[发明专利]器件制造系统及图案形成装置

摘要

本发明涉及器件制造系统及图案形成装置，目的在于进一步减少对曝光单元带来的振动，通过曝光单元良好地进行曝光。基板处理装置(U3)具有：设在设置面(E)上的减振台(131)；设在减振台(131)上且对供给的基板(P)进行曝光处理的曝光单元(121)；和设在设置面(E)上且与曝光单元(121)以非接触的独立状态设置、并作为对曝光单元(121)进行处理的处理单元的位置调整单元(120)及驱动单元(122)。

主权项

1.一种图案形成装置，将长尺寸的挠性的片材基板沿长边方向搬送的同时，在该片材基板上的规定位置形成图案，其特征在于，具有：图案化装置，其具有包括用于将所述片材基板沿着规定的搬送路径在长边方向上搬送的多个引导辊在内的搬送部、和设在所述搬送路径的一部分上并在所述片材基板的表面的所述规定位置形成所述图案的图案形成部；减振装置，其设在设置有所述图案化装置的基台面与所述图案化装置之间；位置调整装置，其与所述图案化装置独立地设置且设置在所述基台面上，包括用于朝向所述图案化装置的所述搬送部送出所述片材基板的引导辊，并且在与所述片材基板的长边方向正交的宽度方向上调整所述片材基板的位置；位置误差计测部，其计测和所述图案化装置与所述位置调整装置的相对的位置变化相关的变化信息；和控制装置，其基于所述变化信息来控制所述位置调整装置，在所述搬送部设有能够倾斜的调整辊，所述调整辊相对于所述搬送路径中的所述图案形成部而在上游侧，配置成在所述长边方向上施有规定的张力的状态下，将所述片材基板的所述搬送路径折曲，所述控制装置通过基于所述变化信息使所述调整辊倾斜，来调整向图案形成部搬送的片材基板的宽度方向上的位置。