[发明专利]一种原子层沉积设备及气体传输方法

摘要

本发明公开了一种原子层沉积设备及气体传输方法。该设备包括旁通管路和冷却管路，所述冷却管路用于冷凝且存储至少一种前驱体，其中，所述旁通管路和所述冷却管路并联后连接在前驱体输入端和前驱体输出端之间，且所述前驱体输入端选择性地与所述旁通管路或所述冷却管路连通。本发明通过设置冷却管路以冷凝流经管路的前驱体，并将其存储在该段管路中，以防止多种前驱体同时进入真空泵，减少了真空泵中因多种前驱体的反应而产生粉末，降低了真空泵因粉末累积而发生卡死的风险，从而提高了真空泵运行的可靠性和寿命。

主权项

1.一种原子层沉积设备，其特征在于，包括旁通管路和冷却管路，所述冷却管路用于冷凝且存储至少一种前驱体，其中，所述旁通管路和所述冷却管路并联后连接在前驱体输入端和前驱体输出端之间，且所述前驱体输入端选择性地与所述旁通管路或所述冷却管路连通。