“张启辉”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果227个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种加热盘、控制方法、存储介质及晶圆间距的调节机构-CN202310919957.5在审
发明人：赵坤;吴凤丽;杨华龙;张翔宇;张启辉;朱晓亮;高鹏飞 -专利权人：拓荆科技(上海)有限公司
申请日： 2023-07-25 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C16/46 文献下载
摘要：本发明提供了一种加热盘、控制方法、存储介质及晶圆间距的调节机构。所述加热盘包括：加热盘本体，用于加热其上的晶圆，以进行薄膜沉积；至少一个间距调节机构，其下端接触所述加热盘本体，而其上端至少在所述薄膜沉积的过程中支撑所述晶圆，其中，所述间距调节机构的下端由压电材料制成，根据受到的控制电压进行伸缩，以调节所述晶圆到所述加热盘本体的距离；以及控制器，连接所述至少一个间距调节机构的下端，并被配置为：根据所述加热盘本体的本体温度，确定所述间距调节机构的控制电压；以及将所述控制电压提供到所述间距调节机构的下端，以将所述晶圆到所述加热盘本体的距离调节到对应所述本体温度的目标距离。
一种加热控制方法存储介质间距调节机构

[发明专利]一种薄膜沉积系统和薄膜沉积的前置结构及其吹扫方法-CN202310921046.6在审
发明人：刘肖朦;陶海龙;张启辉 -专利权人：拓荆科技(上海)有限公司
申请日： 2023-07-25 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明公开了一种薄膜沉积系统和薄膜沉积的前置结构及其吹扫方法。前置结构包括：蒸汽钢瓶，其内部装有用以薄膜沉积的前驱体蒸汽，通过第一通路连接反应腔；压力测试薄膜规支路，设置于第一通路的支路上，通过压力测试薄膜规用以监控第一通路内的压力；以及吹扫支路，一端连接压力测试薄膜规支路，另一端连接从第一通路上分支出的尾排管路，吹扫支路、第一通路、压力测试薄膜规支路与尾排管路形成环状的吹扫回路，从第一通路中通入吹扫气体，吹扫气体完整地流经吹扫回路，以排出压力测试薄膜规支路内残留的前驱体蒸汽，吹扫支路上包括检测器，用以检测压力测试薄膜规支路内残留的前驱体蒸汽的化学源残余含量。
一种薄膜沉积系统前置结构及其方法

[发明专利]一种评估致密砂岩气藏水相返排率及合理返排压差的方法-CN202110763203.6有效
发明人：李颖;李茂茂;李海涛;张启辉;刘子民;罗红文;高素娟 -专利权人：西南石油大学
申请日： 2021-07-06 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G01N15/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种评估致密砂岩气藏水相返排率及合理返排压差的方法，包括如下步骤：通过实验，获取储层孔隙结构分布；然后获取不同孔径孔隙的压裂压力作用长度；再获取不同孔径孔隙的渗吸长度；求取不同孔径孔隙在某返排压差下的排液长度；通过上述数据，求取某返排压差下的返排率；求取一系列返排压差下的返排率，绘制返排压差与返排率的关系曲线；开展速敏实验，获取临界最大返排压差；通过返排率曲线和临界最大返排压差，制定出合理返排压差。本发明能适应致密砂岩气藏的具体情况，为解除水相圈闭损害，制定合理的水相返排制度提供依据，为现场施工提供较佳指导方案。
一种评估致密砂岩气藏水相返排率合理返排压差方法

[发明专利]喷淋板和半导体工艺设备-CN202310686155.4在审
发明人：高鹏飞;杨华龙;赵坤;朱晓亮;张启辉;张翔宇;吴凤丽 -专利权人：拓荆科技(上海)有限公司
申请日： 2023-06-09 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明公开了一种喷淋板和半导体工艺设备，由于孔板能够可拆卸设置于任一个所述抽气孔，且孔板可选择性设置通孔，这样通过将孔板来遮挡抽气孔，若是孔板设置有通孔，则气流只能够通过孔径更小的通孔进入到抽气孔中，若是孔板未设置通孔，则孔板直接封住该抽气孔，若是喷淋板本体上不设置孔板，则抽气孔为原来设置的口径，这样一来，通过孔板是否设置在抽气孔处，又或者在孔板上设置通孔来改变抽气孔的孔径，从而改变喷淋板抽气孔对腔内气流分布情况的影响，以适应新的工艺配方，降低研发成本以及缩短研发周期。
喷淋半导体工艺设备

[实用新型]一种法兰装置-CN202320811798.2有效
发明人： 张启辉;吴凤丽;杨华龙;赵坤;高鹏飞;朱晓亮;张翔宇 -专利权人：拓荆科技(上海)有限公司
申请日： 2023-04-11 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： F16L23/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种法兰装置，包括分别与两个管道固定连接的两个法兰盘，以及夹在两个法兰盘之间的连接阀门，两个法兰盘与连接阀门三者之间通过多个贯穿的长螺钉固定连接，沿两个法兰盘与连接阀门的侧面周向设有多个卡接件，卡接件横跨两个法兰盘与连接阀门的侧周，在轴向上固定两个法兰盘与连接阀门三者之间的相对位置以使两个法兰盘与连接阀门三者之间保持平行，从而防止长螺钉由于螺纹偏斜而发生锁死。
一种法兰装置

