[发明专利]半导体封装体配置装置、制造装置、配置方法及其应用有效
申请号: | 201810227519.1 | 申请日: | 2018-03-19 |
公开(公告)号: | CN108630552B | 公开(公告)日: | 2021-08-03 |
发明(设计)人: | 片冈昌一;深井元树 | 申请(专利权)人: | 东和株式会社 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L21/67 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 杨贝贝;臧建明 |
地址: | 日本京都府京都市南区上鸟羽*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种可高精度地配置半导体封装体的半导体封装体配置装置、制造装置、配置方法及其应用。半导体封装体配置装置具备:吸附机构,用以吸附半导体封装体;树脂片,用以配置半导体封装体;支撑基座,用以支撑树脂片;以及第1拍摄部,用以拍摄支撑基座的开口。第1拍摄部具备:红外光源、红外线拍摄元件、及用以使从红外光源穿过树脂片而入射至支撑基座中的入射光与由支撑基座反射的反射光变成同轴的光学构件。根据半导体封装体的拍摄数据与开口的拍摄数据,进行半导体封装体对于开口的对位,而将半导体封装体配置在树脂片上。 | ||
搜索关键词: | 半导体 封装 配置 装置 制造 方法 及其 应用 | ||
【主权项】:
1.一种半导体封装体配置装置,其特征在于包括:吸附机构,用以吸附半导体封装体;树脂片,用以配置所述半导体封装体;支撑基座,用以支撑所述树脂片;以及第1拍摄部,用以拍摄所述支撑基座的开口;所述第1拍摄部具备红外光源、红外线拍摄元件、及用以使从所述红外光源穿过所述树脂片而入射至所述支撑基座中的入射光与所述入射光由所述支撑基座反射的反射光变成同轴的光学构件,根据吸附在所述吸附机构上的所述半导体封装体的拍摄数据与由所述红外线拍摄元件所拍摄的所述开口的拍摄数据,进行所述半导体封装体对于所述开口的对位,而将所述半导体封装体配置在所述树脂片上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东和株式会社,未经东和株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201810227519.1/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:半导体结构及其形成方法
- 下一篇:一种半导体二极管生产工艺
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造