[发明专利]半导体封装设备有效
申请号: | 201810511315.0 | 申请日: | 2018-05-25 |
公开(公告)号: | CN108717935B | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 王加骇 | 申请(专利权)人: | 江苏爱矽半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 221000 江苏省徐州市经济技*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及半导体技术领域。半导体封装设备,包括机架组件及其上的半导体进料装置、半导体定位装置、搬运机械手装置和自动包装装置;半导体定位装置与半导体进料装置相衔接,自动包装装置与半导体定位装置相衔接。该半导体封装设备的优点是可以全自动完成半导体元器、料杯和热封膜的上料,并完成半导体元器的封装,加工效率高。 | ||
搜索关键词: | 半导体 封装 设备 | ||
【主权项】:
1.半导体封装设备,其特征在于包括机架组件(1)及其上的半导体进料装置(2)、半导体定位装置(3)、搬运机械手装置(4)和自动包装装置(5);半导体定位装置(3)与半导体进料装置(2)相衔接,自动包装装置(5)与半导体定位装置(3)相衔接;半导体进料装置(2)包括安装架、第一电机(22)、齿轮组和循环输送带机构(25)和导轮张紧组件(26);安装架(21)包括两块安装立板(211)和连接杆(212),两块安装立板(211)通过连接杆(212)固定连接;齿轮组包括啮合连接的第一齿轮(23)和第二齿轮(24);安装立板(211)固定在机架组件(1)上,第一电机(22)通过齿轮组连接循环输送带机构(25);循环输送带机构(25)和导轮张紧组件(26)安装在安装架(21)上,导轮张紧组件(26)连接循环输送带机构(25);循环输送带机构(25)包括第一主动滚筒(251)、第二主动滚筒(252)、第一输送带(253)、第二输送带(254)、落料斜坡(256)、侧挡板(257)、端部挡板(258)、端部固定块(259)、入口收缩斜条(2510)、入口定位条(2512)和夹料槽部件(2511);第一主动滚筒(251)和第二主动滚筒(252)通过轴承安装在安装立板(211)上;夹料槽部件(2511)处于第二输送带(254)一端的上方,端部挡板(258)处于第二输送带(254)另一端的上方,落料斜坡(256)第一输送带(253)一端的上方,端部挡板(258)处于第一输送带(253)另一端的上方,落料斜坡(256)处于夹料槽部件(2511)的下方;第一齿轮(23)连接第一主动滚筒(251),第二齿轮(24)连接第二主动滚筒(252);第一输送带(253)缠绕在第一主动滚筒(251)上,第二输送带(254)缠绕在第二主动滚筒(252)上,第一输送带(253)和第二输送带(254)的运动方向相反;落料斜坡(256)安装在两块安装立板(211)之间,落料斜坡(256)位于第二输送带(254)上方,落料斜坡(256)用于承接从第一输送带(253)上落下的工件;侧挡板(257)固定设置在安装立板(211)上,侧挡板(257)的位置与第二输送带(254)匹配,侧挡板(257)用于规整第二输送带(254)上的工件;端部挡板(258)通过端部固定块(259)固定设置在两块安装立板(211)之间,端部挡板(258)位于第一输送带(253)和第二输送带(254)上方,端部挡板(258)将第一输送带(253)上的工件档入第二输送带(254)中;入口收缩斜条(2510)和入口定位条(2512)分别处于第二输送带(254)的两侧,入口收缩斜条(2510)位于第一输送带(253)上方,入口收缩斜条(2510)一端安装在夹料槽部件(2511)上,入口收缩斜条(2510)另一端朝向端部挡板(258),通过倾斜的入口收缩斜条(2510)调整入口收缩斜条(2510)与入口定位条(2512)之间的第二输送带(254)上的工件方向;入口定位条(2512)与夹料槽部件(2511)之间留有落料口,落料口处于落料斜坡(256)的正上方;落料口处的第二输送带(254)位置高于落料斜坡(256)处的第一输送带(253)位置,靠近端部挡板(258)处的第二输送带(254)位置低于靠近端部挡板(258)处的第一输送带(253)位置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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