[发明专利]玻璃减薄镀膜方法及设备在审
| 申请号： | 201711336600.5 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN109957768A | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 黄乐;孙桂红;陈立;凌云;黄夏;黄国兴 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开一种玻璃减薄镀膜方法，先将基片固定在基片架上，将基片架送入进口室，密封后进行低真空抽气；再将基片架送入进口缓冲室，进行高真空抽气；然后基片架送入进口传送室，在高真空下对基片进行预热；基片架送入工艺室，进行镀膜处理，镀膜时对基片进行加热，基片温度为150～250℃；镀膜后的基片送出。本发明还公开一种玻璃减薄镀膜设备，依次包括进口室、进口缓冲室、进口传送室、工艺室、出口传送室、出口缓冲室和出口室，所述设备还包括真空泵，所述真空泵为分子泵，所述分子泵安装于门板上；进口缓冲室、进口传送室、工艺室、出口传送室、出口缓冲室都设有加热装置。 | ||
| 搜索关键词： | 传送室 缓冲室 基片架 镀膜 进口 送入 工艺室 减薄 分子泵 进口室 真空泵 玻璃 出口 高真空抽气 镀膜处理 镀膜设备 加热装置 出口室 低真空 高真空 门板 预热 抽气 送出 加热 密封 | ||
【主权项】：
1.一种玻璃减薄镀膜方法，其特征在于，包括以下步骤：a、基片固定在基片架上，将基片架送入进口室，密封后进行低真空抽气，真空度达到5～8Pa；b、基片架送入进口缓冲室，进行高真空抽气，真空度达到2～5×10－1Pa；c、基片架送入进口传送室，在高真空下对基片进行预热；d、基片架送入工艺室，进行镀膜处理，镀膜时对基片进行加热，基片温度为150～250℃；e、镀膜后的基片送入出口传送室，保持高真空状态；f、基片架送入出口缓冲室，出口缓冲室为低真空状态；g、基片架送出。
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