[发明专利]基板载置装置和方法、成膜装置和方法、对准装置和方法以及电子器件的制造方法有效
| 申请号： | 201810487810.2 | 申请日： | 2018-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN108517506B | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 石井博 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/56;C23C14/04 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 刘杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供基板载置装置和方法、成膜装置和方法、对准装置和方法以及电子器件的制造方法。在有机EL显示器的制造中降低将基板载置于载置体时的形变。使用基板载置装置，该基板载置装置具有夹持部件和载置部件，该夹持部件具有用于将基板的周缘部在基板的厚度方向上夹持的多个夹持件，该载置部件用于将基板载置在载置体之上，夹持部件具有可改变多个夹持件的夹持力的夹持力可变部件，夹持力可变部件使多个夹持件中的第一夹持件的夹持力以与多个夹持件中的第二夹持件独立的方式可变。 | ||
| 搜索关键词： | 基板载置 装置 方法 对准 以及 电子器件 制造 | ||
【主权项】：
1.一种基板载置装置，具有夹持部件和载置部件，该夹持部件具有用于将基板的周缘部在所述基板的厚度方向上夹持的多个夹持件；该载置部件用于将所述基板载置在载置体之上，其特征在于，所述夹持部件具有可改变所述多个夹持件的夹持力的夹持力可变部件，所述夹持力可变部件使所述多个夹持件中的第一夹持件的夹持力以与所述多个夹持件中的第二夹持件独立的方式可变。
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