[发明专利]一种超硬纳米复合刀具及其制作方法和应用在审
| 申请号： | 201910271748.8 | 申请日： | 2019-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN110257779A | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 郭光宇;陈金海;钟伟强 | 申请（专利权）人： | 科汇纳米技术(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/02;C23C14/06 |
| 代理公司： | 广州市时代知识产权代理事务所(普通合伙) 44438 | 代理人： | 杨树民 |
| 地址： | 518101 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种超硬纳米复合刀具及其制作方法和应用，包括以下步骤：1）刀具清洗：保证刀具基体表面干燥、清洁；2）抽真空处理：将的刀具基体装夹在镀膜设备的转架上，并将转架放置在由Cr靶材、AlCr靶材组成的闭合镀膜设备中，同时对真空室进行抽真空处理，打开加热器升温，将镀膜设备中的温度控制在420℃至550℃；3）离子清洗：向真空室内通入氩气，对刀具基体的表面进行辉光清洗后，关闭氩气；4）制作结合涂层：开启Cr靶材和电弧，并控制电弧电流量为400A至800A，同时通入氮气，使得在刀具基体的表面沉积CrN结合涂层；5）制作纳米复合涂层：关闭Cr靶材，开启AlCr靶材，并电弧控制电流为400A至800A之间，在CrN结合涂层的表面沉积AlCrN纳米复合涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 刀具基体 靶材 镀膜设备 结合涂层 刀具 纳米复合涂层 电弧 抽真空处理 氩气 表面沉积 纳米复合 制作 转架 清洗 氮气 加热器 闭合 靶材组成 表面干燥 电弧控制 离子清洗 电流量 真空室 辉光 装夹 应用 室内 清洁 保证 | ||
【主权项】：
1.一种超硬纳米复合刀具的制作方法，其特征在于：包括以下步骤：（1）刀具清洗：首先将刀具基体放入到超声波清洗机内进行清洗，然后去除的刀具基体表面水分，使得刀具基体表面干燥、清洁；（2）抽真空处理：首先将完成步骤（1）的刀具基体均匀装夹在镀膜设备的转架上，然后将转架放置在由Cr靶材、AlCr靶材组成的闭合镀膜设备中，并将真空室进行抽真空处理，最后打开加热器升温，将镀膜设备中的沉积温度控制在420℃至550℃之间；（3）离子清洗：向完成步骤（2）的真空室内通入氩气，对刀具基体的表面进行辉光清洗后，关闭氩气；（4）制作结合涂层：在完成步骤（3）的真空室内，开启Cr靶材和电弧，并控制电弧电流量为400A至800A之间，同时通入氮气，使得在刀具基体的表面沉积CrN结合涂层；（5）制作纳米复合涂层：在完成步骤（4）真空室内，关闭Cr靶材，开启AlCr靶材，并控制电弧电流为400A至800A之间，使得 CrN结合涂层的表面沉积AlCrN纳米复合涂层。
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