[发明专利]一种特种工件镀膜方法有效
申请号: | 202010321997.6 | 申请日: | 2020-04-22 |
公开(公告)号: | CN111500984B | 公开(公告)日: | 2022-04-19 |
发明(设计)人: | 姜翠宁;高文波;徐从高;李本嫣 | 申请(专利权)人: | 广东生波尔光电技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22 |
代理公司: | 中山市捷凯专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 44327 | 代理人: | 石仁 |
地址: | 528400 广东省中山市板芙*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明实施例公开了一种特种工件镀膜方法,至少包括如下步骤:工件正面上料后,以反面状态送入真空镀膜设备的工艺室;在真空镀膜设备的工艺室对工件背面进行往复式反镀膜;在真空镀膜设备的静放室对完成背面镀膜的工件进行反静放处理;工件退出真空镀膜设备后,以正面状态再次送入真空镀膜设备的工艺室;在真空镀膜设备的工艺室对工件正面进行往复式正镀膜;在真空镀膜设备的静放室对完成正面镀膜的工件进行正静放处理;将工件输送至卸料工位进行工件正面卸料。本发明实施例,可使工件依次经过正面上料、反镀膜、反静放、正镀膜、正静放、正面卸料的工序,实现工件正面上料、正面卸料的镀膜全自动化处理,自动化程度高。 | ||
搜索关键词: | 一种 特种 工件 镀膜 方法 | ||
【主权项】:
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