[实用新型]一种提拉装置及软轴单晶炉有效
| 申请号： | 201820034503.4 | 申请日： | 2018-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN208136382U | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 陈辉;袁静;陈广顺 | 申请（专利权）人： | 北京京运通科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/30 | 分类号： | C30B15/30 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及单晶硅生产技术领域，特别涉及一种提拉装置及软轴单晶炉。包括转轴、绕线轮、软轴和平衡机构，绕线轮与转轴传动连接，软轴的一端与绕线轮连接，另一端设有晶体连接部；绕线轮可在转轴的带动下转动，以带动软轴在绕线轮上缠绕或释放，且绕线轮还可沿转轴的轴线方向相对于转轴滑动，平衡机构包括与转轴活动连接的配重块，在绕线轮相对于转轴滑动时，配重块可在转轴的带动下沿与绕线轮相背的方向相对于转轴运动，以平衡绕线轮相对于转轴滑动时产生的力矩。解决现有技术中的提拉装置在绕线轮与转轴的相对位置产生变化导致软轴单晶炉的生产良率和生产效率降低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 绕线轮 转轴 软轴 提拉装置 滑动 单晶炉 平衡机构 配重块 转轴活动连接 本实用新型 单晶硅生产 方向相对 生产效率 轴线方向 转轴传动 转轴运动 良率 下沿 相背 缠绕 转动 释放 平衡 生产 | ||
【主权项】：
1.一种提拉装置，用于软轴单晶炉，其特征在于，包括转轴、绕线轮、软轴和平衡机构，其中：所述绕线轮与所述转轴传动连接，所述软轴的一端与所述绕线轮连接，另一端设有晶体连接部；所述绕线轮可在所述转轴的带动下转动，以带动所述软轴在所述绕线轮上缠绕或释放，且所述绕线轮还可沿所述转轴的轴线方向相对于所述转轴滑动，以在所述软轴由所述绕线轮上缠绕或释放时，使所述晶体连接部在所述转轴的轴线方向上与所述转轴的相对位置保持固定；所述平衡机构包括与所述转轴活动连接的配重块，在所述绕线轮相对于所述转轴滑动时，所述配重块可在所述转轴的带动下沿与所述绕线轮相背的方向相对于所述转轴运动，以平衡所述绕线轮相对于所述转轴滑动时产生的力矩。
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- 一种用于人工晶体炉的上轴升降装置，涉及人工晶体设备领域，本实用新型通过用软轴（8）替代传统的硬轴，有效的避免了硬轴的加工难问题，同时避免了因硬轴的机械精度而引起的晶体外观质量问题，大大提升了晶体的良率等，由于使用软轴，取消了对硬轴的水冷装置，由于使用软轴，有效的降低了设备的高度，大大降低了设备的投入成本等，本实用新型具有结构简单，使用方便等特点，适合大范围的推广和应用。
- 单结晶制造装置及制造方法-201610896912.0
- 林田寿男 - 胜高股份有限公司
- 2016-10-14 - 2017-08-11 - C30B15/30
- 本发明提供能够比较早地发现构成结晶提拉机构的零件的误动作或故障的单结晶制造装置及制造方法。单结晶制造装置具备从熔液（2）提拉单结晶（3）的结晶提拉机构（14）和控制结晶提拉机构（14）的控制部（30）。结晶提拉机构（14）具备升降驱动单结晶的提拉丝线（20）的马达（23）、连接于马达（23）的旋转轴的减速齿轮、检测马达（23）的旋转速度的旋转编码器（27）和检测提拉丝线（20）的移动量的位置编码器（26）。控制部（30）根据将根据位置编码器（26）及旋转编码器（27）的至少一方的输出信号求出的单结晶（3）的实际的提拉速度和目标提拉速度比较的结果，诊断结晶提拉机构（14）的提拉动作异常的有无。
- 一种用于人工晶体炉的上轴升降装置-201710101899.X
- 刘朝轩;刘奇丰 - 洛阳金诺光电子材料有限公司
- 2017-02-24 - 2017-05-17 - C30B15/30
- 一种用于人工晶体炉的上轴升降装置，涉及人工晶体设备领域，本发明通过用软轴（8）替代传统的硬轴，有效的避免了硬轴的加工难问题，同时避免了因硬轴的机械精度而引起的晶体外观质量问题，大大提升了晶体的良率等，由于使用软轴，取消了对硬轴的水冷装置，由于使用软轴，有效的降低了设备的高度，大大降低了设备的投入成本等，本发明具有结构简单，使用方便等特点，适合大范围的推广和应用。
- 一种钽酸锂单晶生长设备-201620300205.6
- 徐国忠;王斌;仇如成 - 盐城市振弘电子材料厂
- 2016-04-12 - 2016-08-17 - C30B15/30
- 本实用新型涉及一种钽酸锂单晶生长设备，它包括：生长炉，生长炉包括炉体、对应安装在所述炉体上的炉门、设置在炉门上的观察窗、安装在炉门下部且与所述炉体相连通的进水管、安装在炉门上部且与所述炉体相连通的出水管以及设置在所述炉体上且与其相连通的进气口；进气机构，所述进气机构包括导气至所述进气口内的进气管道、与所述进气管道相连接的流量阀以及安装在所述进气管道上的四通阀；提拉组件，提拉组件包括设置在所述炉体顶部的支撑架、可上下升降地安装在所述支撑架上的固定座、安装在所述固定座上且下端延伸至所述炉体内的籽晶杆以及安装在所述固定座上用于带动所述籽晶杆转动的第二电机。这样能够制得高纯度和高质量的钽酸锂单晶棒。
- 一种钽酸锂单晶生长设备-201610223524.6
- 徐国忠;王斌;仇如成 - 盐城市振弘电子材料厂
- 2016-04-12 - 2016-06-22 - C30B15/30
- 本发明涉及一种钽酸锂单晶生长设备，它包括：生长炉，生长炉包括炉体、对应安装在所述炉体上的炉门、设置在炉门上的观察窗、安装在炉门下部且与所述炉体相连通的进水管、安装在炉门上部且与所述炉体相连通的出水管以及设置在所述炉体上且与其相连通的进气口；进气机构，所述进气机构包括导气至所述进气口内的进气管道、与所述进气管道相连接的流量阀以及安装在所述进气管道上的四通阀；提拉组件，提拉组件包括设置在所述炉体顶部的支撑架、可上下升降地安装在所述支撑架上的固定座、安装在所述固定座上且下端延伸至所述炉体内的籽晶杆以及安装在所述固定座上用于带动所述籽晶杆转动的第二电机。这样能够制得高纯度和高质量的钽酸锂单晶棒。
- 一种提高直拉硅单晶拉速的结构-201510904659.4
- 王林;高润飞;宋都明;陈建梅;张寿星;张颂越;王淼 - 天津市环欧半导体材料技术有限公司
- 2015-12-09 - 2016-04-13 - C30B15/30
- 本发明涉及一种提高直拉硅单晶炉拉速的结构，包括热屏上内胆、碳毡、热屏外胆、热屏下内胆，热屏下内胆为上口小、下口大的锥形斜面，与坩埚内硅熔液液面夹角为45-90°，热屏上内胆、热屏下内胆与热屏外胆之间填充碳毡，热屏上内胆、热屏下内胆材质选用钼、石墨或石英，技术效果是，结构简单，明显提高拉速，对RRV有改善效果。
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