[发明专利]一种嵌入式封装模块化制备方法在审

专利信息
申请号: 201911085676.4 申请日: 2019-11-07
公开(公告)号: CN112786455A 公开(公告)日: 2021-05-11
发明(设计)人: 刘旭;叶怀宇;张卫红;张国旗 申请(专利权)人: 深圳第三代半导体研究院
主分类号: H01L21/50 分类号: H01L21/50;H01L21/56;H01L23/367;H01L25/16
代理公司: 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 代理人: 阎冬
地址: 518055 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 一种嵌入式封装模块化制备方法,包括:将芯片和元器件压入第一材料中,制备第一预制件;在每个第一材料区设置至少两个第一通孔,在设置第一通孔的第一预制件上设置导电连接,形成第一基板;将至少一个多层板材压入第二材料中,制备第二预制件;多层板材包括从上至下设置的第一金属层、绝缘层、第二金属层;在第二预制件上设置导电连接,形成第二基板;由上至下放置第二基板,第一基板,第二基板,压合获得嵌入式封装器件。本发明解决了传统嵌入式封装因镀铜工艺厚度有限,导电线路过长,导致镀铜层的散热、导电能力有限,寄生电感过大的技术问题,提升热导率、介电性能等、可靠性、电导率等关键性能。
搜索关键词: 一种 嵌入式 封装 模块化 制备 方法
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