[发明专利]TFT-LCD玻璃镀膜生产线在审
| 申请号： | 201711321566.4 | 申请日： | 2017-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN109913831A | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 陈立;孙桂红;祝海生;黄乐;凌云;黄夏;黄国兴 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50;C23C14/56;C03C17/34 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开一种TFT‑LCD玻璃镀膜生产线，依次包括进口室、进口缓冲室、进口传送室、工艺室、出口传送室、出口缓冲室和出口室；所述工艺室中设有磁控溅射装置，所述磁控溅射装置设有正交的电场和磁场，所述磁控溅射装置的阳极装置设于磁控溅射装置磁控靶的周围，玻璃基片通过基片架安装于磁控靶的相对位置，所述基片架位于磁控靶的悬浮电位。本发明的TFT‑LCD玻璃镀膜生产线，克服了传统生产线，透过率范围不高，无传送室，基片装载架的传送速度转换比小，生产效率较低等缺陷，且适合用于各类显示面板、太阳能面板和装饰面板的透明导电膜、抗反射膜、高反射膜等大面积玻璃镀膜的生产。 | ||
| 搜索关键词： | 磁控溅射装置 镀膜生产线 传送室 磁控靶 工艺室 缓冲室 基片架 大面积玻璃镀膜 传统生产线 太阳能面板 透明导电膜 玻璃基片 高反射膜 基片装载 抗反射膜 生产效率 速度转换 显示面板 悬浮电位 阳极装置 装饰面板 电场 出口室 进口室 透过率 正交的 磁场 进口 出口 传送 生产 | ||
【主权项】：
1.一种TFT‑LCD玻璃镀膜生产线，其特征在于，依次包括进口室、进口缓冲室、进口传送室、工艺室、出口传送室、出口缓冲室和出口室；所述工艺室中设有磁控溅射装置，所述磁控溅射装置设有正交的电场和磁场，所述磁控溅射装置的阳极装置设于磁控溅射装置磁控靶的周围，玻璃基片通过基片架安装于磁控靶的相对位置，所述基片架位于磁控靶的悬浮电位。
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