[发明专利]一种DFB激光器及其制作方法在审
| 申请号： | 201711339317.8 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN107946902A | 公开（公告）日： | 2018-04-20 |
| 发明（设计）人： | 李亮;刘应军;刘巍;王任凡 | 申请（专利权）人： | 武汉电信器件有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/12 | 分类号： | H01S5/12;H01S5/343 |
| 代理公司： | 深圳市爱迪森知识产权代理事务所(普通合伙)44341 | 代理人： | 何婷 |
| 地址： | 430074 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及激光器技术领域，提供了一种DFB激光器及其制作方法。制作方法包括在衬底上制作有缓冲层、下限制层、有源层、上限制层、腐蚀停止层和光栅层，在腐蚀脊波导时，光刻出脊波导图形，脊波导图形包括矩形部分和锥形部分；锥形部分被设置在待制作激光器的出光面侧，其中，锥顶与出光面齐平，锥底与矩形部分衔接；在锥形部分中，其锥顶的宽度比锥底的宽度小0.3‑0.5um；同步腐蚀出对应矩形部分和锥形部分的矩形脊波导和锥形脊波导。本发明中锥头短波长光反射回来进入大光场限制因子区域的锥底，而锥底长波长光反射回来进入小光场限制因子区域的锥顶而更容易激射出来，克服常规的双纵模模式，有效提高激光器的单模成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 dfb 激光器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种DFB激光器的制作方法，在衬底上制作有缓冲层、下限制层、有源层、上限制层、腐蚀停止层和光栅层，其特征在于，在腐蚀脊波导时，方法包括：光刻出脊波导图形，所述脊波导图形包括矩形部分和锥形部分；所述锥形部分被设置在待制作激光器的出光面侧，其中，锥顶与出光面齐平，锥底与矩形部分衔接；在所述锥形部分中，其锥顶的宽度比锥底的宽度小0.3‑0.5um；同步腐蚀出对应矩形部分和锥形部分的矩形脊波导和锥形脊波导。
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