的光波导构件与光学部件之间的接合部产生的内部应力引起的光学部件的脱落，并能够简化接合面的研磨处理涉及的制造工序。光波导元件具备光波导构件和光学部件(3)，该光波导构件包含形成有光波导的基板(1)，该光学部件(3)固定于配置有该光波导的输入部或输出部的该光波导构件的端面(B0)，使向该输入部的输入光透过或使来自该输出部的输出光透过，所述光波导元件的特征在于，在该光波导构件的至少一部分且固定有该光学部件(3)的部分设置有粗糙部分(B1、B2)，该粗糙部分(B1、B2)是比包含该输入部或该输出部的该光波导构件的端面(B0)的粗糙度粗糙的部分。
波导元件使用调制器件发送装置

[发明专利]静电卡盘装置-CN201980006265.3有效
发明人：前田进一 -专利权人： 住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2019-11-11 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H02N13/00 文献下载
摘要：本发明的静电卡盘装置中，基体的厚度方向上的截面形状呈从一主面的中心朝向外周逐渐弯曲的凸状曲面或凹状曲面，设置有绕基体的一主面上的周缘部一周的环状突起部，在被环状突起部包围的区域设置有多个凸状突起部，位于一主面的中心的凸状突起部的顶面的高度与环状突起部的上表面的高度之差为1～30μm，凸状突起部具有与板状试样接触的顶面、侧面及连接顶面和侧面的R面，顶面的直径与底面的直径之比为0.75以上，凸状突起部的顶面与侧面所成的角度为90°以上且160°以下。
静电卡盘装置

[发明专利]光调制器和使用了该光调制器的光发送装置-CN202180084162.6在审
发明人：片冈利夫;高野真悟 -专利权人： 住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2021-12-23 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： G02F1/035 文献下载
摘要：本发明提供一种即使在与调制基板重叠地配置有配线基板的情况下，也能够抑制调制信号的串扰的光调制器。光调制器具备：调制基板(1)，具有光波导和调制电极(10)，该调制电极(10)用于对在该光波导中传播的光波进行调制；及配线基板(2)，设置有配线(22)，该配线(22)对向该调制电极(10)施加的调制信号进行中继，所述光调制器的特征在于，该配线基板以覆盖作用部的方式重叠地配置于该调制基板，所述作用部通过该调制电极进行调制，在该配线基板的与该作用部相对的位置的至少一部分配置有电波吸收构件(SH)。
调制器使用发送装置

[发明专利]光调制器及使用该光调制器的光发送装置-CN202080030665.0有效
发明人：宫崎德一;菅又彻 -专利权人： 住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2020-04-23 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： H05K1/02 文献下载
摘要：在光调制器中，有效地抑制从中继基板(118)与信号输入端子之间的信号连接点会产生的泄漏微波的影响而实现良好的光调制特性。本光调制器具备：光调制元件，具备多个信号电极；多个信号输入端子，输入向各信号电极施加的电信号；中继基板(118)，形成有多个信号导体图案(330a、330b、330c、330d)及多个接地导体图案(340a、340b、340c、340d、340e)，多个信号导体图案(330a、330b、330c、330d)将信号输入端子与信号电极电连接；及壳体，收容光调制元件及中继基板(118)。中继基板(118)的边中的信号输入边(318a)与信号输出边(318b)在俯视下彼此相对，在所述信号输入边(318a)，信号输入端子与信号导体图案(330a、330b、330c、330d)连接，在所述信号输出边(318b)，信号导体图案(330a、330b、330c、330d)与信号电极连接，光调制器沿着在俯视下将信号输入边(318a)的端部与信号输出边(318b)的端部连接的至少一条边，具备由吸收电磁波的原材料构成的电磁波传播抑制部(152a、152b)，电磁波传播抑制部(152a、152b)具有相比中继基板(118)的表面突出的高度。
调制器使用发送装置

[发明专利]静电卡盘装置及静电卡盘装置的制造方法-CN201980011884.1有效
发明人：钉本弘训;尾崎雅树;渡边刚志;高桥健太郎 -专利权人： 住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2019-02-19 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本发明的静电卡盘装置具备：载置台，设置有载置板状试样的载置面；圆环状的聚焦环；及冷却机构，冷却聚焦环，载置台具有围着载置面的周围设置的保持部，保持部上设置有包围载置面的周围的圆环状的槽部和向槽部的底面开口的贯穿孔，贯穿孔中插入有筒状的绝缘子，在保持部中，槽部的宽度方向两侧的上表面为与聚焦环接触并保持聚焦环的保持面，保持面满足下述条件(i)～(iii)。(i)表面粗糙度为0.05μm以下。(ii)平坦度为20μm以下。(iii)不具有沿与保持面交叉的方向延伸的深度1.0μm以上的凹部。
静电卡盘装置制造方法

[发明专利]静电卡盘装置-CN201980025194.1有效
发明人：佐藤隆 -专利权人： 住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2019-07-19 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明的静电卡盘装置(1)具备：静电卡盘部件(2)，由陶瓷构成；温度调整用基底部件(3)，由金属构成；及供电用端子(16)，插入于温度调整用基底部件(3)内，且对设置在静电卡盘部件(2)上的静电吸附用电极(13)施加电压，静电吸附用电极(13)和供电用端子(16)经由导电性粘接层(17)连接，导电性粘接层(17)包括碳纤维和树脂，碳纤维的纵横比为100以上。
静电卡盘装置

[发明专利]静电卡盘装置及静电卡盘装置的制造方法-CN201980019930.2有效
发明人：钉本弘训;森下徳人 -专利权人： 住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2019-03-22 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：该静电卡盘装置具备：基体，一个主表面为载置板状试样的载置面；及静电吸附用电极，在基体上设置在与载置面相反的一侧或基体的内部，静电吸附用电极由包括具有绝缘性的基质相和体积电阻率低于基质相的分散相的复合烧结体形成，在复合烧结体的任意的截面上，周围被基质相包围且独立的分散相的区域包括最大费雷特直径为30μm以上的凝聚部，在任意的截面上的2500μm2的范围内存在1个以上的凝聚部。
静电卡盘装置制造方法

[发明专利]静电卡盘装置-CN202310780882.7在审
发明人：小坂井守;尾崎雅树;前田佳祐 -专利权人： 住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2018-09-26 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明的静电卡盘装置具备：静电卡盘部，具有载置试样的试样载置面且具有静电吸附用第1电极；冷却基部，相对于静电卡盘部载置于与试样载置面相反的一侧且冷却静电卡盘部；及粘接层，将静电卡盘部和所述冷却基部粘接在一起，静电卡盘部在粘接层侧具有凹凸，第1电极的表面电阻值高于1.0Ω/□且低于1.0×1010Ω/□。
静电卡盘装置

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