[发明专利]一种LED外延芯片及一种LED外延芯片的制备方法在审

专利信息
申请号: 201810556173.X 申请日: 2018-06-01
公开(公告)号: CN108682724A 公开(公告)日: 2018-10-19
发明(设计)人: 何苗;杨思攀;王润;赵韦人 申请(专利权)人: 广东工业大学
主分类号: H01L33/24 分类号: H01L33/24;H01L33/58;H01L33/64;H01L33/00
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 罗满
地址: 510060 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种LED外延芯片,该LED外延芯片中主要用于发光的功能层包括多个柱状的发光单元,在多个发光单元之间形成有空气间隙。当发光单元发射出光线时,该光线会在发光单元与空气间隙这两种界面之间发生散射效应,从而增加LED外延芯片的出光率;同时由于空气间隙的存在,发光单元所产生的热量会通过空气间隙极快的传递出LED外延芯片,从而增加LED外延芯片的散热效果。本发明所提供的一种LED外延芯片的制备方法,该方法制备的LED外延芯片同样具有上述有益效果。
搜索关键词: 发光单元 空气间隙 制备 散热效果 散射效应 出光率 功能层 柱状 发光 发射 传递
【主权项】:
1.一种LED外延芯片,其特征在于,所述LED外延芯片包括:相对设置的第一衬底和第二衬底;位于所述第一衬底朝向所述第二衬底一侧表面的过渡层;位于所述过渡层朝向所述第二衬底一侧表面的功能层;其中,所述功能层包括多个柱状的发光单元,多个所述发光单元之间形成有空气间隙;所述功能层朝向所述第二衬底一侧表面与所述第二衬底固定连接;与所述发光单元一端电连接的第一电极,与所述发光单元另一端电连接的第二电极。
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  • 许顺成 - 湘能华磊光电股份有限公司
  • 2015-01-20 - 2017-08-29 - H01L33/24
  • 本申请公开了一种III族半导体发光器件的制作方法,包括衬底、缓冲层、n型氮化物半导体层、有源层和p型氮化物半导体层自下而上依次生长形成外延结构;利用黄光蚀刻制程定义凸台图案,蚀刻p型氮化物半导体层和有源层,暴露n型氮化物半导体层,得到凸台;沉积透明导电层,利用黄光蚀刻制程定义透明导电层图案,蚀刻透明导电层;沉积绝缘层,利用黄光蚀刻制程定义要参于电流分布的图案,蚀刻绝缘层和/或透明导电层;黄光剥离制程定义P型电极和N型电极图案,沉积P型电极和N型电极,利用剥离制程,去除光阻,制成圆片;最后将圆片进行减薄、划片、裂片、测试、分选。本发明降低了生产成本,还原了N型焊盘下方的有源层,发光面积增加。
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