[发明专利]一种基于公自转装载托盘的连续镀膜生产线有效
申请号: | 201810914521.6 | 申请日: | 2018-08-13 |
公开(公告)号: | CN108677160B | 公开(公告)日: | 2020-12-29 |
发明(设计)人: | 朱选敏;郭爱云 | 申请(专利权)人: | 武汉科瑞达真空科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/50;C23C14/35 |
代理公司: | 武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242 | 代理人: | 严超 |
地址: | 430075 湖北省武汉市东湖高新技术开发区高新*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于公自转装载托盘的新型连续镀膜生产线,包括公自转托盘、入料模块、真空隔离阀模块、进片真空工艺模块、镀膜真空工艺模块、出片真空工艺模块、出料模块,所述进片真空工艺模块的一端安装有真空隔离阀模块,所述进片真空工艺模块的另一端通过真空隔离阀模块与镀膜真空工艺模块的一端隔离,所述镀膜真空工艺模块的另一端通过真空隔离阀模块与出片真空工艺模块的一端隔离,所述出片真空工艺模块的另一端安装有真空隔离阀模块;采用独立的进出片腔体设计,由独立的真空隔离阀模块进行真空隔离,传送系统采用导轮导杆摩擦传送,平稳性好;实现了镀膜的全自动化生产,减少了人员的参与状态,提高了产品的成品率。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 自转 装载 托盘 连续 镀膜 生产线 | ||
【主权项】:
1.一种基于公自转装载托盘的新型连续镀膜生产线,其特征在于:包括公自转托盘(1)、入料模块(2)、真空隔离阀模块(3)、进片真空工艺模块(4)、镀膜真空工艺模块(5)、出片真空工艺模块(6)、出料模块(7),所述进片真空工艺模块(4)的一端安装有真空隔离阀模块(3),所述进片真空工艺模块(4)的另一端通过真空隔离阀模块(3)与镀膜真空工艺模块(5)的一端隔离,所述镀膜真空工艺模块(5)的另一端通过真空隔离阀模块(3)与出片真空工艺模块(6)的一端隔离,所述出片真空工艺模块(6)的另一端安装有真空隔离阀模块(3)。
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