[发明专利]一种根皮素提取纯化方法-CN202310638232.9在审
发明人：邓旭明;张启辉;王建锋;王大成;徐蕾;周永林;吕红发 -专利权人：吉林大学
申请日： 2023-06-01 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： C07C45/78 文献下载
摘要：本发明适用于根皮素纯化技术领域，提供了一种根皮素提取纯化方法，包括以下步骤：利用溶剂热法合成磁性Fe3O4纳米颗粒；制备分子印迹聚合物；制备根皮素一次粗品；向一次粗品中加入分子印迹聚合物，经吸附和洗脱过程得到根皮素洗脱液，蒸干溶剂，得二次粗品根皮素；将二次粗品根皮素溶于乙酸乙酯中，滴加正己烷或环己烷，得纯品根皮素。本发明操作简单易，收率高、成本低、污染和能耗低，两次纯化得到根皮素，采用新的纯化工艺，纯度大于99.0%。
一种根皮素提取纯化方法

[实用新型]一种薄膜沉积设备-CN202320261267.0有效
发明人：野沢俊久;杨华龙;吴凤丽;张启辉;朱晓亮;赵坤;高鹏飞 -专利权人：拓荆科技股份有限公司
申请日： 2023-02-20 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种薄膜沉积设备，包括气源、反应腔体、排气通道、第一管路及第二管路。所述气源经由所述第一管路连接所述排气通道，用于向所述排气通道传输前期气压不稳的气源气体。所述气源经由所述第二管路连接所述反应腔体，用于向所述反应腔体传输气压稳定后的气源气体。所述薄膜沉积设备还包括流阻调节装置。所述流阻调节装置被设置于所述第一管路和/或所述第二管路，用于均衡所述第一管路及所述第二管路中的气体流阻，以消除切换所述第一管路及所述第二管路瞬间的气压波动。
一种薄膜沉积设备

[发明专利]一种高温喷淋装置-CN202310559636.9在审
发明人：杨华龙;赵坤;朱晓亮;张启辉;高鹏飞 -专利权人：拓荆科技(上海)有限公司
申请日： 2023-05-17 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明涉及半导体制造设备技术领域，更具体的说，涉及一种高温喷淋装置。本发明提供了一种高温喷淋装置，包括喷淋板、加热单元和支撑结构：所述喷淋板，采用倒挂式安装方式与支撑结构进行重合接触连接；所述支撑结构，安装在腔室上盖上；所述加热单元，安装在喷淋板内，对喷淋板进行加热。本发明提供的一种高温喷淋装置，通过将喷淋板与支撑结构进行倒挂式安装，可以适应较宽的工艺温度区间，结构简单、安装方便、经济实用。
一种高温喷淋装置

[发明专利]一种支撑柱及加热盘组件-CN202310436531.4在审
发明人：朱晓亮;杨华龙;吴凤丽;张启辉;高鹏飞;赵坤 -专利权人：拓荆科技(上海)有限公司
申请日： 2023-04-21 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明涉及半导体制造设备技术领域，更具体的说，涉及一种用于加热盘的支撑柱以及用于半导体设备中的加热盘组件。本发明提供了一种用于加热盘的支撑柱，匹配安装在加热盘表面的配合孔内，用于支撑晶圆；所述支撑柱，包括外支撑衬套和内支撑柱：所述外支撑衬套与内支撑柱之间采用可拆卸方式配合连接。本发明提供的用于加热盘的支撑柱以及加热盘组件，可以调整支撑柱的总体高度，保证晶圆表面的平面度，使得晶圆在薄膜沉积工艺中的受热更加均匀，进而保证整个薄膜沉积的均匀性。
一种支撑加热组件

[发明专利]气井井筒内可防止液体回落的节流工具-CN202310404904.X在审
发明人：高素娟;李海涛;聂松;李颖;罗红文;张启辉 -专利权人：西南石油大学
申请日： 2023-04-17 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： E21B43/12 文献下载
摘要：本发明公开了气井井筒内可防止液体回落的节流工具，它包括：气井井筒内可防止液体回落的节流工具，打捞头、防液体回落节流体、套筒、进液筒、连接筒、坐封弹簧、卡套、密封圈、节流通道、防液体回落螺旋流道、坐封卡头和坐封腔室；本发明装置通过防液体回落节流体将流入的气液流体分成两部分，实现大部分流体在节流通道内节流、加速、降压的同时还有效防止液体回落，另一部分流体沿防液体回落螺旋流道螺旋上升，并得益于流槽的非对称“缩‑扩”结构，使得液体前进阻力小于后退阻力，保证了液体更不易回落，本发明装置适用于气体携液能力不足，出现井筒内液体回落或积液的出水气井，可实现节流、增速、降压，同时防止液体回落，提升气体携液能力。
气井井筒可防止液体回落节流工具

