[发明专利]测量衬底、测量方法及测量系统有效
| 申请号： | 201780066499.8 | 申请日： | 2017-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN109891325B | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 关天男;李敬师;于淼 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王益 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种测量配置成保持生产衬底的衬底保持器的磨损的方法，该方法包括：将测量衬底夹持至所述衬底保持器；和测量所述测量衬底中的应变以产生测量结果。所述测量衬底可以包括：本体，具有与所述生产衬底的尺寸相似的尺寸；和在所述本体中的应变传感器，配置成测量所述测量衬底的周边部分中的应变。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 衬底 测量方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种测量配置成保持生产衬底的衬底保持器的磨损的方法，所述方法包括：将测量衬底夹持至所述衬底保持器，所述测量衬底包括尺寸与所述生产衬底的尺寸相似的本体；和测量所述测量衬底的周边部分中的应变以产生测量结果。
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