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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]一种基座翻转保护工装及基座-CN202320288802.1有效
发明人：冯卫东;蔡广云;江顺 -专利权人： 合肥微睿科技股份有限公司
申请日： 2023-02-17 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基座翻转保护工装，属于工装器具技术领域，包括套管和垫块，所述套管用于包覆沿基座本体周向间隔分布的台阶；所述套管至少设置一对，所述套管设置在基座本体的相对的两边上；所述垫块设置在台阶内并配合套管将套管固定。一种基座采用了上述的基座翻转保护工装。本实用新型能够避免基座本体的台阶棱角直接与翻转带接触，能够在对基座本体进行翻转工作时保护翻转带和基座，消除安全隐患。
一种基座翻转保护工装

[实用新型]一种无焊缝焊接结构、加热基座及PECVD设备-CN202223590593.0有效
发明人：李仁杰;冯卫东;刘晓刚;刘超 -专利权人： 合肥微睿科技股份有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种无焊缝焊接结构、加热基座及PECVD设备，属于化学气相沉积领域。它包括本体，本体上开设有上下分布的下底槽和上封槽，所述下底槽开设在上封槽内部，所述加热管设置于下底槽中；所述下底槽和上封槽中分别填充有下盖板和上盖板，所述上盖板和下盖板分体设置，所述下盖板覆盖在加热管上，且所述下盖板的下方开设有与加热管外形适配的第二弧形槽。本实用新型通过将盖板设置为上盖板和下盖板两部分，可以避免一体式的盖板变形较大及与凹槽干涉较多的问题，并通过上盖板和下盖板分别对上封槽和下底槽进行填充，进而避免搅拌摩擦焊中焊缝的产生。
一种焊缝焊接结构加热基座 pecvd 设备

[发明专利]熔射涂层的清洗方法-CN202310813996.7在审
发明人：李仁杰;刘晓刚;刘超;冯卫东 -专利权人： 合肥微睿科技股份有限公司
申请日： 2023-07-03 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本发明属于半导体器件清洗技术领域，涉及熔射涂层的清洗方法。针对现有技术中，半导体领域中熔射涂层的清洗再生，一般是将熔射涂层整体去除，易造成的基体工件损伤，需大气等离子体喷涂作业，维修成本高，工艺复杂耗时的技术问题，本申请提供熔射涂层的清洗方法，去除熔射涂层上的灰尘微粒，保留熔射涂层，方法包括有机酸清洗、研磨和高压水洗，在不剥离熔射涂层的前提下，对熔射涂层上的灰尘微粒清洗效果较好，清洗后的熔射涂层性能和再生方式的熔射涂层几乎无差异，满足性能需求的同时，简化了工艺，降低了熔射涂层的维修成本，延长了半导体工件的使用寿命。
涂层清洗方法

[实用新型]一种加热基座的导线连接结构及PECVD设备-CN202223590564.4有效
发明人：李仁杰;冯卫东;刘晓刚;刘超 -专利权人： 合肥微睿科技股份有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： C23C16/46 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种加热基座的导线连接结构及PECVD设备，属于化学气相沉积领域。它包括本体和设置于本体内部的多根加热管，还包括底部管道、加长管和导线，所述底部管道固定连接在本体的中部，所述加热管的端部通过底部管道从本体中伸出，且与导线连接；所述底部管道与加长管相连接，所述导线位于加长管内，且另一端与引线相连接。本实用新型通过设置加长管和导线，将加热管的尾端与引线连接处进行加长，进而避免加热基座的高温对引线造成不良影响。
一种加热基座导线连接结构 pecvd 设备

[实用新型]一种加热基座及PECVD设备-CN202223590622.3有效
发明人：李仁杰;冯卫东;刘晓刚;刘超 -专利权人： 合肥微睿科技股份有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： C23C16/46 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种加热基座及PECVD设备，属于化学气相沉积领域。它包括本体，其特征在于：所述本体上表面的周向边缘处安装有多个垫块，所述垫块的顶部突出本体表面，用于隔开本体与遮蔽框架；所述本体内部安装有第一加热管和第二加热管，所述第一加热管围设于本体周缘，所述第二加热管位于第一加热管围成的区域内。本实用新型通过在加热基座本体的周缘处设置垫块，可以将加热基座与遮蔽框架隔开，避免因碰撞导致加热基座上的氧化膜受损。
一种加热基座 pecvd 设备

[实用新型]一种泄漏检测工装-CN202320364132.7有效
发明人：冯卫东;蔡广云;江顺 -专利权人： 合肥微睿科技股份有限公司
申请日： 2023-02-27 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： G01M3/34 文献下载
摘要：本实用新型公开一种泄漏检测工装，属于工装器具技术领域。一种泄漏检测工装，包括工装本体，所述工装本体的一端用于连接待测漏的基座，另一端连通抽真空设备；所述工装本体包括上部连接管、中间连接管和下部锁紧件，所述上部连接管、中间连接管和下部锁紧件之间依次可拆卸连接。本实用新型能够进行拆装，从而方便安装。
一种泄漏检测工装

[发明专利]一种碱性蚀刻药液及其制备方法-CN202011214423.5有效
发明人：刘晓刚;刘超;许杰 -专利权人： 合肥微睿科技股份有限公司
申请日： 2020-11-04 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： C23F1/36 文献下载
摘要：本发明公开了一种碱性蚀刻药液及其制备方法，由以下重量份的原料制成：氢氧化钠96.64‑98.86份、络合剂0.04‑0.06份、表面活性剂0.1‑0.3份、四元缓蚀剂1‑3份、去离子水适量。其制备方法，包括以下步骤：(1)将去离子水倒入药液池中；(2)依次向药液池中加入氢氧化钠和络合剂，搅拌均匀；(3)继续向药液池中加入表面活性剂和四元缓蚀剂，搅拌均匀得到碱性蚀刻药液。本发明通过改变药品的配方，添加络合剂和缓蚀剂，添加表面活性剂增强洗涤效果，降低片碱的浓度，延长作业时间。通过这些工艺参数的变更，可以在保证扩孔和Ra符合要求的同时，满足去除毛刺的效果。
一种碱性蚀刻药液及其制备方法

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