[发明专利]一种超纳米金刚石薄膜的制备方法及装置在审
| 申请号： | 201910968440.9 | 申请日： | 2019-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN110592534A | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 吕家将;罗涛;吴炳理;彭凡林;吴毅 | 申请（专利权）人： | 九江职业技术学院 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/32 |
| 代理公司： | 41157 郑州科硕专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 范增哲 |
| 地址： | 332005 江西*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种超纳米金刚石薄膜的制备方法及装置，其中，所述方法包括：当石英钟罩内的压强达到预设压强时，对蓄能器件进行充电蓄能，使所述蓄能器件的电压达到第一预设电压；接通石英钟罩内的丝杆螺母传动机构，所述丝杆螺母机构使中心电极与外部电极之间的距离缩小，当所述距离达到第一预设距离时产生电弧放电，使石墨阴极发射出高能纯碳等离子体，在预设温度的衬底上形成超纳米金刚石薄膜。本方案，可在不引入外界杂质的预设压强的环境中沉积出超纳米金刚石薄膜，沉积出的超纳米金刚石薄膜的纯净度较高；且本方案具有较高的沉积速率，可在短时间内沉积出满足用户预设厚度要求的超纳米金刚石薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米金刚石薄膜 沉积 压强 蓄能 预设 石英钟罩 纯净度 丝杆螺母传动机构 等离子体 制备方法及装置 丝杆螺母机构 电弧放电 厚度要求 距离缩小 石墨阴极 外部电极 外界杂质 用户预设 预设电压 预设距离 中心电极 衬底 纯碳 接通 充电 发射 引入 | ||
【主权项】：
1.一种超纳米金刚石薄膜的制备方法，其特征在于，包括：/n当石英钟罩内的压强达到预设压强时，对蓄能器件进行充电蓄能，使所述蓄能器件的电压达到预设电压；/n接通石英钟罩内的丝杆螺母传动机构，所述丝杆螺母机构使中心电极与外部电极之间的距离缩小，当所述距离达到第一预设距离时产生电弧放电，使外部电极发射出预设能力的碳等离子体，在预设温度的衬底上形成超纳米金刚石薄膜。/n
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