[发明专利]一种基于基质返排能力的页岩气井现场排液测试优化方法-CN202210693932.3有效
发明人：李海涛;张启辉;王文星;王科;王周炀;高素娟;聂松;陆宽;马欣;代晶晶 -专利权人：西南石油大学
申请日： 2022-06-19 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： E21B43/26 文献下载
摘要：本发明公开一种基于基质返排能力的页岩气井现场排液测试优化方法，包括岩样处理制备，通过核磁共振干湿样测试并校正以获得岩样中面孔隙分布；基于岩样面孔隙度分布，将现场开发储层等效为毛管簇模型；基于毛管簇模型，结合现场获得的井底压力，预测当前情况下井底返排能力，从而判断页岩气井生产能力；基于生产能力，选取合适的油嘴控压生产，从而达到提升页岩气井最终采收率的目的。本发明基于页岩气井生产时，更换油嘴控压生产只能经验方法的缺点。通过对现场岩样的测试，量化储层生产能力，制定了一套合适控压生产方法，用以指导现场生产。
一种基于基质能力页岩气井现场测试优化方法

[发明专利]一种电视-CN202010963286.9有效
发明人：杨旭;张启辉;尹文东;王豪杰 -专利权人：海信视像科技股份有限公司
申请日： 2020-09-14 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： H04N5/655 文献下载
摘要：本申请公开了一种电视，包括前壳组件、后壳及设置于前壳组件与后壳之间的液晶模组，其中，液晶模组包括模组中框，模组中框内设有安装槽，模组中框上设有安装孔；前壳组件包括前壳及设置于前壳两端的堵头，堵头的内侧面上设有朝向液晶模组的柱塞，柱塞插入安装槽内；柱塞朝向电视正面的侧面上设有盲孔，盲孔与安装孔螺纹连接；柱塞与堵头的内侧面之间设有插槽，前壳上设有插舌，插舌插入插槽内，以遮挡安装孔。本申请将堵头从电视正面通过螺钉固定在液晶模组的中框上，再将前壳固定在液晶模组上，如此前壳从电视正面将堵头的固定螺钉完全遮挡住，使得产品外观没有被螺钉破坏，提高了产品的外观精细化。
一种电视

[发明专利]一种分腔式喷淋板-CN202310044637.X有效
发明人：赵坤;吴凤丽;杨华龙;高鹏飞;张启辉;朱晓亮 -专利权人：拓荆科技(上海)有限公司
申请日： 2023-01-30 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明涉及半导体制造设备技术领域，更具体的说，涉及一种分腔式喷淋板。本发明提供了一种分腔式喷淋板，包括缓冲腔和多个分腔：所述缓冲腔，设置在中心位置，上方开有腔体进气孔，反应气体从腔体进气孔进入缓冲腔；所述多个分腔，环绕设置在缓冲腔的周围，与缓冲腔连通，反应气体从缓冲腔进入分腔；所述缓冲腔和分腔的底部均开有喷淋孔，反应气体通过喷淋孔进入下方反应区域。本发明提供的分腔式喷淋板，通过缓冲腔的分气锥结构以及分腔的扇形曲面结构，改善沉积设备内部反应气体流体分布，优化反应气体进入腔体的路径，使得反应气体均匀进入腔体。
一种分腔式喷淋

[实用新型]一种抽气环和一种薄膜沉积设备-CN202223528351.9有效
发明人：刘润哲;杨华龙;张翔宇;张启辉;高鹏飞;刘振;赵坤;杨天奇;吴凤丽 -专利权人：拓荆科技（上海）有限公司
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种抽气环和一种薄膜沉积设备。该抽气环设置于反应腔内的晶圆托盘的外围，其至少一侧设有所述反应腔的抽气口，用于经由所述抽气环的环体上分布的多个抽气孔，从所述抽气环内部抽气。所述抽气孔为槽孔，其沿所述抽气环的周向的长度和/或间隔角度随所述抽气孔到所述抽气口的距离的递增而递增。通过采用上述配置，不仅能够避免因抽气口布局问题引起的晶圆薄膜厚度不均匀的问题，而且还能够降低设备加工难度。
一种抽气环薄膜沉积设备

[发明专利]喷淋头、加热气体的方法、半导体器件的加工设备及方法-CN202310231923.7在审
发明人：赵坤;杨华龙;高鹏飞;朱晓亮;张启辉 -专利权人：拓荆科技(上海)有限公司
申请日： 2023-03-10 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供了一种喷淋头、一种加热气体的方法以及一种半导体器件的加工设备。该喷淋头包括：顶盖，由导电材料制成；线圈，连接顶盖，经由交变电流向顶盖输出交变磁场，在顶盖形成感应电流，以加热顶盖；以及喷淋板，设于顶盖的下方，并与顶盖保持间隙以构成混气腔，其中，被加热的顶盖与混气腔中的气体接触，以加热气体。
喷淋加热气体方法半导体器件加工设备

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
下一页»
尾页
共 227 条