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- [实用新型]一种单晶炉新大型提拉机构-CN202020867928.0有效
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王志磊;张燕玲;邢德春;王志卿
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晶创铭盛电子科技(香河)有限公司
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2020-05-22
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2021-03-09
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C30B15/00
- 本实用新型公开了一种单晶炉新大型提拉机构,包括第一电机,所述第一电机通过第一轴杆连接有电缸箱,所述电缸箱的内部安装有电缸,所述电缸的输出端通过第一活塞杆和第二活塞杆连接有安装座,所述安装座的上部安装有第二电机箱,所述第二电机箱的内部安装有第二电机,所述第二电机通过第二轴杆连接有收卷盘,所述收卷盘上缠绕有钢丝绳,所述钢丝绳的顶端连接有籽晶称重头,所述籽晶称重头的底端连接有软波纹管,所述收卷盘上安装有收卷盘箱,所述收卷盘箱的底部连接有卡合块;本实用新型通过第一电机实现对整个提拉机构进行转动调节,方便工人对单晶材料进行安装;电缸实现对提拉机构进行升降调节,第二电机能够实现对单晶材料输入到单晶炉中。
- 一种单晶炉新大型机构
- [实用新型]一种单晶炉热场-CN201921843202.7有效
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王志磊;张燕玲;邢德春;王志卿;于彩凤
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晶创铭盛电子科技(香河)有限公司
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2019-10-30
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2020-09-29
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C30B15/00
- 本实用新型公开了一种单晶炉热场,包括炉体、石墨电极、加热器、坩埚托盘、坩埚、石英坩埚、保温罩、导流筒;还包括石墨碳毡、石英环、托杆防漏套,所述托杆防漏套为上端开口底端封闭的筒状结构,且所述托杆防漏套底端设有通孔,所述坩埚托杆穿过通孔,所述托杆防漏套底端通孔边缘与所述坩埚托杆外表面焊接固定;所述石墨碳毡盘卷在所述保温罩周围,所述石墨碳毡之间设有单层无锡纸。本实用新型能够通过托杆防漏套对流经坩埚拖杆的漏硅液进行阻隔处理,防止漏硅液泄露导致漏硅液经坩埚拖杆杆身流到坩埚托杆底部,损坏炉体底部元件;在保温罩周围的石墨碳毡之间增加了单层无锡纸,能够进一步增加炉体的保温处理。
- 一种单晶炉热场
- [实用新型]一种单晶炉炉体-CN201921843126.X有效
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王志磊;张燕玲;邢德春;王志卿;于彩凤
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晶创铭盛电子科技(香河)有限公司
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2019-10-30
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2020-07-17
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C30B15/00
- 本实用新型公开了一种单晶炉炉体,加料头设置在炉体的上方中部,炉体的底部设有开口,加料头的顶部焊接有法兰盘a,加料头的上方通过螺杆和螺母固定有安全加料器,安全加料器的上方为大口加料部,大口加料部的直径大于加料头的直径,且大口加料部的下方侧面呈倾斜结构,安全加料器的下方为通料管,通料管的前侧安装有附加阀门,炉体的侧面为炉壁,炉壁的上下方均设有固定块,固定块的外侧通过螺栓安装有外防护套,外防护套的上下方设有与固定块相匹配的安装块,安装块的直径大于固定块的直径。通过外防护套的设置,不仅对单晶炉炉体起到了保护作用,还能够对炉体进行冷却,同时通过安全加料器和附加阀门的配合设置,进一步降低了误操作的风险。
- 一种单晶炉炉体
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