[发明专利]TFT-LCD玻璃镀膜生产线

权利要求书

1.一种TFT-LCD玻璃镀膜生产线，其特征在于，依次包括进口室、进口缓冲室、进口传送室、工艺室、出口传送室、出口缓冲室和出口室；所述工艺室中设有磁控溅射装置，所述磁控溅射装置设有正交的电场和磁场，所述磁控溅射装置的阳极装置设于磁控溅射装置磁控靶的周围，玻璃基片通过基片架安装于磁控靶的相对位置，所述基片架位于磁控靶的悬浮电位。

2.根据权利要求1所述的TFT-LCD玻璃镀膜生产线，其特征在于，所述工艺室在进行磁控溅射时，基片加热到150℃～250℃。

3.根据权利要求2所述的TFT-LCD玻璃镀膜生产线，其特征在于，所述工艺室在进行磁控溅射时，真空室极限真空度为5.0×10^-4Pa。

4.根据权利要求1所述的TFT-LCD玻璃镀膜生产线，其特征在于，所述磁控溅射装置采用两对闭路环控制的中频孪生Si靶，和十对圆柱AZO靶。

5.根据权利要求1所述的TFT-LCD玻璃镀膜生产线，其特征在于，所述磁控溅射装置设有两个，所述基片架设有两个，位于两个磁控溅射装置的中间位置。

6.根据权利要求5所述的TFT-LCD玻璃镀膜生产线，其特征在于，所述基片架的上端设有上凹槽，下端设有下凹槽，所述下凹槽设有弹性压板。

7.根据权利要求6所述的TFT-LCD玻璃镀膜生产线，其特征在于，所述基片架分为上段、下段和伸缩段，所述上凹槽和下凹槽之间的距离通过伸缩段调节。

8.根据权利要求7所述的TFT-LCD玻璃镀膜生产线，其特征在于，所述伸缩段的一端与上段固定连接，另一端与下段拆卸连接，所述伸缩段沿长度方向设有多个定位键，所述下段两端的边框设有调节腔，所述调节腔设有多个键槽，所述键槽与定位键配合。