[发明专利]速率增强脉冲DC溅射系统在审
| 申请号： | 201880089409.1 | 申请日： | 2018-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN111788331A | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | D·派莱利芒特 | 申请（专利权）人： | 先进工程解决方案全球控股私人有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35;H01J37/34 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 刘瑜 |
| 地址： | 新加坡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了溅射系统和方法。该系统包括第一电源，第一电源被配置为在第一电极处施加在多次循环中的每次期间相对于第二电极在正和负之间交变的第一电压。第二电源耦合到第三电极和第二电极，第二电源被配置为向第三电极施加在该多次循环中的每次期间相对于第二电极在正和负之间交变的第二电压。控制器被配置为控制第一电源和第二电源，以使第一电压与第二电压相位同步，从而使第一电压和第二电压两者在每次循环的一部分期间相对于第二电极同时为负，并且在每次循环的另一部分期间相对于第二电极同时为正。 | ||
| 搜索关键词： | 速率 增强 脉冲 dc 溅射 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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