[实用新型]一种直拉单晶炉停炉快速冷却热场装置有效
申请号: | 201620267353.2 | 申请日: | 2016-04-01 |
公开(公告)号: | CN205821512U | 公开(公告)日: | 2016-12-21 |
发明(设计)人: | 栗宁 | 申请(专利权)人: | 银川隆基硅材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B15/14;C30B29/06 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所61214 | 代理人: | 罗笛 |
地址: | 750021 宁夏回族自治区银*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | 本实用新型公开的一种直拉单晶炉停炉快速冷却热场装置,包括升降机构以及水冷管,升降机构用于驱动水冷管进入单晶炉内。本实用新型的直拉单晶炉停炉快速冷却热场装置解决了现有的单晶炉停炉冷却时间过长的问题。本实用新型的直拉单晶炉停炉快速冷却热场装置在停炉时,通过升降机构将两根水冷管同步伸入单晶炉热场中,将热场底部保温抬起,通过循环冷却水带走热场中热量,达到降低炉内温度的目的,其结构简单,避免因改造单晶炉产生的高额费用,利用单晶炉炉底预留电极孔即可安装,冷却效果显著,可将拆炉时间缩短一半。 | ||
搜索关键词: | 一种 直拉单晶炉停炉 快速 冷却 装置 | ||
【主权项】:
一种直拉单晶炉停炉快速冷却热场装置,其特征在于,包括升降机构以及水冷管(5‑1),所述升降机构用于驱动水冷管(5‑1)进入单晶炉(1)内,所述升降机构为电动升降机,所述电动升降机包括升降机构机架(5‑3),所述升降机构机架(5‑3)上端与单晶炉炉底(4)固接、下部通过法兰与水冷管(5‑1)固接。
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