[发明专利]晶体管结构有效
申请号: | 201810123483.2 | 申请日: | 2018-02-07 |
公开(公告)号: | CN110120414B | 公开(公告)日: | 2022-05-24 |
发明(设计)人: | 陈彦铭;李久龄;蔡明轩;李秋德;王智充 | 申请(专利权)人: | 联华电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/78 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈小雯 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开一种晶体管结构,包括基底、晶体管元件、分离式埋入层与第二埋入层。基底具有元件区。晶体管元件位于元件区中。分离式埋入层位于晶体管元件下方的基底中,且包括彼此分离的多个第一埋入层。第二埋入层位于分离式埋入层下方的基底中,且连接多个第一埋入层。第二埋入层与分离式埋入层具有第一导电型。上述晶体管结构可具有较高的击穿电压。 | ||
搜索关键词: | 晶体管 结构 | ||
【主权项】:
1.一种晶体管结构,其特征在于,包括:基底,具有元件区;晶体管元件,位于所述元件区中;分离式埋入层,位于所述晶体管元件下方的所述基底中,且包括彼此分离的多个第一埋入层;以及第二埋入层,位于所述分离式埋入层下方的所述基底中,且连接所述多个第一埋入层,其中所述第二埋入层与所述分离式埋入层具有第一导电型。
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