[发明专利]滑动装置和采用该滑动装置的滑动系统无效

专利信息
申请号: 201210175177.6 申请日: 2012-05-30
公开(公告)号: CN102808163A 公开(公告)日: 2012-12-05
发明(设计)人: 广濑正明;铃木义信;足立幸志 申请(专利权)人: 株式会社电装;国立大学法人东北大学
主分类号: C23C16/26 分类号: C23C16/26;C23C16/40;C23C16/42;C23C14/06;C23C14/08;F02F3/10
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 陈松涛;夏青
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 在滑动装置(10)中,第一基础构件(11)和第二基础构件(12)相对于彼此滑动。将硬碳膜(13)设置在所述第一基础构件(11)的第一表面(11a)和与所述第一基础构件(11)的第一表面(11a)相对的第二基础构件(12)的第二表面(12a)中的至少一个表面上。此外,将中间层(14)设置在所述硬碳膜(13)与所述第一基础构件(11)的第一表面(11a)和所述第二基础构件(12)的第二表面(12)中的所述一个表面之间。所述中间层(14)由含有硅和氧的化合物构成。
搜索关键词: 滑动 装置 采用 系统
【主权项】:
一种滑动装置,包括:具有第一表面(11a)的第一基础构件(11);具有第二表面(12a)的第二基础构件(12),所述第二表面(12a)与所述第一表面(11a)相对,所述第一基础构件(11)和所述第二基础构件(12)相对于彼此滑动;设置在所述第一基础构件(11)的所述第一表面(11a)和所述第二基础构件(12)的所述第二表面(12a)中的至少一个表面上的硬碳膜(13);以及设置在所述硬碳膜(13)与所述第一基础构件(11)的所述第一表面(11a)和所述第二基础构件(12)的所述第二表面(12a)中的所述一个表面之间的中间层(14),所述中间层(14)由含有硅和氧的化合物构成。
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