[发明专利]一种便于拆装维修的MOCVD加热器源及其操作方法在审
| 申请号： | 201911104895.2 | 申请日： | 2019-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN110804733A | 公开（公告）日： | 2020-02-18 |
| 发明（设计）人： | 黎静;陈景升;田青林 | 申请（专利权）人： | 江苏实为半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/46 | 分类号： | C23C16/46;C23C16/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 221300 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种便于拆装维修的MOCVD加热器源及其操作方法，包括放置板、放置槽、支撑腿、滚轮、液压缸、连接板、电动推杆、推板、防滑凸块、电动机、固定板、紧固螺栓、固定座、防滑纹、支撑块、转动槽、滚珠和MOCVD加热器源本体。该种便于拆装维修的MOCVD加热器源及其操作方法结构简单、设计新颖，便于工作者进行调节MOCVD加热器源的放置位置，方便工作者进行维修，同时便于MOCVD加热器源维修过程中不发生左右滑动，利于使用，通过设置的缓冲机构的作用下，便于提高固定座对MOCVD加热器源本体的支撑效果，保障固定座稳定放置使用，便于工作者进行操作，通过设置的转动固定机构的作用下，便于工作者进行转动MOCVD加热器源的方向，方便维修。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 便于 拆装 维修 mocvd 加热器 及其 操作方法 | ||
【主权项】：
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- 禹蓝;金相俌;李镇焕;千珉镐;李承俊 - 韩华株式会社
- 2022-12-29 - 2023-07-04 - C23C16/46
- 本发明提供一种薄膜沉积装置。多层薄膜沉积装置包括：腔室，对多个基板进行处理；多个加热器部件，通过以分别对应于所述多个基板的下部的方式配置而对所述多个基板进行加热；起模顶杆，以分别贯通所述多个加热器部件的方式升降并对所述多个下侧面进行支撑；多个隔热板，可供所述起模顶杆的下端安置且具有所述多个加热器部件之间的隔热功能；以及，多个支撑柱，在将所述多个加热器部件结合成一体的同时提供支撑。
- 一种加热器组件及气相沉积设备-202111615369.X
- 谢振南;郑振宇 - 南昌中微半导体设备有限公司;中微半导体设备（上海）股份有限公司
- 2021-12-27 - 2023-06-30 - C23C16/46
- 本发明公开了一种加热器组件及气相沉积设备，所述加热器组件，用于在气相沉积设备中加热晶圆托盘，包括：加热部件，其内部有电流流通时可以对晶圆托盘进行加热；加热部件包括若干个加热弧段；若干个支撑组件，每一支撑组件包括至少一个支撑杆，用于支撑相邻的加热弧段；柔性部件，与支撑杆远离加热弧段的一端连接，用于控制加热弧段的位移及变形方向；导通部件，与相邻的加热弧段和/或与支撑杆电连接，用于使电流在相邻的加热弧段之间流通。本发明可以使电流沿导通部件在相邻的加热弧段之间流通，使流经柔性部件的电流较小甚至没有，从而有效降低柔性部件的温度，减小其热蠕变，从而减小加热弧段的变形和位移。
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
